涂敷装置以及涂敷方法制造方法及图纸

提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】涂敷装置以及涂敷方法


[0001]本专利技术的实施方式涉及涂敷装置以及涂敷方法
。

技术介绍

[0002]存在着使用涂敷杆涂敷液体的涂敷装置
。
期望是能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置
。
[0003]在先技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开
2016
－
174992
号公报

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]本专利技术的实施方式提供能形成均匀的涂敷膜的涂敷装置以及涂敷方法
。
[0008]用于解决课题的方案
[0009]根据本专利技术的实施方式，涂敷装置包括涂敷杆
、
多个喷嘴
、
多个保持部以及检测部
。
上述涂敷杆能与被涂敷构件相向
。
上述多个喷嘴能朝上述涂敷杆供给液体
。
上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴
。
上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置
。
上述检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量
。
附图说明
[0010]图1是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0011]图2是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性侧视图
。
[0012]图3是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0013]图4是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0014]图5是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0015]图6是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0016]图7是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0017]图8是例示出第2实施方式所涉及的涂敷方法的流程图
。
具体实施方式
[0018]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行详细说明
。
[0019]另外，附图是示意性或者概念性的附图，各部分的厚度与宽度的关系
、
部分间的大小的比率等不必与实际的构成相同
。
另外，即便在表示相同部分的场合，有时根据附图的不同而彼此的尺寸
、
比率会不同地被示出
。
[0020]另外，在本申请说明书和各图中，对与有关在先的图已述的构成同样的要素标注
相同的附图标记而适当省略详细说明
。
[0021](
第1实施方式
)
[0022]图1是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性俯视图
。
[0023]图2是例示出第1实施方式所涉及的涂敷装置的示意性侧视图
。
[0024]如图1以及图2所示那样，实施方式所涉及的涂敷装置
110
包括涂敷杆
10、
多个喷嘴
21、
多个保持部
22
以及检测部
50。
[0025]涂敷杆
10
能与被涂敷构件
80
相向
。
多个喷嘴
21
能朝涂敷杆
10
供给液体
84。
利用从多个喷嘴
21
排出的液体
84
，在被涂敷构件
80
形成涂敷膜
85。
[0026]多个保持部
22
中的一个保持部保持多个喷嘴
21
中的一个喷嘴
。
多个保持部
22
中的一个保持部能控制以涂敷杆
10
为基准的多个喷嘴
21
中的一个喷嘴的位置
。
由多个保持部
22
固定多个喷嘴
21
各自的位置
。
位置是以涂敷杆
10
为基准的位置
。
[0027]检测部
50
能检测与以涂敷杆
10
为基准的多个喷嘴
21
各自的位置相对应的量
。
检测的量例如可包括电阻
、
声音
、
应力
、
光以及影像中的至少任意一者
。
检测的量可包括有关多个喷嘴
21
与涂敷杆
10
的接触状态的量
。
接触状态包括多个喷嘴
21
分别与涂敷杆
10
的接触面积
。
接触状态可包括多个喷嘴
21
分别与涂敷杆的角度
。
[0028]在实施方式中，能基于与多个喷嘴
21
各自的位置相对应的量的检测结果，由多个保持部
22
控制多个喷嘴
21
各自的状态
。
能使以涂敷杆
10
为基准的多个喷嘴
21
各自的空间上的位置关系变均匀
。
由此，可获得均匀的涂敷膜
85。
在实施方式中，可提供能形成均匀的涂敷膜
85
的涂敷装置
。
[0029]在实施方式中，在涂敷时，多个喷嘴
21
分别与涂敷杆
10
接触
。
当从多个喷嘴
21
供给液体
84
时，多个喷嘴
21
分别与涂敷杆
10
接触
。
由此，多个喷嘴
21
与涂敷杆
10
的位置关系变稳定
。
由此，能使涂敷状态达到一定程度的均匀
。
[0030]但是，即便在多个喷嘴
21
分别与涂敷杆
10
接触时，若多个喷嘴
21
的与涂敷杆
10
的接触状态不同，有时涂敷膜
85
的均匀性也会不充分
。
[0031]在实施方式中，能由检测部
50
检测多个喷嘴各自与涂敷杆
10
的接触状态
。
例如，检测部
50
不仅能进行接触或者非接触的检测，还能检测与接触的面积相对应的量等
。
通过检测有关多个喷嘴各自与涂敷杆
10
的接触状态的量，可获得更均匀的涂敷膜
85。
也可由检测部
50
检测接触的角度
。
[0032]例如，若多个喷嘴
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种涂敷装置，其中，该涂敷装置具备：涂敷杆，该涂敷杆能与被涂敷构件相向；多个喷嘴，该多个喷嘴能向上述涂敷杆供给液体；多个保持部，上述多个保持部中的一个保持部保持上述多个喷嘴中的一个喷嘴，上述多个保持部中的一个保持部能控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴的位置；以及检测部，该检测部能检测与以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置相对应的量
。2.
如权利要求1所述的涂敷装置，其中，上述检测部能检测上述多个喷嘴中的至少一个喷嘴与上述涂敷杆的接触
。3.
如权利要求1所述的涂敷装置，其中，上述检测部包括电阻检测部，上述电阻检测部能检测上述多个喷嘴分别与上述涂敷杆之间的电阻
。4.
如权利要求3所述的涂敷装置，其中，上述涂敷装置还具备多个端子，上述多个端子中的一个端子与上述多个喷嘴中的上述一个喷嘴电连接，上述多个端子中的另一个端子与上述多个喷嘴中的另一个喷嘴电连接
。5.
如权利要求1所述的涂敷装置，其中，上述检测部包括声音检测部，上述声音检测部能检测分别从上述多个喷嘴产生的声音
。6.
如权利要求1所述的涂敷装置，其中，上述检测部包括应力检测部，上述应力检测部能检测分别施加在上述多个喷嘴上的应力
。7.
如权利要求6所述的涂敷装置，其中，上述应力检测部包括上述多个应力检测元件，上述多个应力检测元件中的一个应力检测元件设在上述多个保持部中的上述一个保持部，上述多个应力检测元件中的另一个应力检测元件设在上述多个保持部中的另一个保持部
。8.
如权利要求1所述的涂敷装置，其中，上述检测部包括光检测部，上述光检测部能检测分别从上述多个喷嘴获得的光
。9.
如权利要求1所述的涂敷装置，其中，上述检测部包括拍摄部，上述拍摄部能检测上述多个喷嘴各自的影像
。10.
如权利要求1～9中任一项所述的涂敷装置，其中，上述涂敷装置还具备控制部，上述控制部基于由上述检测部检测的上述量控制上述多个保持部，能使上述多个保持部控制以上述涂敷杆为基准的上述多个喷嘴各自的位置
。<...

【专利技术属性】
技术研发人员：信田直美，内藤胜之，齐田穰，
申请(专利权)人：东芝能源系统株式会社，
类型：发明
国别省市：