本发明专利技术涉及一种衬底支承设备、衬底传输设备以及电子装置制造方法。该衬底支承设备将衬底保持部分插入到形成在衬底中的中心孔中，并通过衬底保持部分将衬底支承在竖直的方位中，该衬底支承设备包括：连接到衬底保持部分的第一连接板；第二连接板，其面对第一连接板并连接到用于将衬底传输到衬底保持器的传输机器人；构造成将第一连接板连接到第二连接板的至少三个线性的支承构件；以及插入在第一连接板与第二连接板之间的弹性的减震构件。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种对例如用于硬盘(磁存储介质)的衬底进行支承的衬底支承设 备、衬底传输设备以及电子装置制造方法。
技术介绍
为了当在中心处包括中心孔的衬底(例如，硬盘衬底)竖直地定向时传输该衬底， 传统的方法通过将包括V形槽的衬底支承设备插入到中心孔中而支承衬底，并且通过传输 机器人将衬底连同衬底支承设备一起传输。不幸地，经常发生的情况是，在以这种方式附 装被支承在竖直的方位中的衬底的过程中，传输机器人将衬底过度地压靠附装孔中的固定 爪，并且固定爪破坏衬底的外部周边。为了解决上述问题，日本专利特开No. 2001-89851提出了一种衬底支承设备，所 述衬底支承设备借助减震机构将衬底支承在衬底保持部分上。最近随着衬底的材料和尺寸两个方面的多样化，更柔性的减震机构已经变得必 要。更具体地，当使用的衬底软于固定爪时，更弹性的减震机构已经变得必要，以便在不破 坏衬底的外部周边的情况下将衬底附装到衬底保持器。另外，因为衬底质量随着衬底的尺 寸减小而减少，所以具有与衬底质量相适应的柔性(即，具有更高的弹性)的衬底附装减震 机构已经变得必要。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种可以提高其减震效应的衬底支承设备以及使用该衬底 支承设备的衬底传输设备。本专利技术的一个方面提供一种衬底支承设备，所述衬底支承设备将衬底保持部分插 入到形成在衬底中的中心孔中，并且通过衬底保持部分将衬底支承在竖直的方位中，所述 设备包括第一连接板，其连接到衬底保持部分；第二连接板，其面对第一连接板并且连接 到用于将衬底传输到衬底保持器的传输机器人；至少三个线性的支承构件，其构造成将第 一连接板连接到第二连接板；以及弹性的减震构件，其插入在第一连接板与第二连接板之 间。根据本专利技术，可以在衬底附装至衬底保持器时减少作用在衬底上的外力，从而即 使当所附装的衬底软于固定爪时也可靠地防止衬底的外部周边的损坏和破裂。本专利技术的其它特征将从以下参照附图的示例性实施例的说明而变得清楚。附图说明图1是示出根据本专利技术的衬底保持器的正视图；图2A、2B和2C是用于解释从衬底由根据本专利技术的衬底传输设备从衬底盒拾取时 开始直到衬底附装到衬底保持器为止的处理的视图；图3是示出根据本专利技术的衬底支承设备的侧剖视4图4是沿着图3中的线X-X得到的分解剖视图；图5A、5B和5C是用于解释其中根据本专利技术的衬底支承设备的连接板和支承构件 相互连接的结构的视图；图6A和6B是用于解释通过根据本专利技术的衬底传输设备将衬底转移到衬底保持器 的衬底附装孔中的操作的视图；图7A和7B是用于解释从衬底抵靠仅一个固定爪时开始直到衬底推靠两个固定爪 为止的操作的视图；图8是示出衬底保持部分的附装位置的另一个示例的视图；图9是示出通过根据本专利技术的实施例的磁记录介质制造方法制造的磁记录介质 的一个示例的示意性纵向剖视图；图10是示出根据本专利技术的实施例的薄膜形成设备(磁记录介质制造设备)的一 个示例的示意图；图11是用于解释根据本专利技术的实施例的磁记录介质制造方法的顺序的流程图。 具体实施例方式以下将参照附图更加详细地说明用于实施本专利技术的方式。图1是示出保持衬底的 衬底保持器的布置的视图。应当注意到，图1是其上附装有衬底的衬底保持器的正视图。如 图ι中所示，衬底保持器2a包括衬底附装孔2b，衬底1附装到该衬底附装孔2b ；和两个固 定爪6，其将衬底1支承在衬底附装孔2b中。而且，衬底保持器2a还包括可运动爪7，以 允许将衬底1插入到衬底附装孔2b中/从衬底附装孔2b移除衬底1 ；和可运动爪驱动机 构(以下将简称为驱动机构)12，以驱动可运动爪7。衬底1可以是在中心处包括中心孔的盘状硬盘衬底，如图1中所示。衬底传输机 器人(以下将简称为传输机器人)3被操纵，以将包括V形槽的衬底保持部分5插入到衬底 1的中心孔中，并且在衬底1被支承在竖直的方位中时传输衬底1。