一种用于真空腔体的后法兰连接结构制造技术

本实用新型专利技术涉及一种用于真空腔体的后法兰连接结构，包括第一连接管和第二连接管，所述第一连接管右侧固定连接有前法兰，所述第二连接管左侧固定了有后法兰，所述后法兰左侧设置有密封圈。该用于真空腔体的后法兰连接结构，将密封圈卡到前法兰与后法兰之间，通过将定位杆插接到第二连接块内部进行初步定位，然后使用螺栓与螺母将前法兰与后法兰进行固定，将插杆插到第一连接块内部，当卡块与第二连接块接触时，卡块会被压缩到插杆内部，当插杆完全卡到第一连接块内部时，被压缩的第一弹簧会带动滑板和卡块进行复位，使卡块卡到第一连接块内部，对前法兰与后法兰进行限位，尽量防止螺栓与螺母发生松动，使连接性更强。使连接性更强。使连接性更强。

【技术实现步骤摘要】
一种用于真空腔体的后法兰连接结构


[0001]本技术涉及法兰连接
，具体为一种用于真空腔体的后法兰连接结构。

技术介绍

[0002]真空腔体，是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变,这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空,产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等,法兰适用于真空腔体内部，同时也属于光伏配件中的一种。
[0003]授权公告号为CN109882671 B的中国专利公布了一种精密连接法兰，其包括第一法兰、第二法兰、密封垫圈、紧固螺栓和螺母，所述密封垫圈设置于所述第一法兰和第二法兰之间，所述第一法兰和第二法兰的对应位置分别开设有管容纳孔，所述第一法兰和第二法兰的对应位置还分别开设有紧固通孔，所述紧固螺栓依次贯穿第一法兰和第二法兰的紧固通孔与所述螺母螺纹连接，但是上述装置在使用时还存在一些缺陷，现有技术中大多数法兰连接都与所对比文件的连接方式相同，由于螺栓在长期使用后容易出现生锈或者松动的情况，导致长时间使用后螺栓的连接性不稳固，容易导致泄漏的情况，故而提出一种用于真空腔体的后法兰连接结构来解决上述问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种用于真空腔体的后法兰连接结构，具备等优点，解决了的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于真空腔体的后法兰连接结构，包括第一连接管和第二连接管，所述第一连接管右侧固定连接有前法兰，所述第二连接管左侧固定了有后法兰，所述后法兰左侧设置有密封圈，所述前法兰内部活动连接有螺栓，所述螺栓外表面螺纹连接有螺母，所述前法兰与后法兰外表面均设置有连接组件；
[0006]所述连接组件包括有固定连接于前法兰外表面的第一连接块，所述后法兰外表面固定连接有第二连接块，所述第二连接块内部活动连接有插杆，所述插杆内部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧远离前法兰的一侧固定连接有滑板，所述滑板远离前法兰的一侧固定连接有卡块，所述第一连接块内部活动连接有顶杆，所述顶杆远离前法兰的一侧固定连接有移动板，所述移动板远离前法兰的一侧固定连接有活动杆，所述活动杆外表面套设有第二弹簧。
[0007]进一步，所述第一连接块右侧固定连接有定位杆，所述定位杆截面形状为矩形，所述定位杆插接于第二连接块内部。
[0008]进一步，所述前法兰与后法兰靠近密封圈的一侧均固定连接有防滑凸块，所述防滑凸块位于密封圈内部。
[0009]进一步，所述插杆内部开设有滑槽，所述滑板滑动连接于滑槽内部。
[0010]进一步，所述卡块截面形状为梯形，所述顶杆与卡块为活动连接。
[0011]进一步，所述活动杆活动连接于第一连接块内部且贯穿第一连接块，所述第一连接块外表面设置有防护壳。
[0012]与现有技术相比，本申请的技术方案具备以下有益效果：
[0013]1、该用于真空腔体的后法兰连接结构，将密封圈卡到前法兰与后法兰之间，通过将定位杆插接到第二连接块内部进行初步定位，然后使用螺栓与螺母将前法兰与后法兰进行固定，将插杆插到第一连接块内部，当卡块与第二连接块接触时，卡块会被压缩到插杆内部，当插杆完全卡到第一连接块内部时，被压缩的第一弹簧会带动滑板和卡块进行复位，使卡块卡到第一连接块内部，对前法兰与后法兰进行限位，尽量防止螺栓与螺母发生松动，使连接性更强。
