阀门结构及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，提供一种阀门结构及单晶炉，阀门结构包括本体、延伸腔、阀盖和驱动机构，本体上设有环腔，环腔的两端分别用于与单晶炉的主室和副室相连接；延伸腔设置在本体上，并位于环腔的侧面，且与环腔相连通；阀盖封堵于环腔的一端；驱动机构用于带动阀盖在初始位置和工作位置之间移动。上述阀门结构设有环腔和延伸腔，驱动机构用于带动阀盖在初始位置和工作位置之间移动，即驱动机构能够带动阀盖在环腔的一端和延伸腔之间移动；因延伸腔位于环腔的侧面，且与环腔相连通，故上述阀盖无需翻转即可完成在初始位置和工作位置之间的切换，以实现主室和副室的连通或隔断；相较于传统需要翻转的结构设计而言，缩小了空间占用。了空间占用。了空间占用。

【技术实现步骤摘要】
阀门结构及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种阀门结构及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，利用石墨加热器熔化多晶材料，并获得无错位单晶的设备；单晶炉包括主室和副室，且主室和副室之间设有阀门结构，阀门结构用于实现主室和副室之间的连通和隔断。
[0003]现阶段，单晶炉的主室和副室之间的阀门结构通常为翻板阀，即利用直立旋转式开合的设计来实现阀门结构的开闭。但是，此类翻板阀开合所需的空间较大；并且，在开合的过程中，需要采用两种驱动机构来分别实现翻板阀的升降和旋转，驱动机构所涉及的零部件较多，结构较为复杂。
[0004]因此，如何降低阀门结构的空间占用率，是现阶段该领域亟待解决的难题。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种阀门结构，能够降低阀门结构的空间占用率，提高使用效果，解决了现阶段该领域的难题。本技术还提供一种单晶炉，包括上述的阀门结构，因此，能够降低阀门结构的空间占用率，提高使用效果，解决了现阶段该领域的难题。
[0006]本技术的第一方面提供一种阀门结构，包括：
[0007]本体，所述本体上设有环腔，所述环腔的两端分别用于与单晶炉的主室和副室相连接；
[0008]延伸腔，所述延伸腔设置在所述本体上，并位于所述环腔的侧面，且与所述环腔相连通；
[0009]阀盖，所述阀盖封堵于所述环腔的一端；
[0010]驱动机构，所述驱动机构用于带动所述阀盖在初始位置和工作位置之间移动；在所述初始位置时，所述阀盖封堵于所述环腔的一端；在所述工作位置时，所述阀盖移动至所述延伸腔内。
[0011]根据本技术提供的阀门结构，所述驱动机构包括：
[0012]驱动缸，所述驱动缸的输出端设有伸缩杆，所述伸缩杆与所述驱动缸的输出端为转动连接；
[0013]限位筒，所述限位筒套装在所述伸缩杆的外周面上，并与所述驱动缸的缸座相连接；且所述限位筒的外周面上设有弧形孔；
[0014]连接杆，所述连接杆的一端与所述伸缩杆相连接，另一端穿过所述弧形孔与所述阀盖相连接；在所述驱动缸的带动下，所述连接杆能够沿所述弧形孔移动，以带动所述阀盖同时实现升降和转动，并在所述初始位置与所述工作位置之间切换。
[0015]根据本技术提供的阀门结构，所述限位筒的外周面上设有安装板，所述限位筒通过所述安装板设置在所述本体上。
[0016]根据本技术提供的阀门结构，所述阀盖上设有安装座，所述连接杆通过所述安装座与所述阀盖相连接。
[0017]根据本技术提供的阀门结构，所述环腔的侧壁上设有检修孔。
[0018]根据本技术提供的阀门结构，所述环腔的一端设有连接柱，所述连接柱用于与所述副室相连接。
[0019]根据本技术提供的阀门结构，所述环腔的另一端设有连接孔，所述阀门结构通过所述连接孔与所述主室相连接。
[0020]根据本技术提供的阀门结构，所述驱动缸为气缸。
[0021]根据本技术提供的阀门结构，还包括储气筒，所述储气筒用于向所述气缸提供气源。
