扩膜装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种扩膜装置，其包括：底座

【技术实现步骤摘要】
扩膜装置


[0001]本专利技术涉及半导体封装
，尤其涉及一种扩膜装置
。

技术介绍

[0002]在拾取芯片之前，为保证芯片拾取的稳定性，通常需要对片环进行扩膜处理
。
其中，片环上有蓝膜，蓝膜上附着有芯片
。
[0003]现有的扩膜装置的操作过程通常是先将片环通过升降环上的传送开口水平插入升降环的扩膜工位，以使片环沿
Z
方向夹持在升降环和扩膜环之间
。
之后，沿
Z
方向驱动崩膜架相对片环移动，以使崩膜架从升降环的内侧与片环上的蓝膜接触，并带动蓝膜上的芯片相对片环沿
Z
方向移动，以实现对片环的扩膜处理
。
[0004]现有的扩膜装置虽然相对于手工操作能够提高扩膜的效率，但是由于传送开口的存在，使得扩膜环中位于传送开口上方的部分始终处于悬空的状态
。
如此在对片环进行扩膜处理的过程中扩膜环在对应传送开口的位置容易发生变形，从而影响扩膜的均匀性
。

技术实现思路

[0005]为解决上述问题，本专利技术提供的扩膜装置，通过设置顶压组件和崩膜架，能够自动的对位于传送开口处的扩膜环进行限位，防止扩膜环在对片环进行扩膜时发生变形，如此则能够保证扩膜的均匀性
。
[0006]本专利技术提供一种扩膜装置，包括：底座
、
升降环
、
扩膜环
、
扣压组件
、
顶压组件
、
>崩膜架和驱动组件；
[0007]扩膜环位于升降环朝向第一方向的一侧，扩膜环与升降环固定连接，升降环朝向第一方向的表面开设有传送开口和安装槽，安装槽贯穿升降环的内侧壁并用于装载片环，传送开口分别与升降环的外侧壁和安装槽连通，扩膜环覆盖传送开口和安装槽，崩膜架位于升降环的内侧；
[0008]驱动组件与升降环连接，驱动组件用于驱动升降环相对崩膜架沿第一方向所在的直线方向移动，并在升降环背离第一方向移动时，带动崩膜架对片环进行扩膜；
[0009]扣压组件位于升降环的外侧，传送开口位于升降环朝向扣压组件的一端，扣压组件的一端沿第二方向与升降环枢接，顶压组件位于扣压组件背离升降环的一侧，顶压组件的一端与底座固定连接，顶压组件的另一端与扣压组件活动连接；
[0010]顶压组件用于在升降环背离第一方向移动时，推动扣压组件相对升降环翻转，以使扣压组件的另一端扣压在扩膜环朝向第一方向的一侧并与扩膜环相抵触
。
[0011]可选地，扩膜装置还包括：弹性复位件；
[0012]弹性复位件一端与扣压组件连接，弹性复位件的另一端与升降环连接；
[0013]弹性复位件用于带动扣压组件向顶压组件所在方向翻转
。
[0014]可选地，扣压组件包括：扣压板和微调压杆；
[0015]扣压板的一端沿第二方向与升降环枢接，扣压板的另一端与微调压杆螺纹连接；
[0016]扣压板在对扩膜环进行扣压时，通过微调压杆与扩膜环相抵触
。
[0017]可选地，扣压板包括：第一固定螺钉
、
扣压子板和支撑子板；
[0018]扣压子板沿第一方向开设有第一腰型孔，第一固定螺钉的一端穿过第一腰型孔与支撑子板的一端螺纹连接，以将扣压子板与支撑子板进行固定；
[0019]支撑子板的另一端沿第二方向与升降环枢接，扣压子板的另一端向升降环所在的方向延伸并与微调压杆螺纹连接
。
[0020]可选地，顶压组件包括：支撑杆和滚轮；
[0021]支撑杆的一端与底座固定连接；滚轮与扣压组件滚动连接，并沿第二方向与支撑杆的另一端枢接；滚轮用于在升降环背离第一方向移动时，推动扣压组件相对升降环翻转，以使扣压组件的另一端扣压在扩膜环朝向第一方向的一侧并与扩膜环相抵触
。
[0022]可选地，顶压组件还包括：固定座和第二固定螺钉；
[0023]固定座开设有第二腰型孔，第二固定螺钉的一端穿过第二腰型孔与底座螺纹连接，以将固定座与底座进行固定
。
[0024]可选地，顶压组件还包括：锁定件；
[0025]固定座朝向第一方向的表面开设有滑孔，支撑杆通过滑孔沿第一方向所在的直线方向与固定座滑移连接，锁定件与固定座活动连接，锁定件用于将支撑杆与固定座进行固定
。
[0026]可选地，固定座包括：安装部
、
支撑部和抱紧部；
[0027]支撑部和抱紧部均位于安装部朝向第一方向的一侧，第二腰型孔位于安装部上，支撑部的一端与安装部固定连接，支撑部的另一端与抱紧部的一端固定连接，以使抱紧部处于悬空的状态；
[0028]滑孔位于抱紧部上，抱紧部背离支撑部的一端开设有抱紧开口，抱紧开口沿第一方向贯穿抱紧部并与滑孔连通，锁定件的一端穿过抱紧开口并与抱紧部螺纹连接，锁定件的另一端位于抱紧部外侧并用于与抱紧部相挤压
。
[0029]可选地，扩膜环包括：第一圆弧部和第二圆弧部；
[0030]第一圆弧部和第二圆弧部对称固定在扩膜环朝向第一方向的一侧，第一圆弧部和第二圆弧部的相对两端间隔设置以形成第一避让开口；
[0031]升降环对应第一避让开口的位置开设有第二避让开口，第二避让开口沿第四方向所在的直线方向贯穿升降环，第四方向与第一方向和第二方向垂直
。
[0032]可选地，扩膜装置还包括：滑轨和机械手；
