压电石英晶砣化砣清洗盛具制造技术

技术编号:39454431 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-23 14:52
本实用新型专利技术关于一种压电石英晶砣化砣清洗盛具,其包括盛具本体

【技术实现步骤摘要】
压电石英晶砣化砣清洗盛具


[0001]本技术属于晶振制造
,具体涉及一种压电石英晶砣化砣清洗盛具


技术介绍

[0002]现有的石英晶砣化砣装置中,大多采用清洗篮作为清洗盛具,如公告号为
CN107171652B
专利技术名称为一种石英晶片的化砣工艺的专利中公开的清洗盛具

但在使用清洗篮作为清洗盛具时,石英晶砣由下向上堆叠在清洗篮中,然后通过超声振动化砣液或直接上下振动清洗篮来实现化砣清洗,但这种清洗盛具和清洗方法使得,层叠放置的晶砣之间互相影响,不利于化砣过程中杂质的去除,在完成化砣工作后,在进行最后的清洗工作时还需要晃动清洗篮以使杂质彻底清洗

但在化砣后石英晶片的清洗流程中,依次包括洗衣粉煮锅

烧碱煮锅和清水煮锅煮洗;而每批拟清洗的晶片多达
30
个清洗篮,在每个清洗步骤均需人工对每个清洗篮进行晃动,由此使得清洗时劳动强度大

效率低

容易出现烂片,且还容易对工人造成伤害,安全性低


技术实现思路

[0003]为解决上述问题,本技术提供一种新型结构的压电石英晶砣化砣清洗盛具,使其通过增设容纳格,同时改变石英晶砣的摆放方式,增强其通纳晶砣的能力,加强晶砣与清洗液的接触,降低其清洗难度

[0004]本技术的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的

依据本技术提出的一种压电石英晶砣化砣清洗盛具,其包括盛具本体

可拆卸封盖在盛具本体上的压板以及固定在盛具本体两侧的提手,所述盛具本体包括具有多个容纳格的清洗栅格和固定在该清洗栅格下方的底板,该底板上与各个容纳格对应的位置均设有沿底板长度方向延伸且沿宽度方向间隔分布的通孔;每个所述容纳格内均沿通孔延伸方向分布一排垂直通孔延伸方向放置的晶砣;所述压板与每个容纳格对应的位置均设有供流体通过的镂空,且该镂空能够阻止晶片由压板甩出

[0005]本技术的目的及解决其技术问题还可采用以下技术措施进一步实现

[0006]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述容纳格在通孔分布方向的延伸长度略大于单个晶砣的长度

[0007]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述压板上的镂空为不足以供晶片穿过的圆形通孔

[0008]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述底板由多个沿长度方向延伸且沿宽度方向间隔分布的条形支撑件组成,相邻条形支撑件之间形成供流体通过的通孔

[0009]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述条形支撑件为固定在清洗栅格底部的圆柱支撑条

[0010]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述圆柱支撑条两端凸出清洗栅格

[0011]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述清洗栅格包括框架和固定在框架内的横
向挡板和纵向挡板,所述横向挡板和纵向挡板交错组成容纳格

[0012]前述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,所述横向挡板下端设有供纵向挡板下端穿过的开槽,纵向挡板上端设有供横向挡板上方穿过的通槽,横向挡板和纵向挡板通过两处通槽的配合实现固定装配,使得容纳格不同位置的高度一致

[0013]本技术与现有技术相比具有明显的优点和有益效果

借由上述技术方案,本技术可达到相当的技术进步性及实用性,并具有产业上的广泛利用价值,其至少具有下列优点:
[0014]本技术基于待化砣清洗晶坨尺寸统一,差异小的特点设计该盛具,盛放晶坨,解决原清洗盛具劳动强度大和不安全等问题

[0015]本技术通过将盛具的容纳空间分隔成多个容纳格,同时将现有晶片的水平放置,竖直层叠,改为竖直防止,水平层叠,增加了单个盛具能中石英晶砣的放置数量,且可增强单个晶砣与清洗液的接触,增强化砣清洗能力和效率,在煮洗阶段,无需人工晃动,仅利用晶片与流体的自然接触即可实现可靠清洗