[0022]本技术的第二方面提供一种单晶炉，包括主室、副室和如上任一种所述的阀门结构；
[0023]所述阀门结构的环腔的两端分别与所述主室和所述副室相连接。
[0024]本技术提供的阀门结构，包括本体、延伸腔、阀盖和驱动机构，其中，本体上设有环腔，环腔的两端分别用于与单晶炉的主室和副室相连接；延伸腔设置在本体上，并位于环腔的侧面，且与环腔相连通；阀盖封堵于环腔的一端；驱动机构用于带动阀盖在初始位置和工作位置之间移动；在初始位置时，阀盖封堵于环腔的一端；在工作位置时，阀盖移动至延伸腔内。上述阀门结构设有环腔和延伸腔，使用时，将环腔的一端与单晶炉的主室相连接，另一端与单晶炉的副室相连接；驱动机构用于带动阀盖在初始位置和工作位置之间移动，即驱动机构能够带动阀盖在环腔的一端和延伸腔之间移动；因延伸腔位于环腔的侧面，且与环腔相连通，故上述阀盖无需翻转即可完成在初始位置和工作位置之间的切换，以实现主室和副室的连通或隔断；相较于传统需要翻转的结构设计而言，缩小了空间占用，使用效果更佳。因此，本技术提供的阀门结构，能够降低阀门结构的空间占用率，提高使用效果，解决了现阶段该领域的难题。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0026]图1是本技术具体实施方式中阀门结构的示意图；
[0027]图2是本技术具体实施方式中驱动机构与阀盖装配的示意图；
[0028]图3是本技术具体实施方式中驱动缸的示意图。
[0029]附图标记：
[0030]1、本体；2、环腔；3、延伸腔；4、阀盖；5、驱动机构；6、安装板；7、检修孔；8、连接柱；9、销轴；10、安装座；
[0031]51、驱动缸；52、伸缩杆；53、限位筒；54、弧形孔；55、连接杆。
具体实施方式
[0032]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，术语“侧面”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术实施例的简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0034]在本技术实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术实施例中的具体含义。
[0035]在本技术实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阀门结构，其特征在于，包括：本体(1)，所述本体(1)上设有环腔(2)，所述环腔(2)的两端分别用于与单晶炉的主室和副室相连接；延伸腔(3)，所述延伸腔(3)设置在所述本体(1)上，并位于所述环腔(2)的侧面，且与所述环腔(2)相连通；阀盖(4)，所述阀盖(4)封堵于所述环腔(2)的一端；驱动机构(5)，所述驱动机构(5)用于带动所述阀盖(4)在初始位置和工作位置之间移动；在所述初始位置时，所述阀盖(4)封堵于所述环腔(2)的一端；在所述工作位置时，所述阀盖(4)移动至所述延伸腔(3)内。2.根据权利要求1所述的阀门结构，其特征在于，所述驱动机构(5)包括：驱动缸(51)，所述驱动缸(51)的输出端设有伸缩杆(52)，所述伸缩杆(52)与所述驱动缸(51)的输出端为转动连接；限位筒(53)，所述限位筒(53)套装在所述伸缩杆(52)的外周面上，并与所述驱动缸(51)的缸座相连接；且所述限位筒(53)的外周面上设有弧形孔(54)；连接杆(55)，所述连接杆(55)的一端与所述伸缩杆(52)相连接，另一端穿过所述弧形孔(54)与所述阀盖(4)相连接；在所述驱动缸(51)的带动下，所述连接杆(55)能够沿所述弧形孔(54)移动，以带动所述阀盖(4)同时实现升降和转动，并在所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王林，谢永旭，周刚，
申请(专利权)人：三一硅能株洲有限公司，
类型：新型
国别省市：