双侧或单侧加工机以及用于运行双侧或单侧加工机的方法技术

本发明专利技术涉及一种双侧或单侧加工机，具有优选环形的借助于旋转驱动器能相对于彼此旋转地被驱动的第一工作盘和支座元件，在第一工作盘和支座元件之间形成优选环形的工作间隙，以用于双侧或单侧地加工扁平的工件、优选晶片，双侧或单侧加工机包括多个传感器，其在双侧或单侧加工机运行期间检测双侧或单侧加工机的机器参数和/或加工参数的测量数据，设置有控制装置，其在双侧或单侧加工机的运行中获得通过传感器检测的测量数据，控制装置包括人工神经网络，其被构造成由测量数据创建双侧或单侧加工机的状态矢量并且将状态矢量与至少一个额定状态矢量进行比较。本发明专利技术还涉及一种包括双侧或单侧加工机的系统以及一种用于运行双侧或单侧加工机的方法。侧或单侧加工机的方法。侧或单侧加工机的方法。

【技术实现步骤摘要】
双侧或单侧加工机以及用于运行双侧或单侧加工机的方法


[0001]本专利技术涉及一种双侧或单侧加工机，具有优选环形的第一工作盘和优选环形的支座元件，其中，所述第一工作盘和所述支座元件借助于旋转驱动器能够相对于彼此旋转地被驱动，并且其中，在所述第一工作盘和所述支座元件之间形成优选环形的工作间隙，以用于双侧或单侧地加工扁平的工件、优选晶片，其中，所述双侧或单侧加工机包括多个传感器，所述传感器在所述双侧或单侧加工机运行期间检测关于所述双侧或单侧加工机的机器参数和/或加工参数的测量数据。本专利技术还涉及一种用于运行这种双侧或单侧加工机的方法。

技术介绍

[0002]例如，在双侧抛光机中，扁平工件、例如晶片在优选环形的工作盘之间抛光。优选环形的工作间隙布置在各工作盘之间，在加工期间，扁平工件、例如晶片保持在该工作间隙中。为此，通常在工作间隙中布置具有凹部的所谓的转盘，工件浮动地支承在这些凹部中。为了借助旋转驱动器进行加工，工作盘相对于彼此旋转地被驱动，并且转盘通常通过转盘的外齿部也在工作间隙中旋转，所述外齿部接合在销环的相应齿部中。由此工件在加工期间沿着摆线轨迹被输送穿过工作间隙。在双侧抛光的情况下，用于研磨加工的抛光剂、即所谓的浆料也被供应到工作间隙中。在双侧抛光机中，工作盘此外在其限定工作间隙的表面上通常具有抛光布、即所谓的抛光垫。
[0003]加工的目的是完成加工的工件的尽可能平面平行的形状。为此，工作间隙几何形状具有决定性的意义。由DE102006037490B4已知一种双侧加工机，具有用于产生工作盘中的一个工作盘的整体变形的器件。尤其，上部的工作盘可以在整体凹入和整体凸出的形状之间变形。从径向方向上看，工作盘的凹入或凸起的形状在这样的整体变形中仅在工作盘的整个直径上产生。限定工作间隙的优选环形的工作盘的环形面在此保持平坦，然而环形面的对置的环形区段彼此变形，从而整体上得到凹入或凸起的形状。
