检测平台制造技术

本实用新型专利技术提供检测平台，涉及检测设备领域，检测平台包括对半导体零件进行去毛刺的清洗去毛刺装置、去半导体零件进行检测的桥式测量机以及对半导体零件紧固的紧固装置，清洗去毛刺装置一侧固定连接于桥式测量机一侧，桥式测量机顶部开设的控制槽内腔侧壁固定连接于紧固装置一侧，通过打开驱动件，由于驱动件固定端固定连接于控制槽内腔侧壁，驱动件输出端固定连接于螺纹杆一端，此时驱动件带动螺纹杆发生旋转，由于螺纹杆螺纹连接于移动块，移动块随螺纹杆的旋转发生移动，由于移动块一侧固定连接于移动臂一侧，移动臂随移动块的移动发生移动并向固定臂靠近，此时由于移动臂和固定臂相对一侧均设有夹爪，夹爪夹持部位将半导体零件紧固。零件紧固。零件紧固。

【技术实现步骤摘要】
检测平台


[0001]本技术涉及检测设备领域，尤其涉及检测平台。

技术介绍

[0002]现有的对半导体零件进行检测的检测平台多以桥式测量机为主的检测设备，通过数控调节检测探头位置，能对多种不同类型的工件以及不同类型的项目进行检测，桥式坐标测量机一般包括一个底座，一个安装在底座上并可移动的测量桥，一个安装在桥上部并可运动的测量件，将被测物体置于桥式测量机空间，通过测量件的移动并收集信息到操控台，可获得被测物体的各测点的坐标位置，根据这些点的空间坐标值，经计算求出被测物体的几何尺寸、形状和位置，桥式坐标测量机的重要特性在于它的精密测量和它的重复性，即从同一工件重现或获得同样的测量结果的能力。
[0003]小型及轻型零件放到工作台后，应紧固后再进行测量，否则会影响测量精度，在现有技术中，当对小型或轻型零件进行测量时，一般是使用粘接或弹性约束材料(例如硅橡胶)使小型或轻型零件固定，然而当使用粘接方式对零件进行固定时，由于工作台的精密性导致零件不能直接粘接在工作台上，否则当室内温度发生明显变化时会影响检测平台的精密性，当使用弹性约束材料对零件进行固定时，可能会使零件膨胀，导致测量不精准。
[0004]因此，有必要提供新的检测平台解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术提供检测平台。
[0006]本技术提供的检测平台包括对半导体零件进行去毛刺的清洗去毛刺装置、去半导体零件进行检测的桥式测量机以及对半导体零件紧固的紧固装置，所述清洗去毛刺装置一侧固定连接于所述桥式测量机一侧，所述桥式测量机顶部开设的控制槽内腔侧壁固定连接于所述紧固装置一侧；
[0007]所述紧固装置包括驱动件、螺纹杆、移动块、移动臂以及固定臂，所述驱动件固定端固定连接于所述桥式测量机顶部开设的控制槽内腔侧壁，所述驱动件输出端固定连接于所述螺纹杆一端，所述螺纹杆远离驱动件一端活动连接于所述控制槽远离驱动件的内腔侧壁，所述螺纹杆螺纹连接于所述移动块中心开设的通孔内，所述移动块一侧固定连接于所述移动臂固定端，所述固定臂固定端固定连接于所述桥式测量机一侧并与所述移动臂相对，所述移动臂和所述固定臂相对一侧均设有夹爪。
[0008]优选的，所述螺纹杆两侧均设有导向件，两根所述导向件为固定杆，两根所述固定杆一端固定连接于所述控制槽靠近驱动件一侧的内腔侧壁，两根所述固定杆远离驱动件的一端固定连接于所述控制槽远离驱动件一侧的内腔侧壁，两根所述固定杆均活动穿插于所述移动块两侧开设的通孔内。
[0009]优选的，所述驱动件为电机，所述电机固定端固定连接于所述桥式测量机顶部开设的控制槽内腔侧壁，所述电机输出端固定连接于所述螺纹杆一端。
[0010]优选的，所述桥式测量机包括底座、操作台、第一支撑臂、支撑台、第二支撑臂、测量桥以及用于对半导体零件测量的测量件，所述底座顶部固定连接于所述操作台底部，所述操作台顶部一侧固定连接于所述第一支撑臂底部，所述支撑台一侧固定连接于所述操作台一侧，所述第二支撑臂底部固定连接于所述支撑台顶部，所述测量桥两端分别固定连接于所述第一支撑臂和第二支撑臂相对一侧，所述测量件活动连接于所述测量桥一侧开设的导轨内，所述控制槽开设于所述操作台顶部一侧。
[0011]优选的，所述清洗去毛刺装置为自动倒角去毛刺机，所述自动倒角去毛刺机一侧固定连接于所述支撑台一侧。
[0012]优选的，所述操作台顶部固定连接有橡胶保护垫。
[0013]优选的，所述夹爪夹持部位均设置有橡胶垫，且橡胶垫上等距固定连接有若干个防滑凸块。
[0014]与相关技术相比较，本技术提供的检测平台具有如下有益效果：
