风冷热场制造技术

本实用新型专利技术公开了一种风冷热场，该风冷热场包括热场本体和进气组件，进气组件安装于热场本体，进气组件设有与热场本体的内部连通的出气口，以及与外部气源相连的进气口。外部气源的气体经过进气口进入进气组件后，从出气口吹向热场本体的内部以冷却热场本体。在实际工作过程中，当热场本体需要冷却时，外部气源朝向进气组件充入冷却气体，冷却气体从进气口进入进气组件后，由于进气组件上设置有与热场本体的内部连通的出气口，冷却气体能够从出气口吹向热场本体的内部，使得热场本体内部空间的气体强制流动，从而实现了对热场本体的快速散热，提升了该风冷热场的冷却效率，有利于提升热炉的生产效率。热炉的生产效率。热炉的生产效率。

【技术实现步骤摘要】
风冷热场


[0001]本技术涉及半导体加工设备
，尤其涉及一种风冷热场。

技术介绍

[0002]光伏沉积或者扩散等工艺使用的设备为热炉，热炉的核心部件就是热炉的炉体，也可以叫做热场，在工艺进行完成之后，或者在某些特定的工艺中，工艺温度过高，需要在片材出炉前先降温，即对热场进行冷却，而现有的热场降温的手段主要是依靠自然冷却，即依靠热场与外部环境进行换热降温，这种降温手段效率较低，严重影响了热炉的工作效率。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提出一种风冷热场，该风冷热场的降温效率较快，有利于提升热炉的工作效率。
[0004]为实现上述技术效果，本技术的技术方案如下：
[0005]本技术公开了一种风冷热场，包括：热场本体，进气组件，所述进气组件安装于所述热场本体，所述进气组件设有与热场本体的内部连通的出气口，以及与外部气源相连的进气口；其中：所述外部气源的气体经过所述进气口进入所述进气组件后，从所述出气口吹向所述热场本体的内部以冷却所述热场本体。
[0006]在一些实施例中，所述进气组件设于所述热场本体外侧，且所述热场本体上与所述出气口连通的冷却道。
[0007]在一些具体的实施例中，所述冷却道为多个，多个所述冷却道沿所述热场本体的周向间隔设置，所述出气口为多个，多个所述出气口与多个所述冷却道连通设置。
[0008]在一些更具体的实施例中，每个所述冷却道形成为贯穿所述热场本体的直线孔；或者：每个所述冷却道形成为贯穿所述热场本体的周向弯曲的弧形孔。
[0009]在一些可选的实施例中，所述热场本体的外侧壁具有安装槽，所述进气组件安装于所述安装槽内。
[0010]在一些可选的实施例中，所述冷却道与所述热场本体上安装加热件的配合槽隔绝且错开设置，以阻隔散热气流吹向所述加热件。
[0011]在一些实施例中，所述进气组件设于所述热场本体内部，且位于所述热场本体与设在所述热场本体内的炉管之间。
[0012]在一些实施例中，所述进气组件包括安装管和进气管，所述安装管安装于所述热场本体的外侧壁，所述安装管设有所述出气口，所述进气管与所述安装管相连，且所述进气管的一端形成所述进气口。
[0013]在一些实施例中，所述安装管为环形管或螺旋管。
[0014]在一些实施例中，所述安装管为环形管，且所述环形管的末端为自由端。
[0015]在一些实施例中，所述热场本体包括外壳、隔热层和内胆，所述进气组件安装于所述内胆的外侧壁。
[0016]在一些实施例中，所述内胆包括依次拼接的多个，所述进气组件安装于两个所述内胆的交界处。
[0017]在一些实施例中，所述冷却道与所述热场本体上安装加热件的配合槽隔绝且错开设置，以阻隔散热气流吹向所述加热件。
[0018]本技术的风冷热场的有益效果：在实际工作过程中，当热场本体需要冷却时，外部气源朝向进气组件充入冷却气体，冷却气体从进气口进入进气组件后，由于进气组件上设置有与热场本体的内部连通的出气口，冷却气体能够从出气口吹向热场本体的内部，使得热场本体内部空间的气体强制流动，从而实现了对热场本体的快速散热，提升了该风冷热场的冷却效率，有利于提升热炉的生产效率。本技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本技术的实践了解到。
附图说明
[0019]图1是本技术实施例一的风冷热场的结构示意图；
[0020]图2是本技术实施例一的风冷热场的局部结构示意图；
[0021]图3是本技术实施例一的风冷热场的分解结构示意图；
[0022]图4是本技术实施例二的风冷热场的第一方向的结构示意图；
[0023]图5是本技术实施例二的风冷热场的第二方向的结构示意图；
[0024]附图标记：
[0025]100、热场本体；110、外壳；120、隔热层；130、内胆；131、冷却道；132、安装槽；200、进气组件；210、安装管；211、出气口；220、进气管；221、进气口；300、加热件。
具体实施方式
[0026]为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本技术的技术方案。
[0027]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征，用于区别描述特征，无顺序之分，无轻重之分。在本技术的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0028]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0029]下面参考图1
‑
图5描述本技术实施例的风冷热场的具体结构。
[0030]本技术公开了一种风冷热场，如图1、图2及图4所示，本实施例的风冷热场包
括热场本体100和进气组件200，进气组件200安装于热场本体100外侧，进气组件200设有与热场本体100的内部连通的出气口211，以及与外部气源相连的进气口221。外部气源的气体经过进气口221进入进气组件200后，从出气口211吹向热场本体100的内部以冷却热场本体100。可以理解的是，在实际工作过程中，当热场本体100需要冷却时，外部气源朝向进气组件200充入冷却气体，冷却气体从进气口221进入进气组件200后，由出气口211吹向热场本体100的内部，其中，出气口211为直接在进气组件200上直接设置的开口，或是在进气组件200上连接一个延伸管，进而通入热场本体100的内部。
[0031]进一步的，在进气组件200上设置有与热场本体100的内部连通的出气口211，冷却气体能够从出气口211吹向热场本体100的内部，使得热场本体100内部空间的气体强制流动，从而实现了对热场本体100的快速散热，提升了本实施例的风冷热场的冷却效率，有利于提升热炉的生产效率。
[0032]可选的，进气组件200具有多个进气口221。由此，能够加快热场本体100内部的冷却气体快速流通，提升了冷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.风冷热场，其特征在于，包括：热场本体(100)；进气组件(200)，所述进气组件(200)安装于所述热场本体(100)的内侧或者外侧，所述进气组件(200)设有与所述热场本体(100)内部连通的出气口(211)，以及与外部气源相连的进气口(221)；其中：所述外部气源的气体经过所述进气口(221)进入所述进气组件(200)后，从所述出气口(211)吹向所述热场本体的内部以冷却所述热场本体(100)。2.根据权利要求1所述的风冷热场，其特征在于，所述进气组件(200)设于所述热场本体(100)外侧，且所述热场本体(100)上设有与所述出气口(211)连通的冷却道(131)。3.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，所述冷却道(131)为多个，多个所述冷却道(131)沿所述热场本体(100)的周向间隔设置，所述出气口(211)为多个，多个所述出气口(211)与多个所述冷却道(131)连通设置。4.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，每个所述冷却道(131)形成为贯穿所述热场本体(100)的直线孔；或者：每个所述冷却道(131)形成为贯穿所述热场本体(100)的周向弯曲的弧形孔。5.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，所述热场本体(100)的外侧壁具有安装槽(132)，所述进气组件(200)安装于所述安装槽(132)内。6.根据权利要求2所述的风冷热场，其特征在于，所述冷却道(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：庞爱锁，郭永胜，林佳继，张武，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：