[0004]此外，由DE102016102223A1已知一种双侧加工机，具有用于尤其是在局部凸起的和局部凹入的形状之间产生工作盘中的一个工作盘的局部变形的器件。在这样的局部变形的情况下，例如在环形工作盘的内边缘与外边缘之间产生在径向方向上的凸起或凹入的形状。与整体变形不同，在局部变形时，环形区段本身凹入或凸起地变形。
[0005]两个上述设计方案可以在双侧加工机中组合。以这种方式可以产生不同的工作间隙几何形状。因此例如在抛光布部分磨损或界定工作间隙的部件的温度变化的情况下，可以随时确保工件的尽可能平面平行的加工或工作间隙的对于工件质量优选的设定，无论其是否平行。
[0006]工作间隙的几何形状对于加工的工件的形状和平坦度具有决定性的影响。除了工作间隙的几何形状，加工结果还影响多个另外的机器参数和/或加工参数，例如机器的各种部件的温度、工作衬层、例如抛光布的厚度和可能的磨损、相对于彼此旋转的工作盘和/或支座元件以及旋转地支承在工作间隙中的转盘的旋转速度，或者例如第一工作盘与支座元
件之间的负荷。
[0007]已知的是，在双侧或单侧加工机运行期间借助传感器来监控这种机器参数和/或加工参数。作为另外的加工参数，还已知的是，借助相应的传感器来检测在工作间隙中加工的扁平工件、例如晶片的形状和厚度。对于双侧或单侧加工机的运行，必须首先在开始加工扁平工件之前在建立双侧或单侧加工机的范围内从多个所述机器参数和加工参数中找到合适的参数范围。在此，双侧或单侧加工机也必须根据在相应使用地点存在的边界条件来设定，例如工作衬层、如抛光布、必要时的抛光剂的类型以及操作员的另外的参数预设。在双侧或单侧加工机的随后的生产运行中，该过程必须借助于传感器来监控。在此，应提早识别与预设的目标值、例如加工的晶片的GBIR或SFQR值的偏差并且必要时在加工过程中修正地干预这些偏差。
[0008]尤其是由于大量不同的加工过程，传感器的测量结果必须由专业人员解释，以便得出用于适配生产运行的正确结论。这种专业人员不能够在每个双侧或单侧加工机的使用地点处供使用。这可能导致对生产过程的不利影响。此外，在出现可能的有害的参数偏差之后，经常仅仅以显著的时间延迟来进行生产运行的适配。其原因是，对于专业人员来说，由于对生产过程有影响的多个机器参数和加工参数，也很难提早识别所测参数的相关偏差。这经常在测量制成的加工工件之后才发生。如果然后在生产过程中确定了不希望的偏差，那么在此期间产生大量的废品。