[0014]2、该用于真空腔体的后法兰连接结构，通过将防护壳打开，然后将活动杆向靠近第一连接块的一侧按压，活动杆移动带动移动板和顶杆移动，顶杆移动即可将卡块向靠近插杆的一侧按压，将插杆从第一连接块与第二连接块内部取出，即可解除限位。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术结构图1中A处放大图；
[0017]图3为本技术结构前法兰与防滑凸块连接示意图。
[0018]图中：1第一连接管、2第二连接管、3前法兰、4后法兰、5密封圈、6防滑凸块、7螺栓、8螺母、9定位杆、10第一连接块、11第二连接块、12插杆、13第一弹簧、14滑板、15滑槽、16卡块、17顶杆、18移动板、19第二弹簧、20活动杆、21防护壳。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]请参阅图1
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3，本实施例中的一种用于真空腔体的后法兰连接结构，包括第一连接管1和第二连接管2，第一连接管1右侧固定连接有前法兰3，第二连接管2左侧固定了有后法兰4，后法兰4左侧设置有密封圈5，前法兰3内部活动连接有螺栓7，螺栓7外表面螺纹连接有螺母8，前法兰3与后法兰4外表面均设置有连接组件。
[0021]其中，连接组件包括有固定连接于前法兰3外表面的第一连接块10，后法兰4外表面固定连接有第二连接块11，第二连接块11内部活动连接有插杆12，插杆12内部固定连接有第一弹簧13，第一弹簧13远离前法兰3的一侧固定连接有滑板14，滑板14远离前法兰3的一侧固定连接有卡块16，第一连接块10内部活动连接有顶杆17，顶杆17远离前法兰3的一侧固定连接有移动板18，移动板18远离前法兰3的一侧固定连接有活动杆20，活动杆20外表面套设有第二弹簧19。
[0022]其次，第一连接块10右侧固定连接有定位杆9，定位杆9截面形状为矩形，定位杆9插接于第二连接块11内部，便于对前法兰3与后法兰4之间进行定位。前法兰3与后法兰4靠
近密封圈5的一侧均固定连接有防滑凸块6，防滑凸块6位于密封圈5内部，可以尽量防止密封圈5发生松动。插杆12内部开设有滑槽15，滑板14滑动连接于滑槽15内部，可以使滑板14在滑动时更加稳定。
[0023]另外的，卡块16截面形状为梯形，顶杆17与卡块16为活动连接。活动杆20活动连接于第一连接块10内部且贯穿第一连接块10，第一连接块10外表面设置有防护壳21，防护壳21内部设置有磁铁，第二连接块11材质为金属。
[0024]上述实施例的工作原理为：
[0025]（1）该用于真空腔体的后法兰连接结构，将密封圈5卡到前法兰3与后法兰4之间，通过将定位杆9插接到第二连接块11内部进行初步定位，然后使用螺栓7与螺母8将前法兰3与后法兰4进行固定，将插杆12插到第一连接块10内部，当卡块16与第二连接块11接触时，卡块16会被压缩到插杆12内部，当插杆12完全卡到第一连接块10内部时，被压缩的第一弹簧13会带动滑板14和卡块16进行复位，使卡块16卡到第一连接块10内部，对前法兰3与后法兰4进行限位，尽量防止螺栓7与螺母8发生松动，使连接性更强。
[0026]（2）该用于真空腔体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于真空腔体的后法兰连接结构，包括第一连接管（1）和第二连接管（2），其特征在于：所述第一连接管（1）右侧固定连接有前法兰（3），所述第二连接管（2）左侧固定了有后法兰（4），所述后法兰（4）左侧设置有密封圈（5），所述前法兰（3）内部活动连接有螺栓（7），所述螺栓（7）外表面螺纹连接有螺母（8），所述前法兰（3）与后法兰（4）外表面均设置有连接组件；所述连接组件包括有固定连接于前法兰（3）外表面的第一连接块（10），所述后法兰（4）外表面固定连接有第二连接块（11），所述第二连接块（11）内部活动连接有插杆（12），所述插杆（12）内部固定连接有第一弹簧（13），所述第一弹簧（13）远离前法兰（3）的一侧固定连接有滑板（14），所述滑板（14）远离前法兰（3）的一侧固定连接有卡块（16），所述第一连接块（10）内部活动连接有顶杆（17），所述顶杆（17）远离前法兰（3）的一侧固定连接有移动板（18），所述移动板（18）远离前法兰（3）的一侧固定连接有活动杆（20），所述活动杆（20）外表面套设...

【专利技术属性】
技术研发人员：高松，陈红霞，陈东，
申请(专利权)人：靖江新恒和半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：