表面保护片材及处理方法技术

本发明专利技术提供一种表面保护片材，其即使在包括以贴附于保护对象物的状态在液体中对该保护对象物进行处理的工序的工艺中使用的情况下，也不易在该工艺中的振动等外力的作用下产生从端部的剥落，并且在剥离时能实现保护对象物不发生破损或变形的剥离

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面保护片材及处理方法


[0001]本专利技术涉及表面保护片材及处理方法
。
[0002]本申请主张基于
2021
年3月
25
日提出申请的日本专利申请
2021
‑
52064
号及
2021
年9月
16
日提出申请的日本专利申请
2021
‑
151206
号的优先权，这些申请的全部内容作为参考并入本说明书中
。

技术介绍

[0003]在对各种物品进行加工或搬运时，出于防止其表面的损伤
(
伤痕
、
污染
、
腐蚀等
)
的目的，在该表面上粘接保护片材
(
粘合片材
)
来进行保护的技术是已知的
。
例如，在针对玻璃
、
半导体晶片
、
金属板等而使用药液
(
蚀刻液
)
进行化学处理
、
或者实施切断
、
研磨等物理处理等的各种处理中，通过将表面保护片材贴附于保护对象物的非处理面，从而使得该非处理面被保护
。
作为关于药液处理用的保护片材的现有技术文献，可举出专利文献
1。
需要说明的是，专利文献2是关于水剥离性粘合片材的现有技术文献
。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本专利申请公开
2015
‑
193688
号公报
[0007]专利文献2：日本专利申请公开
2020
‑
23656
号公报

