高低温探针台测试装置制造方法及图纸

技术编号:39447005 阅读:8 留言:0更新日期:2023-11-23 14:49
本实用新型专利技术公开了高低温探针台测试装置,包括:探针台测试部;力限位部,力限位部包含连接于探针测试结构上端的支柱、贯穿支柱上部的抵触柱和相对抵触柱设置,连接于置料结构外表面的操控开关;针头清理部,连接于置料结构外表面,并处于操控开关的下方。本实用新型专利技术对移动的测试探头的上部进行抵触柱结构的设置,并设置有相对的操控开关,可通过抵触柱与操控开关之间的抵触,及时进行向内推力的限制,以解决现有探针台测试装置,在使用探针头对半导体进行测试处理时,初始状态下的测试探针与待测试的半导体之间不相接触,需使用电动推杆对其进行相内推动力的施加,施力力的控制不足,易作用于待测试半导体上,影响美观的问题。影响美观的问题。影响美观的问题。

【技术实现步骤摘要】
高低温探针台测试装置


[0001]本技术涉及探针台
,特别是涉及高低温探针台测试装置。

技术介绍

[0002]探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发。
[0003]但它在实际使用中仍存在以下弊端:
[0004]现有探针台测试装置,在使用探针头对半导体进行测试处理时,初始状态下的测试探针与待测试的半导体之间不相接触,需使用电动推杆对其进行相内推动力的施加,施力力的控制不足,易作用于待测试半导体上,使其表面发生损伤,影响美观性。
[0005]因此,新提出高低温探针台测试装置,以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]1.要解决的技术问题
[0007]本技术的目的在于提供高低温探针台测试装置,对移动的测试探头的上部进行抵触柱结构的设置,并设置有相对的操控开关,可通过抵触柱与操控开关之间的抵触,及时进行向内推力的限制,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]2.技术方案
[0009]为解决上述技术问题,本技术是通过以下技术方案实现的:
[0010]本技术为高低温探针台测试装置,包括:
[0011]探针台测试部,所述探针台测试部包含底支撑结构、连接于底支撑结构上端外边缘的探针测试结构、连接于底支撑结构上端中部的置料结构和连接于底支撑结构上端内边缘的查看结构;
[0012]力限位部,所述力限位部包含连接于探针测试结构上端的支柱、贯穿支柱上部的抵触柱和相对抵触柱设置,连接于置料结构外表面的操控开关;
[0013]针头清理部,连接于置料结构外表面,并处于操控开关的下方。
[0014]进一步地,所述底支撑结构包含底支座、连接于底支座上端中部的承接柱和连接于承接柱上端中部的安装板;
[0015]具体的,承接柱对底支座、安装板两者连接固定,并通过底支座与外接触面之间的放置接触,可对整个装置进行稳固,安装板则用于外部结构的安装固定。
[0016]进一步地,所述探针测试结构包含多个等距连接于安装板上端外边缘的支架、贯穿支架上部的电动推杆和连接于电动推杆输出前端的测试探针;
[0017]进一步地,所述支架呈L形状,其支架通过底端前部的螺柱与安装板的上端相螺纹连接;
[0018]具体的,螺柱对支架进行结构的安装,经由支架对电动推杆承接,受控的电动推杆可通过对测试探针施加推拉的力,对其进行前后移动,以满足对半导体的测试。
[0019]进一步地,所述置料结构包含连接于安装板上端中部的吸风机、连接于吸风机上端的液压缸、连接于液压缸上端边缘的置料管和连接于液压缸输出上端的置料台;
[0020]所述吸风机输出端套接有分管,且一个分管的上部与置料台外边缘的吸附口相套接,另一分管上部与置料台内边缘的吸附口相套接;
[0021]上述所述操控开关连接于液压缸外表面的上部;
[0022]具体的,置料台对待测试的半导体进行放置承接,受控的吸风机对分管施加吸力,可经由对应的吸附口对待测试的半导体进行吸附稳固,而液压缸则对置料台进行上下移动,以满足测试所需,置料台上内外边缘的吸附口,可满足不同规格半导体的吸附定位。
[0023]进一步地,所述查看结构包含多个等距连接于安装板上端内边缘的连接柱、连接于连接柱上端的连接板和贯穿连接板中部的观察显微镜;
[0024]具体的,连接柱经由连接板对观察显微镜进行结构的安装,以通过显微镜对半导体进行测试查看。
[0025]进一步地,所述针头清理部包含多个等距连接于液压缸外表面上部的清理管和多个等距连接于清理管内侧壁的清理毛刷;
[0026]进一步地,所述清理管外表面后端等距布设螺纹,且液压缸外表面上部相对位置开设有螺孔,两者相螺纹连接;
[0027]具体的,螺纹使得清理管安装固定于液压缸的外表面上部,并可便捷进行拆卸,同时可对测试探针前部探头进行承接,在前后移动中,通过与多清理毛刷之间的接触,可对其进行表面清理,降低人为清理强度,并提升测试准确性。