技术实现思路

[0009]从所阐述的现有技术出发，本专利技术的任务在于，提供一种双侧或单侧加工机以及一种用于运行双侧或单侧加工机的方法，利用其可以在最小化废品的情况下更快速且更可靠地监控双侧或单侧加工机的生产过程。
[0010]本专利技术通过独立权利要求1和9解决该任务。有利的设计方案在从属权利要求、说明书和附图中得出。
[0011]对于开头所述类型的双侧或单侧加工机，本专利技术通过如下方式解决该任务，即，设置控制装置，该控制装置在双侧或单侧加工机的运行中获得通过传感器检测的测量数据，其中，所述控制装置包括人工神经网络，所述人工神经网络被构造成，由所述测量数据创建所述双侧或单侧加工机的状态矢量，并且将所述状态矢量与至少一个额定状态矢量进行比较。
[0012]对于开头所述类型的方法，本专利技术通过以下方式解决所述任务，即通过输入多个导致扁平工件的可接受的加工结果的额定状态矢量来训练人工神经网络。
[0013]根据本专利技术的双侧或单侧加工机尤其可以是双侧或单侧抛光机。但是，双侧或单侧加工机也可以是双侧或单侧研磨机或者双侧或单侧磨光机。双侧或单侧加工机具有优选环形的第一工作盘和优选环形的支座元件。在单侧加工机中，支座元件例如可以被设计为简单的重物或压力缸。所述支座元件优选可以是优选环形的第二工作盘。第一工作盘和支座元件可相对彼此旋转地被驱动，并且在第一工作盘和支座元件之间形成优选环形的工作间隙，用于加工扁平的工件、如晶片。尤其，如果涉及双侧或单侧抛光机，至少第一工作盘、优选地还有支座元件或者说第二工作盘可以在其限定工作间隙的表面上具有抛光衬层(抛光垫)。此外，在加工期间可以以本身已知的方式将过程介质、例如抛光剂、尤其是抛光液
(浆料)引入工作间隙中。工作盘也可以设有调温通道，在运行中，调温液体、例如冷却水通过该调温通道被引导，以用于对工作盘进行调温。
[0014]双侧或单侧加工机尤其用于平面平行地加工扁平工件。工件可以以本身已知的方式被浮动地接收在布置在工作间隙中的转盘的凹部中，以进行加工。第一工作盘和支座元件在运行中例如通过相应的驱动轴和至少一个驱动马达相对彼此旋转地被驱动。可能的是，第一工作盘和支座元件中的仅一个被旋转地驱动。但是，然后通常在相反的方向上，不仅第一工作盘而且支座元件也可以被旋转地驱动。例如，在双侧加工机的情况下，通过合适的运动学，转盘可以在第一工作盘和支座元件之间的相对旋转期间同样地旋转地运动通过工作间隙，使得布置在转盘的凹部中的工件在工作间隙中描绘了摆线轨迹。例如转盘可以在其外边缘处具有齿部，该齿部接合在销环的所配设的齿部本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种双侧或单侧加工机，具有优选环形的第一工作盘(14)和优选环形的支座元件(16)，其中，所述第一工作盘(14)和所述支座元件(16)借助于旋转驱动器能够相对于彼此旋转地被驱动，并且其中，在所述第一工作盘(14)和所述支座元件(16)之间形成优选环形的工作间隙(18)，以用于双侧或单侧地加工扁平的工件(42、44)、优选晶片，其中，所述双侧或单侧加工机包括多个传感器(20、22、24)，所述传感器在所述双侧或单侧加工机运行期间检测关于所述双侧或单侧加工机的机器参数和/或加工参数的测量数据，其特征在于，设置有控制装置(34)，所述控制装置在所述双侧或单侧加工机的运行中获得通过所述传感器(20、22、24)检测的测量数据，其中，所述控制装置(34)包括人工神经网络(34)，所述人工神经网络被构造成，由所述测量数据创建所述双侧或单侧加工机的状态矢量，并且将所述状态矢量与至少一个额定状态矢量进行比较。2.根据权利要求1所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，所述控制装置(34)被构造成，在所创建的状态矢量与所述至少一个额定状态矢量有偏差时发出警告通知。3.根据前述权利要求中任一项所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，所述控制装置(34)还包括调节装置(64)，所述调节装置被构造成，在所创建的状态矢量与所述至少一个额定状态矢量之间的通过比较确定的偏差的情况下，操控所述双侧或单侧加工机、尤其是所述双侧或单侧加工机的机器参数和/或运行参数，使得所创建的状态矢量与至少一个额定状态矢量一致。4.根据权利要求3所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，所述调节装置(64)集成到所述控制装置(34)中。5.根据权利要求3或4所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，所述调节装置(64)被构造成，基于存储在所述调节装置(64)中的适配规则来操控所述双侧或单侧加工机的机器参数和/或运行参数。6.根据前述权利要求中任一项所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，设置有另外的人工神经网络(86)，所述另外的人工神经网络被构造成，通过机器学习来评价关于所述机器参数和/或加工参数的测量数据，并且基于所述评价来操控所述双侧或单侧加工机、尤其是所述双侧或单侧加工机的机器参数和/或运行参数，并且/或者创建和/或改变存储在调节装置(64)中的适配规则。7.根据权利要求6所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，所述调节装置(64)被集成到所述另外的人工神经网络(86)中。8.根据前述权利要求中任一项所述的双侧或单侧加工机，其特征在于，所述传感器(20、22、24)包括测量装置(20、22、24)，用于测量所述工作间隙(18)，尤其是所述第一工作盘(14)与所述支座元件(16)之间的距离；和...

【专利技术属性】
技术研发人员：S，
申请(专利权)人：莱玛特，
类型：发明
国别省市：