适用于堆叠薄膜的上料分离设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种适用于堆叠薄膜的上料分离设备，包括有设备基座，设备基座上设置有顶升装置，顶升装置上设置有作业平台，作业平台上设置有放料组件，放料组件上设置有分料装置，作业平台在放料组件的上端设置有取料装置，作业平台上还设置有感应装置。由此，设有顶升装置，可以对接前后工位的高度，便于顺畅收料。设有独立的放料组件，可以实现薄膜的堆叠备料，避免出现繁琐的单张添加使用。采用离子风刀作为分料装置，可以实现堆叠状态下的薄膜按序分离，避免出现非必要的粘连。采用吸盘式的取料装置，实现无损吸附取料。实现无损吸附取料。实现无损吸附取料。

【技术实现步骤摘要】
适用于堆叠薄膜的上料分离设备


[0001]本技术涉及一种上料设备，尤其涉及一种适用于堆叠薄膜的上料分离设备
。

技术介绍

[0002]对于现有的集成电路加工来看，往往需要采用若干薄膜来进行覆膜分隔，便于物料更好的存储与搬运
。
目前，常规薄膜都是进行堆叠备用的
。
使用期间，需要依托于分离设备来进行单张的薄膜取料
。
[0003]但是，现有薄膜取料装置都是继续简单的吸盘吸附来进行
。
实施期间，容易存在多张粘连的缺陷
。
同时，会在取出薄膜的期间造成下方代取薄膜的排列出现偏移，影响下一次的准确取用，继而可能出现包覆使用出现偏差
。
[0004]有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种适用于堆叠薄膜的上料分离设备，使其更具有产业上的利用价值
。

技术实现思路

[0005]为解决上述技术问题，本技术的目的是提供一种适用于堆叠薄膜的上料分离设备
。
[0006]本技术的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，包括有设备基座，其中：所述设备基座上设置有顶升装置，所述顶升装置上设置有作业平台，所述作业平台上设置有放料组件，所述放料组件上设置有分料装置，所述作业平台在放料组件的上端设置有取料装置，所述作业平台上还设置有感应装置
。
[0007]进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述顶升装置包括有垂直导向支架，所述垂直导向支架内设置有直线电机，所述直线电机上设置有安装块，所述安装块与作业平台相连
。
[0008]更进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述放料组件包括有与作业平台相连的放料底座，所述放料底座边缘设置有若干限位杆，所述放料框的顶部设置有取料开口，所述取料装置的位置与取料开口相对应
。
[0009]更进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述分料装置包括有镜像分布在放料组件两侧的离子风刀
。
[0010]更进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述取料装置包括有抬升支架，所述抬升支架上设置有吸盘组件，所述吸盘组件的工作面朝向放料组件
。
[0011]更进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述感应装置为镜像分布在放料组件两侧的传感器
。
[0012]更进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述传感器为摄像头，或是，所述传感器为光栅
。
[0013]再进一步地，上述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其中，所述作业平台的两侧设置有延展板，所述感应装置与延展板相连
。
[0014]借由上述方案，本技术至少具有以下优点：
[0015]1、
设有顶升装置，可以对接前后工位的高度，便于顺畅收料
。
[0016]2、
设有独立的放料组件，可以实现薄膜的堆叠备料，避免出现繁琐的单张添加使用
。
[0017]3、
采用离子风刀作为分料装置，可以实现堆叠状态下的薄膜按序分离，避免出现非必要的粘连
。
[0018]4、
采用吸盘式的取料装置，实现无损吸附取料
。
[0019]5、
整体构造简单，便于制造和使用，可以适配常规的薄膜使用设备
。
[0020]上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，并可依照说明书的内容予以实施，以下以本技术的较佳实施例并配合附图详细说明如后
。
附图说明
[0021]图1是适用于堆叠薄膜的上料分离设备的结构示意图
(
水平横线为光栅示意图
)。
[0022]图中各附图标记的含义如下
。
[0023]1 设备基座
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2 顶升装置
[0024]3 作业平台
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4 分料装置
[0025]5 取料装置
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6 感应装置
[0026]7 垂直导向支架
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8 直线电机
[0027]9 放料底座
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10 限位杆
[0028]11 薄膜
具体实施方式
[0029]下面结合附图和实施例，对本技术的具体实施方式作进一步详细描述
。
以下实施例用于说明本技术，但不用来限制本技术的范围
。
[0030]如图1的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，包括有设备基座1，其与众不同之处在于：设备基座1上设置有顶升装置
2。
同时，在顶升装置2上设置有作业平台3，作业平台3上设置有放料组件
。
并且，为了便于实现便捷化的薄膜进行有效的分离，放料组件上设置有分料装置
4。
实施期间，为了能够在分料完毕后进行实时的取料，提高整体的分离取料效率，可在作业平台3在放料组件的上端设置有取料装置
5。
再者，为了有效感知当前堆叠的厚度，便于实现精确的分离
、
取料对接，可在作业平台3上还设置有感应装置
6。
[0031]结合本技术一较佳的实施方式来看，顶升装置2包括有垂直导向支架7，垂直导向支架7内设置有直线电机8，直线电机8上设置有安装块，安装块与作业平台3相连
。
这样，可通过设备基座1安装到相应加工设备的预留工位上，实现有效的垂直供料调整，可以依据前后工位的高度差实现最佳的供料高度，能满足各个工位之间便捷化的对接，无需采用额外的机械手来进行垂直方向的薄膜搬运
。
[0032]进一步来看，采用的放料组件包括有与作业平台3相连的放料底座9，在放料底座9边缘设置有若干限位杆
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，对堆叠放置的薄膜进行限位，避免其出现非必要的横向偏移和滑落
。
同时，考虑到后续取料的便利，在放料框的顶部设置有取料开口，取料装置5的位置与
取料开口相对应
。
[0033]结合实际实施来看，采用的分料装置4包括有镜像分布在放料组件两侧的离子风刀
。
这样，伴随着成组的离子风刀工作，让顶层的薄膜
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与堆叠在下方的若干薄膜顺利分离
。
并且，在分离过程中不出现褶皱或是非必要粘接
。
同时，为了在薄膜
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剥离之后实现顺畅的取料对接，采用的取料装置5包括有抬升支架，抬升支架上设置有吸盘组件，吸盘组件的工作面朝向放料组件
。
这样，可以实现薄膜
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的无损吸附抓取
。
[0034]再进一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
适用于堆叠薄膜的上料分离设备，包括有设备基座，其特征在于：所述设备基座上设置有顶升装置，所述顶升装置上设置有作业平台，所述作业平台上设置有放料组件，所述放料组件上设置有分料装置，所述作业平台在放料组件的上端设置有取料装置，所述作业平台上还设置有感应装置
。2.
根据权利要求1所述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其特征在于：所述顶升装置包括有垂直导向支架，所述垂直导向支架内设置有直线电机，所述直线电机上设置有安装块，所述安装块与作业平台相连
。3.
根据权利要求1所述的适用于堆叠薄膜的上料分离设备，其特征在于：所述放料组件包括有与作业平台相连的放料底座，所述放料底座边缘设置有若干限位杆，所述放料底座的顶部设置有取料开口，所述取料装置的位置与取料开口相对应
。4.
...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟小龙，贾淳，
申请(专利权)人：苏州矽微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：