[0028]3.有益效果
[0029]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0030]一、本技术,对测试探针的上部进行抵触柱结构的设置,对液压缸外表面的相对位置进行操控开关的设置,可在测试探针进行前移中,通过抵触柱与操控开关之间的相接触,在施加按压的力后,即表面测试探针处于合适位置,并及时对自身进行制动,以避免对半导体施加力过大,造成其表面的损伤。
[0031]二、基于有益效果一,对液压缸的外表面上设置清理管,并在清理管内侧壁上有等距布设的清理毛刷,在测试探针进行前后移动的过程中,即可对其进行表面清理,随时进行机械的清理,提升测试准确性,且机械作业,省时省力。
[0032]当然,实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。
附图说明
[0033]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0034]图1为本技术的外观图;
[0035]图2为本技术的安装板上部结构图;
[0036]图3为本技术的置料结构示意图;
[0037]图4为本技术的查看结构示意图。
[0038]附图中,各标号所代表的部件列表如下:
[0039]1、底支撑结构;11、底支座;12、承接柱;13、安装板;2、探针测试结构;21、支架;22、电动推杆;23、测试探针;3、置料结构;31、吸风机;32、液压缸;33、置料管;34、置料台;4、查看结构;41、连接柱;42、连接板;43、观察显微镜;5、力限位部;51、支柱;52、抵触柱;53、操控开关;6、针头清理部;61、清理管;62、清理毛刷。
具体实施方式
[0040]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂,下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。
[0041]在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术,但是本技术还可以采用其他不同于在此描述的其它方式来实施,本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似推广,因此本技术不受下面公开的具体实施方式的限制。
[0042]其次,本技术结合示意图进行详细描述,在详述本技术实施方式时,为便于说明,表示器件结构的剖面图会不依一般比例作局部放大,而且示意图只是示例,其在此不应限制本技术保护的范围。此外,在实际制作中应包含长度、宽度及深度的三维空间尺寸。
[0043]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合附图对本技术的实施方式作进一步地详细描述。
[0044]实施例1
[0045]本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.高低温探针台测试装置,其特征在于,包括:探针台测试部,所述探针台测试部包含底支撑结构(1)、连接于底支撑结构(1)上端外边缘的探针测试结构(2)、连接于底支撑结构(1)上端中部的置料结构(3)和连接于底支撑结构(1)上端内边缘的查看结构(4);力限位部(5),所述力限位部(5)包含连接于探针测试结构(2)上端的支柱(51)、贯穿支柱(51)上部的抵触柱(52)和相对抵触柱(52)设置,连接于置料结构(3)外表面的操控开关(53);针头清理部(6),连接于置料结构(3)外表面,并处于操控开关(53)的下方。2.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置,其特征在于,所述底支撑结构(1)包含底支座(11)、连接于底支座(11)上端中部的承接柱(12)和连接于承接柱(12)上端中部的安装板(13)。3.根据权利要求1所述的高低温探针台测试装置,其特征在于,所述探针测试结构(2)包含多个等距连接于安装板(13)上端外边缘的支架(21)、贯穿支架(21)上部的电动推杆(22)和连接于电动推杆(22)输出前端的测试探针(23)。4.根据权利要求3所述的高低温探针台测试装置,其特征在于,所述支架(21)呈L形状,其支架(21)通过底端前部的螺柱与安装板(13)...

【专利技术属性】
技术研发人员:王晶晶
申请(专利权)人:天津多为莱博科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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