一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及碳化硅腐蚀装置技术领域，尤其是一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，包括至少一个供液设备及至少一个受液设备；所述供液设备用于与主化剂管路连通，所述受液设备通过管路组件及泵件与所述供液设备相连通；其中，所述管路组件包括输液管，在所述输液管的外侧还套设有防护管，本实用新型专利技术中通过将对酸液要求较高的设备作为供液设备，采用对酸液要求低的设备作为受液设备，通过将供液设备排出的化剂排入受液设备中以实现合理有效的二次利用，此外，采用控制单元进行实时检测控制，能够实现对各设备中化剂实际控制，无需人工操作，有效实现资源的整合，节省企业对废液处理的额外开支，能够对企业生产实现积极效果。积极效果。积极效果。

【技术实现步骤摘要】
一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置


[0001]本技术涉及碳化硅腐蚀装置
，尤其涉及一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置。

技术介绍

[0002]氢氟酸作为碳化硅湿法腐蚀中常用的化剂，应用于腐蚀晶圆氧化层、剥离备件表面金属层等多种场合。
[0003]在湿法腐蚀过程中借助的是湿法腐蚀设备实现对碳化硅进行腐蚀操作，如在中国专利公开号“CN216487964U”公开的一种碳化硅腐蚀设备，其用于腐蚀碳化硅晶圆，具体原理为向反应腔内注入腐蚀剂，再将反应支架放置到反应腔内，反应支架上的碳化硅晶圆浸入腐蚀剂中，然后通过炉盖密封加热腔，开启加热元件对反应腔进行加热，反应腔内部的腐蚀剂升温并对碳化硅晶圆进行腐蚀，
[0004]但是，酸剂(上述方案中的腐蚀剂)在使用完毕后会集中回收到废含氟容器内作为危险废物委外处置，成本较高，因此在保证湿法腐蚀质量的前提下，设计一种能够进行化剂二次利用的装置，减少成本，为本领域技术人员探索的重点。