[0033]滑轨固定设置在升降环的外侧，机械手与滑轨沿第四方向所在的直线方向滑移连接，机械手用于通过传送开口将片环拉入或推出安装槽
。
[0034]本专利技术实施例提供的扩膜装置，通过驱动组件带动升降环沿第一方向所在的直线方向移动，如此能够在升降环背离第一方向移动，以使崩膜架对片环进行扩膜的过程中，使顶压组件对扣压组件的外侧壁进行顶压，从而使扣压组件向内侧翻转直至扣压在扩膜环朝向第一方向的一侧并与扩膜环相抵触，进而则能够在扩膜的过程中避免位于传送开口处的扩膜环的部分向第一方向发生变形，影响扩膜的均匀性
。
时，不存在中间元件
。
本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的
。
[0050]在此使用时，单数形式的“一”、“一个”和“所述
/
该”也可以包括复数形式，除非上下文清楚指出另外的方式
。
还应当理解的是，术语“包括
/
包含”或“具有”等指定所陈述的特征
、
整体
、
步骤
、
操作
、
组件
、
部分或它们的组合的存在，但是不排除存在或添加一个或更多个其他特征
、
整体
、
步骤
、
操作
、
组件
、
部分或它们的组合的可能性
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种扩膜装置，其特征在于，包括：底座
(1)、
升降环
(2)、
扩膜环
(3)、
扣压组件
(4)、
顶压组件
(5)、
崩膜架
(61)
和驱动组件
(62)
；所述扩膜环
(3)
位于所述升降环
(2)
朝向第一方向的一侧，所述扩膜环
(3)
与所述升降环
(2)
固定连接，所述升降环
(2)
朝向所述第一方向的表面开设有传送开口
(21)
和安装槽
(23)
，所述安装槽
(23)
贯穿所述升降环
(2)
的内侧壁并用于装载片环
(7)
，所述传送开口
(21)
分别与所述升降环
(2)
的外侧壁和所述安装槽
(23)
连通，所述扩膜环
(3)
覆盖所述传送开口
(21)
和所述安装槽
(23)
，所述崩膜架
(61)
位于所述升降环
(2)
的内侧；所述驱动组件
(62)
与所述升降环
(2)
连接，所述驱动组件
(62)
用于驱动所述升降环
(2)
相对所述崩膜架
(61)
沿所述第一方向所在的直线方向移动，并在所述升降环
(2)
背离所述第一方向移动时，带动所述崩膜架
(61)
对所述片环
(7)
进行扩膜；所述扣压组件
(4)
位于所述升降环
(2)
的外侧，所述传送开口
(21)
位于所述升降环
(2)
朝向所述扣压组件
(4)
的一端，所述扣压组件
(4)
的一端沿第二方向与所述升降环
(2)
枢接，所述顶压组件
(5)
位于所述扣压组件
(4)
背离所述升降环
(2)
的一侧，所述顶压组件
(5)
的一端与所述底座
(1)
固定连接，所述顶压组件
(5)
的另一端与所述扣压组件
(4)
活动连接；所述顶压组件
(5)
用于在所述升降环
(2)
背离所述第一方向移动时，推动所述扣压组件
(4)
相对所述升降环
(2)
翻转，以使所述扣压组件
(4)
的另一端扣压在所述扩膜环
(3)
朝向第一方向的一侧并与所述扩膜环
(3)
相抵触
。2.
根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述扩膜装置还包括：弹性复位件
(65)
；所述弹性复位件
(65)
一端与所述扣压组件
(4)
连接，所述弹性复位件
(65)
的另一端与所述升降环
(2)
连接；所述弹性复位件
(65)
用于带动所述扣压组件
(4)
向所述顶压组件
(5)
所在方向翻转
。3.
根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述扣压组件
(4)
包括：扣压板
(41)
和微调压杆
(42)
；所述扣压板
(41)
的一端沿第二方向与所述升降环
(2)
枢接，所述扣压板
(41)
的另一端与所述微调压杆
(42)
螺纹连接；所述扣压板
(41)
在对所述扩膜环
(3)
进行扣压时，通过所述微调压杆
(42)
与所述扩膜环
(3)
相抵触
。4.
根据权利要求3所述的扩膜装置，其特征在于，所述扣压板
(41)
包括：第一固定螺钉
(411)、
扣压子板
(412)
和支撑子板
(413)
；所述扣压子板
(412)
沿所述第一方向开设有第一腰型孔
(414)
，所述第一固定螺钉
(411)
的一端穿过所述第一腰型孔
(414)
与所述支撑子板
(413)
的一端螺纹连接，以将所述扣压子板
(412)
与所述支撑子板
(413)
进行固定；所述支撑子板
(413)
的另一端沿第二方向与所述升降环
(2)
枢接，所述扣压子板
(412)
的另一端向所述升降环
(2)
所在的方向延伸并与所述微调压杆
(42)
螺纹连接
。5.
根据权利要求1所述的扩膜装置，其特征在于，所述顶压组件
(5)
包括：支撑杆
(51)<...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄丹翔，
申请(专利权)人：唐人制造宁波有限公司，
类型：发明
国别省市：