[0015]通过打开驱动件，由于驱动件固定端固定连接于控制槽内腔侧壁，驱动件输出端固定连接于螺纹杆一端，螺纹杆活动连接于控制槽远离驱动件的一侧内腔侧壁，此时驱动件带动螺纹杆发生旋转，由于螺纹杆螺纹连接于移动块，移动块随螺纹杆的旋转发生移动，由于移动块一侧固定连接于移动臂一侧，移动臂随移动块的移动发生移动并向固定臂靠近，此时由于移动臂和固定臂相对一侧均设有夹爪，夹爪夹持部位将半导体零件紧固，较一般的使用粘接或弹性约束材料使小型或轻型零件固定，在一定程度上解决了零件不能直接粘接在工作台上，零件可能发生膨胀，导致测量不精准等问题。
附图说明
[0016]图1为本技术提供的检测平台的左侧结构示意图；
[0017]图2为本技术提供的检测平台的右侧结构示意图；
[0018]图3为本技术提供的检测平台的紧固装置的结构示意图；
[0019]图4为图3所示的A的放大结构示意图。
[0020]图中标号：1、底座；2、操作台；3、橡胶保护垫；4、第一支撑臂；5、测量件；6、第二支撑臂；7、测量桥；8、导轨；9、自动倒角去毛刺机；10、固定臂；11、夹爪；12、支撑台；13、橡胶垫；14、移动臂；15、移动块；16、固定杆；17、电机；18、螺纹杆；19、控制槽。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0022]请结合参阅图1、图2、图3和图4，其中，图1为本技术提供的检测平台的左侧结构示意图；图2为本技术提供的检测平台的右侧结构示意图；图3为本技术提供的检测平台的紧固装置的结构示意图；图4为图3所示的A的放大结构示意图。
[0023]在具体实施过程中，如图1、图2、图3和图4所示，检测平台，包括对半导体零件进行去毛刺的清洗去毛刺装置、去半导体零件进行检测的桥式测量机以及对半导体零件紧固的紧固装置，清洗去毛刺装置一侧固定连接于桥式测量机一侧，桥式测量机顶部开设的控制槽19内腔侧壁固定连接于紧固装置一侧；
[0024]紧固装置包括驱动件、螺纹杆18、移动块15、移动臂14以及固定臂10，驱动件固定
端固定连接于桥式测量机顶部开设的控制槽19内腔侧壁，驱动件输出端固定连接于螺纹杆18一端，驱动件为电机17，电机17固定端固定连接于桥式测量机顶部开设的控制槽19内腔侧壁，电机17输出端固定连接于螺纹杆18一端，通过设置电机17带动螺纹杆18发生旋转，螺纹杆18远离驱动件一端活动连接于控制槽19远离驱动件的内腔侧壁，螺纹杆18螺纹连接于移动块15中心开设的通孔内，螺纹杆18两侧均设有导向件，两根导向件为固定杆16，两根固定杆16一端固定连接于控制槽19靠近驱动件一侧的内腔侧壁，两根固定杆16远离驱动件的一端固定连接于控制槽19远离驱动件一侧的内腔侧壁，两根固定杆16均活动穿插于移动块15两侧开设的通孔内，通过设置两根固定杆16，防止移动块15在移动时发生偏移，移动块15一侧固定连接于移动臂14固定端，固定臂10固定端固定连接于桥式测量机一侧并与移动臂14相对，移动臂14和固定臂10相对一侧均设有夹爪11，夹爪11夹持部位均设置有橡胶垫13，且橡胶垫13上等距固定连接有若干个防滑凸块，通过设置橡胶垫13和防滑凸块避免夹爪11对半导体零件损坏且本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.检测平台，其特征在于，包括对半导体零件进行去毛刺的清洗去毛刺装置、去半导体零件进行检测的桥式测量机以及对半导体零件紧固的紧固装置，所述清洗去毛刺装置一侧固定连接于所述桥式测量机一侧，所述桥式测量机顶部开设的控制槽(19)内腔侧壁固定连接于所述紧固装置一侧；所述紧固装置包括驱动件、螺纹杆(18)、移动块(15)、移动臂(14)以及固定臂(10)，所述驱动件固定端固定连接于所述桥式测量机顶部开设的控制槽(19)内腔侧壁，所述驱动件输出端固定连接于所述螺纹杆(18)一端，所述螺纹杆(18)远离驱动件一端活动连接于所述控制槽(19)远离驱动件的内腔侧壁，所述螺纹杆(18)螺纹连接于所述移动块(15)中心开设的通孔内，所述移动块(15)一侧固定连接于所述移动臂(14)固定端，所述固定臂(10)固定端固定连接于所述桥式测量机一侧并与所述移动臂(14)相对，所述移动臂(14)和所述固定臂(10)相对一侧均设有夹爪(11)。2.根据权利要求1所述的检测平台，其特征在于，所述螺纹杆(18)两侧均设有导向件，两根所述导向件为固定杆(16)，两根所述固定杆(16)一端固定连接于所述控制槽(19)靠近驱动件一侧的内腔侧壁，两根所述固定杆(16)远离驱动件的一端固定连接于所述控制槽(19)远离驱动件一侧的内腔侧壁，两根所述固定杆(16)均活动穿插于所述移动块(15)两侧开设的通孔内。3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王小强，黄波，张华，
申请(专利权)人：杭州聚英精密机械制造有限公司，
类型：新型
国别省市：