技术实现思路

[0005]本技术的目的是为了解决现有技术中存在上述缺点，而提出的一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置。
[0006]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0007]设计一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，包括至少一个供液设备及至少一个受液设备；
[0008]所述供液设备用于与主化剂管路连通，所述受液设备通过管路组件及泵件与所述供液设备相连通；
[0009]其中，所述管路组件包括输液管，在所述输液管的外侧还套设有防护管，所述输液管用于与供液设备、泵件及受液设备相连通。
[0010]进一步的，还包括一安装盒，所述泵件置于所述安装盒中，其中，在所述安装盒的顶部开口侧还设置有一盖板。
[0011]进一步的，所述盖板与所述安装盒可拆卸连接，且所述盖板为透明盖。
[0012]进一步的，在所述安装盒的前侧面上还安装有控制单元，所述控制单元与所述泵件电性连接。
[0013]进一步的，所述受液设备设置有三个，各所述受液设备上均安装有液位传感器，三个所述受液设备的连接管道上均设置有控制阀A，所述液位传感器及控制阀A均与所述控制单元电性连接。
[0014]进一步的，所述供液设备设置有三个，三个所述供液设备与泵件的连接管路上均安装有控制阀B，所述控制阀B与所述控制单元电性连接。
[0015]进一步的，所述供液设备与所述主化剂管路的之间还设置有切换阀，所述切换阀与所述控制单元电性连接。
[0016]进一步的，所述供液设备为肖特基四槽以及单面泡酸柜中的一种，所述受液设备为挡板清洗柜。
[0017]本技术提出的一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，有益效果在于：本技术中通过将对酸液要求较高的设备作为供液设备，采用对酸液要求低的设备作为受液设备，通过将供液设备排出的化剂排入受液设备中以实现合理有效的二次利用，此外，采用控制单元进行实时检测控制，能够实现对各设备中化剂实际控制，无需人工操作，有效实现资源的整合，节省企业对废液处理的额外开支，能够对企业生产实现积极效果。
附图说明
[0018]图1为本技术的立体图一；
[0019]图2为本技术的立体图二；
[0020]图3为本技术的输液管结构示意图。
[0021]图中：1、供液设备；11、控制阀B；2、受液设备；21、液位传感器；22、控制阀A；3、管路组件；31、输液管；32、防护管；4、泵件；5、安装盒；6、控制单元。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0023]参照图1
‑
3为本技术的一个实施例，其公开了一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，包括至少一个供液设备1及至少一个受液设备2，在本实施例中，所述受液设备2设置有三个，所述受液设备2为挡板清洗柜，所述供液设备1也设置有三个，所述供液设备1为肖特基四槽以及单面泡酸柜中的一种；
[0024]在本领域中，当前的湿法腐蚀设备进行分类，主要分为和产品直接接触的、产品不接触的两大类，化剂浓度主要分为5％、1％两种，其中大部分是5％，根据上述思路，在本技术实施例中选择了6台湿法腐蚀设备作为实施方案设备；
[0025]其中，6台设备分为三个挡板清洗柜作为三个受液设备2、两个单面泡酸柜及一个肖特基四槽作为三个供液设备1，6台设备主要使用5％HF酸，其中，单面泡酸柜还可使用1％HF酸。
[0026]肖特基四槽及两个单面泡酸柜这3台设备是直接和产品接触的，排放的酸的品质较高，排出的酸液还可进行利用，因此可作为供液方；
[0027]挡板清洗柜设备与产品不接触，对酸的品质要求比较低，因此在本技术实施例中作为受液方，以用于接收供液方排出的化剂实现二次利用；
[0028]此外，所属领域技术人员知晓，由于挡板清洗柜的氢氟酸用量比较大，采用本新型的技术方案还可以有效缓解挡板清洗柜氢氟酸用量大问题。
[0029]所述供液设备1用于与主化剂管路连通，所述受液设备2通过管路组件3及泵件4与
所述供液设备1相连通；
[0030]其中，所述管路组件3包括输液管31，在所述输液管31的外侧还套设有防护管32，所述输液管31用于与供液设备1、泵件4及受液设备2相连通，考虑到化剂的腐蚀性加大，一旦管路发生损坏，则极易对操作人员产生危害，因此采用配合的双套管路，避免了人员与化剂的接触性操作，保证了人员的职业健康。
[0031]在一些实施例中，本技术的装置还包括一安装盒5，所述泵件4置于所述安装盒5中，其中，在所述安装盒5的顶部开口侧还设置有一盖板，在本技术实施例中盖板设置为亚克力板，该盖板通过螺栓与上述的安装盒5相紧固；
[0032]同理，采用安装盒5的设置，一是便于对泵件4的防护，既实现了对泵件4进行保护，又能实现对泵件4的隔音，以避免泵件4在工作时产生噪音污染环境；
[0033]此外还能避免泵件4与管路组件3的接口处发生漏液的现象，以提升操作的安全性，有效避免化剂流淌在地面在，对环境以及操作人员产生损害，需要说明的是，在本技术实施例中上述泵件4采用为隔膜泵。
[0034]在上述实施例的基础上，所述盖板与所述安装盒5可拆卸连接，且所述盖板为透明盖，透明盖的设计便于用户观察内部泵件4的工作情况，当泵件4发生异常时，能够及时将盖板进行拆卸，以实现便捷检修。
[0035]进一步的，为了实现对各电器元件的自动控制，本技术实施例中在所述安装盒5的前侧面上还安装有控制单元6，所述控制单元6与所述泵件4电性连接。
[0036]此外，各所述受液设备2上均安装有液位传感器21，三个所述受液设备2的连接管道上均设置有控制阀A22，控制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，其特征在于，包括至少一个供液设备及至少一个受液设备；所述供液设备用于与主化剂管路连通，所述受液设备通过管路组件及泵件与所述供液设备相连通；其中，所述管路组件包括输液管，在所述输液管的外侧还套设有防护管，所述输液管用于与供液设备、泵件及受液设备相连通。2.根据权利要求1所述的一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，其特征在于：还包括一安装盒，所述泵件置于所述安装盒中，其中，在所述安装盒的顶部开口侧还设置有一盖板。3.根据权利要求2所述的一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，其特征在于：所述盖板与所述安装盒可拆卸连接，且所述盖板为透明盖。4.根据权利要求2所述的一种适用于碳化硅湿法腐蚀化剂二次利用的装置，其特征在于：在所述安装盒的前侧面上还安装有控制单元，所述控制单元与所述泵件电性连接。5.根据权利要求4所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：尤力，李天鹏，黄强，韩敏杰，汪嘉，陈坤伍，邹亦鸣，
申请(专利权)人：江苏昕感科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：