虽然该实施例将举例说 明为硬盘衬底，但是本专利技术不受此限制，而可以被用于支承和传输所有类型的、其中心孔被 衬底保持部分支承的衬底。接下来将参照图1和图2A至2C说明用于通过衬底传输机器人3将衬底1附装至 衬底保持器2a的处理。图2A示出其中当衬底1竖直地定向时根据本专利技术的实施例的衬底 传输设备拾取衬底1的状态。图2B示出其中通过枢转衬底传输机器人3而使衬底1朝向 衬底保持器2a运动的状态。图2C示出其中衬底1转移到衬底保持器2a的衬底附装孔2b 中的状态。首先，如图2A中所示，衬底传输机器人3通过将安装在衬底传输机器人3的远端 处的衬底保持部分5插入到容纳在衬底盒9中的衬底1的中心孔中而支承衬底1。衬底传 输机器人3在支承衬底1的同时在衬底保持器2a的方向上枢转，如图2B中所示，由此使衬 底1运动。此时，驱动机构12保持把图1中所示的衬底保持器2a的可运动爪7往下推。如图2C中所示，衬底传输机器人3使衬底1朝向衬底保持器2a运动，并且将衬底 1插入到衬底附装孔2b中。然后，衬底传输机器人3将衬底1推靠到上固定爪6。最后，衬 底传输机器人3取消通过驱动机构12保持下推的可运动爪7的下推状态，并且把可运动爪 7上推以通过固定爪6和可运动爪7两者来支承衬底1，而完成衬底1的附装。应当注意到，5图2A至2C是用于解释衬底传输处理的视图，并因此没有示出所涉及结构的细节。图3是示出根据本专利技术实施例的衬底支承设备的侧剖视图。图4是沿着图3中的 线X-X得到的分解剖视图。图3中与图1和2A至2C中相同的附图标记表示相同的部件。 根据该实施例的衬底支承设备包括减震机构，所述减震机构用于当衬底1被衬底传输机器 人3推靠到固定爪6以便将衬底1附装到衬底保持器2a时防止衬底1损坏。该减震机构通 过以下这样获得改进上述日本专利特开No. 2001-89851中说明的减震机构，以便当衬底1 附装到衬底保持器2a时减少作用在衬底1上的外力，从而可靠地防止衬底1损坏和破裂。如图3和4中所示，衬底支承设备8包括第一连接板81，其固定在包括V形槽的 衬底保持部分5上；和第二连接板82，其面对第一连接板81。第二连接板82固定在衬底传 输机器人3的臂的远端处。第一连接板81和第二连接板82通过多个线性(绳索状)的支 承构件4a、4b和4c连接。在第一连接板81和第二连接板82之间插入弹性的减震构件80。多个支承构件4a、4b和4c具有相同的长度、高强度和无弹性(或者低弹性)。减 震构件80插入在第一连接板81和第二连接板82之间，这承受由于减震构件80的弹性力 (弹簧回复力)所导致的张力。因此，如图3中所示，多个支承构件4a、4b和4c限制第一连 接板81和第二连接板82沿着相互远离的方向的运动，并且在被减震构件80的回复力拉动 的同时连接两个连接板81和82，由此保持该状态中的平衡。如图4中所示，第一连接板81包括形成在其中的第一孔81a、第二孔81b和第三 孔81c，并且第二连接板82包括形成在其中的第四孔82a、第五孔82b和第六孔82c以分别 面对第一孔81a、第二孔81b和第三孔81c。第一连接板81和第二连接板82通过具有相同 长度的线性(绳索状)的第一支承构件4a、第二支承构件4b和第三支承构件4c而相互连接。就是说，在第一支承构件4a的两个端部处形成有锁定部分，在所述锁定部本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种衬底支承设备，所述衬底支承设备将衬底保持部分插入到形成在衬底中的中心孔中，并且通过所述衬底保持部分将所述衬底支承在竖直的方位中，所述衬底支承设备包括：第一连接板，其连接到所述衬底保持部分；第二连接板，其面对所述第一连接板并且连接到用于将所述衬底传输到衬底保持器的传输机器人；至少三个线性的支承构件，其构造成将所述第一连接板连接到所述第二连接板；以及弹性的减震构件，其插入在所述第一连接板与所述第二连接板之间。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：厚见正浩，石田昌昭，
申请(专利权)人：佳能安内华股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP
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