一种滚筒式原子层沉积设备制造技术

本发明专利技术公开了一种滚筒式原子层沉积设备，涉及原子层沉积技术领域。本发明专利技术，包括机架，所述机架的顶面开设有圆弧凹槽，且圆弧凹槽内固定插接有筒体，所述筒体右端铰接安装有用于对筒体的内部进行密封的密封仓门，所述筒体的内部设置有用于对样品进行翻动的搅拌机构。本发明专利技术通过气体导入机构将金属有机气体导入至筒体的内部，经排气机构使得对筒体内多余的金属有机气体进行排出同时气体导入机构向筒体的内壁充入至冲洗气体，通过气体导入机构将反应气体导入至筒体的内部，通过反应气体和金属有机气体接触进而使得在样品的表面形成原子层沉积层，经排气机构使得对筒体内多余的金属有机气体进行排出同时气体导入机构向筒体的内壁充入至冲洗气体。壁充入至冲洗气体。壁充入至冲洗气体。

【技术实现步骤摘要】
一种滚筒式原子层沉积设备


[0001]本专利技术涉及原子层沉积
，具体涉及一种滚筒式原子层沉积设备。

技术介绍

[0002]原子层沉积技术，作为一种特殊的化学气相沉积技术，与其他沉积技术相比具有优良的均匀一致性和可控性。原子层沉积技术是通过前驱体逐次通过样品表面实现自限制化学吸附，从而沉积一层非常均匀的纳米级厚度薄膜，通过控制循环次数来精确控制沉积薄膜厚度，传统的原子层沉积设备均是采用前驱体平流或者喷淋模式进入固定的反应腔体，可以直接运用在基片表面，得到很好的包覆效果，对于诸如粉体颗粒、紧固件、块材等需要大量、批量处理的样品，还要考虑颗粒的团聚、样品的堆叠、镀膜绕射等问题，解决样品的均匀分散，传统的原子层沉积技术尚存在不足，这对原子层沉积设备腔室设计有较高的要求，能实现工业化生产的设备更少又少。
[0003]流化床法，通过气流将粉体颗粒吹动起来。利用该技术粉体颗粒处于流动状态，当对超细粉末进行表面沉积，传统的原子层沉积设备，由于样品的堆叠，比表面积较大，不利于样品与前驱体的接触，进行沉积时需要极大延长前驱体扩散时间，即使牺牲扩散时间，由于样品间的堆叠团聚，薄膜沉积包覆性也不理想，气体的损耗率大大增加。
[0004]为此提出一种滚筒式原子层沉积设备。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于：为解决上述
技术介绍
中提出的问题，本专利技术提供了一种滚筒式原子层沉积设备。
[0006]本专利技术为了实现上述目的具体采用以下技术方案：
[0007]一种滚筒式原子层沉积设备，包括机架，所述机架的顶面开设有圆弧凹槽，且圆弧凹槽内固定插接有筒体，所述筒体右端铰接安装有用于对筒体的内部进行密封的密封仓门，所述筒体的内部设置有用于对样品进行翻动的搅拌机构，所述筒体的内部固定安装有轴承，所述筒体的左侧内壁转动安装有用于对样品进行存放的滚筒，所述搅拌机构的表面、筒体的左侧内壁以及滚筒的内壁固定设置有用于驱动滚筒转动的驱动机构，所述机架的表面和筒体的底部设置有用于对筒体内部充入金属有机气体、反应气体以及冲洗气体的气体导入机构，所述密封仓门的表面和机架的表面设置有用于对筒体内部气体进行排出的排气机构。
[0008]进一步地，所述密封仓门包括仓门本体，所述筒体的右侧壁铰接安装有仓门本体，所述筒体的前侧壁固定安装有安装块，所述仓门本体的前侧壁固定安装有凸块，且凸块的表面开设有凹槽，所述安装块的左侧壁转动安装有T形锁块。
[0009]进一步地，所述搅拌机构包括电动机，所述筒体的右侧壁固定安装有电动机，所述电动机的输出轴贯穿筒体的右侧壁，并延伸至筒体的内部固定安装有转动轴，所述转动轴的表面固定安装有搅拌桨叶。
[0010]进一步地，所述驱动机构包括第一齿轮，所述转动轴的表面固定套设有第一齿轮，所述筒体的左侧内壁固定安装有凸轴，所述凸轴的表面转动套设有第二齿轮，且第二齿轮和第一齿轮呈啮合安装设置，所述滚筒的内壁固定安装有齿圈，且齿圈和第二齿轮呈啮合安装设置。
[0011]进一步地，所述气体导入机构包括导入管，所述筒体的底面设置有导入管，所述导入管的表面镶嵌安装有单向阀，所述导入管的底端固定安装有横管，所述横管的底面固定安装有安装接头，所述安装接头的表面镶嵌安装有的第一电磁控制阀，所述安装接头的底端螺纹插接有气体储罐。
[0012]进一步地，所述排气机构包括排气管道，所述仓门本体的左侧壁设置有排气管道，且排气管道的表面镶嵌安装有气泵，所述排气管道的表面镶嵌安装有第二电磁控制阀。
[0013]进一步地，所述T形锁块和凹槽呈对应设置，当对仓门本体锁紧时，所述T形锁块位于凹槽的内部，且T形锁块和凹槽呈错位设置。
[0014]进一步地，所述搅拌桨叶在转动轴的表面呈环形阵列设置，且搅拌桨叶和滚筒的内壁呈贴合设置。
[0015]进一步地，所述气体储罐的数量有三组，且三组气体储罐的内部分别储存有金属有机气体、反应气体以及冲洗气体。