技术实现思路

[0008]专利技术所要解决的课题
[0009]表面保护片材在达成保护目的后，于适当的时机从被粘物
(
保护对象物
)
被除去
。
因此，对于表面保护片材，要求具有在药液处理时等保护期间内对保护对象物的保护所需的粘接性
、
和从保护对象物剥离除去时的易剥离性
。
若相对于保护对象物的剥离力大，则例如在保护对象物的厚度薄的情况下，在将表面保护片材从保护对象物剥离除去时，由于其剥离力而有该保护对象物破损或者变形的担忧
。
[0010]近年来，智能手机
、
平板型个人电脑
、
各种可穿戴设备等电子设备类
(
例如便携电子设备类
)
的小型化
、
薄型化正在发展，与之相伴，这些电子设备中使用的半导体构件
、
玻璃等光学构件也存在薄型化的倾向
。
因此，对于用于保护上述构件的表面保护片材而言，也需要具有在将表面保护片材从厚度薄的保护对象物剥离除去时不发生该保护对象物的破损
、
变形的易剥离性
。
[0011]例如，用作上述光学构件的玻璃面板可通过使用了氢氟酸等药液的玻璃减薄处理而被薄化
。
在上述玻璃减薄处理中，表面保护片材可用于玻璃非处理面的保护
。
该用途中所使用的表面保护片材在该处理后从玻璃面板剥离除去时，由于处理中的剥离力上升
、
剥离方式等原因而有该经薄化的玻璃破裂的情况，因此，存在成品率降低等问题
。
尤其是对于可折叠显示器
、
可卷绕显示器中使用的视窗玻璃
、
覆盖玻璃而言，为了赋予弯曲性，将其薄化至
100
μ
m
左右或其以下的薄度
。
因此，表面保护片材剥离时的破损的风险更大
。
若将表面保
护片材的剥离强度设定在低水平，则在剥离时施加于被粘物的负荷降低，能够减少破损
、
变形的风险，但与保护对象物的密合性
(
粘接性
)
降低，药液渗入至保护区域中，或者在严重的情况下，在保护期间内从被粘物产生翘起
、
剥落等，有无法达成保护目的的担忧
。
对于薄玻璃等厚度薄的脆性材料而言，更难以同时实现保护所需的粘接性
、
和被粘物不破损的易剥离性
。
[0012]另外，作为使用了上述表面保护片材的表面保护的一个方式，可举出下述方式：在一个或多个处理对象物
(
例如玻璃板
)
的一面贴合有一张表面保护片材的状态下，使用例如辊等输送手段，将多个处理对象物
(
保护对象物
)
连续地或者分别独立地输送至药液槽内
、
清洗槽内等水中，实施目标处理
。
在该输送时
、
输送后的工艺
(
包括载置
、
向装置中的设置等
)
中，有时不可避免地或者非有意地对处理对象物施加冲击
、
振动
、
变形等外力，该外力成为剥离负荷，担心表面保护片材会从处理对象物剥落
。
另外，在对半导体晶片等处理对象物实施切断
、
研磨等物理处理的方式中，该物理处理中的外力也成为剥离负荷，担心产生表面保护片材的端部剥落
。
在产生了这样的端部剥落的情况下，药液等会渗入至保护区域等，有不能达成保护目的的担忧
。
[0013]本专利技术是鉴于上述情况而创造出的，其目的在于提供一种表面保护片材，其即使在包括以贴附于保护对象物的状态在例如液体中等的条件下对该保护对象物进行处理的工序的工艺中使用的情况下，也不易在该工艺中的振动
、
物理处理等外力的作用下产生从端部的剥落，并且在剥离时能实现保护对象物不发生破损或变形的剥离
。
相关的其他目的在于提供使用了上述表面保护片材的处理方法
。
[0014]用于解决课题的手段
[0015]由本说明书提供的一个方式涉及的表面保护片材在
25℃
时的弯曲刚度值在
1.0
×
10
‑6～
1.0
×
10
‑2Pa
·
m3的范围内
。
另外，上述表面保护片材的水剥离力
FW0
为
1.0N/20mm
以下，所述水剥离力
FW0
是在具有水接触角为
20
度以下的表面的碱性玻璃的该表面上贴合表面保护片材的粘接面，在
23℃、50
％
RH
的环境下保持1小时后，向该碱性玻璃与该粘接面之间供给
20
μ
L
的蒸馏水，使该蒸馏水进入至该碱性玻璃与该粘接面的界面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
表面保护片材，其在
25℃
时的弯曲刚度值在
1.0
×
10
‑6～
1.0
×
10
‑2Pa
·
m3的范围内，所述表面保护片材的水剥离力
FW0
为
1.0N/20mm
以下，所述水剥离力
FW0
是在具有水接触角为
20
度以下的表面的碱性玻璃的该表面上贴合表面保护片材的粘接面，在
23℃、50
％
RH
的环境下保持1小时后，向该碱性玻璃与该粘接面之间供给
20
μ
L
的蒸馏水，使该蒸馏水进入至该碱性玻璃与该粘接面的界面的一端后，在温度
23℃、
剥离角度
180
度及速度
300mm/
分钟的条件下测定的水剥离力
。2.
表面保护片材，其水剥离力
FW0
为
1.0N/20mm
以下，所述水剥离力
FW0
是在具有水接触角为
20
度以下的表面的碱性玻璃的该表面上贴合表面保护片材的粘接面，在
23℃、50
％
RH
的环境下保持1小时后，向该碱性玻璃与该粘接面之间供给
20
μ
L
的蒸馏水，使该蒸馏水进入至该碱性玻璃与该粘接面的界面的一端后，在温度
23℃、
剥离角度
180
度及速度
300mm/
分钟的条件下测定的水剥离力，所述表面保护片材的起始剥离力为
0.5N/10mm
以上，所述起始剥离力是在具有水接触角为
20
度以下的表面的碱性玻璃的该表面上贴合表面保护片材的粘接面，在
23℃、50
％
RH
的环境下保持
24
小时后，向该碱性玻璃与该粘接面之间滴加
20
μ
L
的蒸馏水，在温度
23℃、
剥离角度
20
度及速度
1000mm/
分钟的条件下测定的起始剥离力
。3.
如权利要求1或2所述的表面保护片材，其中，所述水剥离力
FW0[N/20mm]
为粘接力
F0[N/20mm]
的
50
％以下，其中，所述粘接力
F0
是在具有水接触角为
20
度以下的表面的碱性玻璃的该表面上贴合表面保护片材的粘接面，在
23℃、50
％
RH
的环境下保持1小时后，在温度
23℃、
剥离角度
180
度及速度
300mm/
分钟的条件下测定的剥离强度
[N/20mm]。4.
如权利要求1～3中任一项所述的表面保护片材，其是由粘合剂层和支撑该粘合剂层的基材层形成的
。5.
如权利要求4所述的表面保护片材，其中，所述粘合剂层包含水亲和剂
。6.
如权利要求1～5中任一项所述的表面保护片材，其厚度为
20
～
...

【专利技术属性】
技术研发人员：熊仓健太，小坂尚史，岛崎雄太，本田哲士，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：