不仅能够减轻劳动强度,提高劳动安全性,还能够减少因人工晃动而造成的烂片

附图说明
[0016]图1是本技术结构压电石英晶砣化砣清洗盛具示意图;
[0017]图2是本技术压电石英晶砣化砣清洗盛具爆炸结构示意图

[0018]【
主要元件符号说明

[0019]1:
提手
[0020]2:压板
[0021]3:清洗栅格
[0022]31
:框架
[0023]32
:横向挡板
[0024]33
:纵向挡板
[0025]4:底板
具体实施方式
[0026]为更进一步阐述本技术为达成预定专利技术目的所采取的技术手段及功效,以下结合附图及较佳实施例,对依据本技术提出的压电石英晶砣化砣清洗盛具其具体实施方式

结构

特征及其功效,详细说明如后

[0027]请参阅图1和图2,其为本技术压电石英晶砣化砣清洗盛具的各部分结构示意图,该化砣清洗盛具包括盛具本体

可拆卸封盖在该盛具本体上的压板2以及固定在盛具本体两侧的提手
1。
[0028]所述盛具本体为上端敞开的结构,其包括上方的具有多个容纳格的清洗栅格3和固定在该清洗栅格3下方的底板4,该底板4上与清洗栅格3各个容纳格对应的位置均设有沿长度方向延伸且沿宽度方向间隔分布的通孔,清洗栅格3的每个通纳格内沿通孔延伸方向均分布有一排垂直底板4上的通孔放置的晶砣,较佳的,清洗栅格3的各个容纳格在通孔分布方向的延伸长度略大于单个晶砣的长度

[0029]所述压板2压紧在清洗栅格3上方,用于防止晶砣由清洗栅格3上方甩出,且该压板2上与清洗栅格3的各个容纳格对应的位置均设有用于供液体进出容纳格的镂空,且该镂空的尺寸不足以供晶片垂直压板2穿出,由此可防止化砣清洗时晶片甩出

在该实施例中,上述镂空为圆形通孔,但并不限定于此

[0030]本技术盛具在化砣时,化砣液由底板1上的通孔或压板2上的镂空进出清洗栅格3的容纳格,由化砣液流动方向平行晶砣,直接冲刷晶砣两侧端面,可有效将晶砣两侧端面的蜡等杂质带走,完成化砣工作

[0031]在该实施例中,所述底板4由多个沿长度方向延伸且沿宽度方向间隔分布的条形支撑件
41
组成,相邻条形支撑件
41
之间形成供流体通过的通孔

较佳的,所述条形支撑件
41
为固定在清洗栅格3底部的圆柱支撑条,但并不限定于此

在该实施例中,所述圆柱支撑条两端凸出清洗栅格两端,且该圆柱支撑条固定在清洗栅格3的下端面上
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种压电石英晶砣化砣清洗盛具,其包括盛具本体

可拆卸封盖在盛具本体上的压板以及固定在盛具本体两侧的提手,其特征在于:所述盛具本体包括具有多个容纳格的清洗栅格和固定在该清洗栅格下方的底板,该底板上与各个容纳格对应的位置均设有沿底板长度方向延伸且沿宽度方向间隔分布的通孔;每个所述容纳格内均沿通孔延伸方向分布一排垂直通孔延伸方向放置的晶砣;所述压板与每个容纳格对应的位置均设有供流体通过的镂空,且该镂空能够阻止晶片由压板甩出
。2.
根据权利要求1所述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,其特征在于:所述容纳格在通孔分布方向的延伸长度略大于单个晶砣的长度
。3.
根据权利要求1所述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,其特征在于:所述压板上的镂空为不足以供晶片穿过的圆形通孔
。4.
根据权利要求1所述的压电石英晶砣化砣清洗盛具,其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨猛
申请(专利权)人:北京石晶光电科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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