[0016]本专利技术的有益效果如下：
[0017]1、本专利技术通过密封仓门使得对筒体的内部进行密封，通过搅拌机构进而使得对滚筒内部的样品进行翻动，同时在驱动机构的作用下使得驱动滚筒和驱动机构同步转动，进而使得增加样品和气体的接触，通过气体导入机构将金属有机气体导入至筒体的内部，经排气机构使得对筒体内多余的金属有机气体进行排出同时气体导入机构向筒体的内壁充入至冲洗气体，通过气体导入机构将反应气体导入至筒体的内部，通过反应气体和金属有机气体接触进而使得在样品的表面形成原子层沉积层，经排气机构使得对筒体内多余的金属有机气体进行排出同时气体导入机构向筒体的内壁充入至冲洗气体。
附图说明
[0018]图1是本专利技术立体结构示意图；
[0019]图2是本专利技术正视图的结构示意图；
[0020]图3是本专利技术A部放大图的结构示意图；
[0021]图4是本专利技术正剖视图的结构示意图；
[0022]图5是本专利技术局部侧视图的结构示意图；
[0023]图6是本专利技术滚筒的示意图；
[0024]图7是本专利技术搅拌桨的示意图；
[0025]附图标记：1、机架；2、筒体；3、密封仓门；301、仓门本体；302、安装块；303、凸块；304、凹槽；305、T形锁块；4、搅拌机构；401、电动机；402、转动轴；403、搅拌桨叶；5、轴承；6、滚筒；7、驱动机构；701、第一齿轮；702、凸轴；703、第二齿轮；704、齿圈；8、气体导入机构；801、导入管；802、单向阀；803、横管；804、安装接头；805、第一电磁控制阀；806、气体储罐；9、排气机构；901、排气管道；902、气泵；903、第二电磁控制阀。
具体实施方式
[0026]为使本专利技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本专利技术实施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。
[0027]因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0028]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0029]在本专利技术实施方式的描述中，需要说明的是，术语“内”、“外”、“上”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该专利技术产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种滚筒式原子层沉积设备，其特征在于，包括机架(1)，所述机架(1)的顶面开设有圆弧凹槽，且圆弧凹槽内固定插接有筒体(2)，所述筒体(2)右端铰接安装有用于对筒体(2)的内部进行密封的密封仓门(3)，所述筒体(2)的内部设置有用于对样品进行翻动的搅拌机构(4)，所述筒体(2)的内部固定安装有轴承(5)，所述筒体(2)的左侧内壁转动安装有用于对样品进行存放的滚筒(6)，所述搅拌机构(4)的表面、筒体(2)的左侧内壁以及滚筒(6)的内壁固定设置有用于驱动滚筒(6)转动的驱动机构(7)，所述机架(1)的表面和筒体(2)的底部设置有用于对筒体(2)内部充入金属有机气体、反应气体以及冲洗气体的气体导入机构(8)，所述密封仓门(3)的表面和机架(1)的表面设置有用于对筒体(2)内部气体进行排出的排气机构(9)。2.根据权利要求1所述的一种滚筒式原子层沉积设备，其特征在于，所述密封仓门(3)包括仓门本体(301)，所述筒体(2)的右侧壁铰接安装有仓门本体(301)，所述筒体(2)的前侧壁固定安装有安装块(302)，所述仓门本体(301)的前侧壁固定安装有凸块(303)，且凸块(303)的表面开设有凹槽(304)，所述安装块(302)的左侧壁转动安装有T形锁块(305)。3.根据权利要求1所述的一种滚筒式原子层沉积设备，其特征在于，所述搅拌机构(4)包括电动机(401)，所述筒体(2)的右侧壁固定安装有电动机(401)，所述电动机(401)的输出轴贯穿筒体(2)的右侧壁，并延伸至筒体(2)的内部固定安装有转动轴(402)，所述转动轴(402)的表面固定安装有搅拌桨叶(403)。4.根据权利要求2所述的一种滚筒式原子层沉积设备，其特征在于，所述驱动机构(7)包括第一齿轮(701)，所述转动轴(402)的表面固定套设有第一齿轮(701)，所述筒体(2)的...

【专利技术属性】
技术研发人员：张远昊，刘载安，金在宽，
申请(专利权)人：东领科技装备有限公司，
类型：发明
国别省市：