决定参数的初始值的方法及系统、以及调整质量流量控制装置的方法及系统制造方法及图纸

针对多个质量流量控制装置在某控制条件下调整某质量流量控制装置的参数，使调整后的参数与控制条件相关联地存储于服务器。接着，从服务器中积累的数据中提取具有共同的控制条件的数据，基于提取出的数据决定参数的初始值，使所决定的参数的初始值与共同的控制条件相关联地存储于服务器。使用通过这样决定的参数的初始值进行质量流量控制装置的调整。由此，能够通过更少的过程完成质量流量控制装置的调整，能够事先防止质量流量控制装置的调整不良的发生。不良的发生。不良的发生。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】决定参数的初始值的方法及系统、以及调整质量流量控制装置的方法及系统


[0001]本专利技术涉及一种调整质量流量控制装置的方法及系统。

技术介绍

[0002]质量流量控制装置例如是以在半导体的制造工艺中对制造装置定量地供给工艺气体为目的而使用的精密机械。通过准备与由质量流量控制装置控制的流体的最大流量相适应的部件，并将这些部件相互组合来进行质量流量控制装置的制造。组装后的质量流量控制装置在从工厂出厂之前被单独地进行调整。质量流量控制装置的调整包括流量传感器的调整(例如参照专利文献1)以及过渡响应的调整(例如参照专利文献2)等。
[0003]质量流量控制装置的调整通过以下方式进行：在某控制条件下，使用与质量流量控制装置连接的个人计算机的输入装置，将内置于质量流量控制装的微处理器的非易失性存储器中存储的与流量控制有关的一种或两种以上的参数进行重写。一边重复地交替进行使质量流量控制装置中实际地流动流体并检查控制动作的作业、以及基于检查后的控制动作将参数进行重写的作业，一边进行参数的重写，直到控制动作的精度达到目标值为止。
[0004]另外，以往存在如下问题：由于使用了针对每种气体及每个面元大小单独调整后的质量流量控制装置，因此需要多种备用的库存。因此，最近，有效利用能够使一台质量流量控制装置适用于多种气体及多个面元大小的、被称作“MGMR(Multi
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Gas/Multi
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Range：多气体/多量程)功能”的技术，有助于大幅地削减库存台数(例如参照专利文献3)。在搭载有该MGMR功能的质量流量控制装置的调整中，需要进行多种气体和多个面元大小下的调整，并使调整后的参数存储于质量流量控制装置的存储器。
[0005]并且，在气体供给单元中，向质量流量控制装置供给气体的供给压力有时发生变动。例如，在向多个线路供给同种气体的气体面板等中，以向多个质量流量控制装置供给气体为目的而使向质量流量控制装置供给气体的供给路径进行分支。因此，由于质量流量控制装置间的串扰现象等，有时引起向质量流量控制装置供给气体的供给压力(气体供给入口压力)瞬间发生变动。因此，在以往的气体供给单元中，通过在气体配管系统中的质量流量控制装置的上游侧设置调节器，即使在气体供给入口压力发生了变动的情况下，也会通过使调节器吸收该变动，由此实现了由质量流量控制装置控制的气体的实际流量的稳定化。
[0006]然而，从降低气体配管系统的成本、以及紧凑化的观点出发，要求省略调节器。因此，在该
中，搭载有所谓的“PI(Pressure Insensitive：压敏)功能”的质量流量控制装置正广泛普及。PI功能是指对因气体供给入口压力的变动而在质量流量控制装置内产生的寄生流所引起的、流量的测定值(测定流量)与实际流量之间的差异进行校正的功能。具体地说，根据气体供给入口压力的测定值来计算寄生流的流量(寄生流量)，使测定流量加速，以使得测定流量的带宽与寄生流量的带宽相同，从这样加速后的测定流量减去寄生流量，由此求出更接近实际流量的、校正后的流量(校正流量)(例如参照专利文献4)。因而，
在搭载有该PI功能的质量流量控制装置的调整中，需要一边使气体供给入口压力变化一边进行多种气体及多个面元大小下的调整，并使调整后的参数存储于质量流量控制装置的存储器。
[0007]现有技术文献
[0008]专利文献
[0009]专利文献1：日本特开平7
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263350号公报
[0010]专利文献2：日本特开2014
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59609号公报
[0011]专利文献3：日本专利第4957725号公报
[0012]专利文献4：国际公开第2021/039665号

技术实现思路

[0013]专利技术要解决的问题
[0014]在现有技术中的质量流量控制装置的调整中，从非易失性存储器中存储的参数的默认值起进行调整，一边通过试行错误将参数进行重写一边进行调整，通过前述的过程完成调整。当所设定的默认值不适当时，直到完成调整为止要花费大量时间，因此操作者的人工费以及在调整中使用的流体的消耗量可能会增大。在搭载有MGMR功能的质量流量控制装置的调整中，如上述那样，需要使在多个气体种类和多个面元大小下调整后的大量的参数存储于存储器，因此需要特别多的时间、人工费以及流体。更何况，在如上述那样需要一边使气体供给入口压力变化一边进行多种气体和多个面元大小下的调整的、搭载有PI功能的质量流量控制装置的调整中更是如此。
[0015]另外，当通过以往的方法进行调整时，即使在构成质量流量控制装置的部件产生了不良情况以及/或者部件彼此未正确地组合的情况下，调整作业本身也通过重复地将参数进行重写而完成。于是，相比于被正确地进行了调整的质量流量控制装置，存在性能产生个体差异、或者在使用时产生不良情况的风险。
[0016]本专利技术是鉴于上述课题而完成的，其目的在于通过更少的过程来完成质量流量控制装置的调整，并且减少质量流量控制装置的性能的偏差(个体差异)。
[0017]用于解决问题的方案
[0018]在第一实施方式中，本专利技术所涉及的方法是用于决定在调整质量流量控制装置时最初向质量流量控制装置输入的与流量控制有关的参数的初始值的方法，包括以下列举的第一工序和第二工序。
[0019]第一工序：对多个质量流量控制装置分别单独地执行在某控制条件下调整某质量流量控制装置的参数的第一步骤、以及使将调整后的参数与控制条件进行关联而成的数据存储于服务器的第二步骤，以在服务器中积累数据。
[0020]第二工序：执行第三步骤、第四步骤以及第五步骤，在所述第三步骤中，从服务器中积累的数据中提取具有共同的控制条件的数据，在所述第四步骤中，基于提取出的数据决定与共同的控制条件对应的参数的初始值，在所述第五步骤中，使所决定的参数的初始值与共同的控制条件相关联地存储于服务器。
[0021]通过本专利技术所涉及的方法决定的参数的初始值成为反映出质量流量控制装置的过去的调整结果的初始值。
[0022]在第二实施方式中，本专利技术所涉及的方法用于调整在某控制条件下使用的质量流量控制装置，所述方法包括第三工序，所述第三工序包括以下列举的第六步骤至第八步骤。
[0023]第六步骤：从服务器读出通过本专利技术所涉及的方法决定的参数的初始值中的与控制条件相关联的参数的初始值。
[0024]第七步骤：将读出的参数的初始值输入到质量流量控制装置。
[0025]第八步骤：在控制条件下调整质量流量控制装置的参数。
[0026]根据该方法，能够从反映出质量流量控制装置的过去的调整结果的参数的初始值起开始质量流量控制装置的调整。
[0027]专利技术的效果
[0028]根据本专利技术所涉及的方法，相比于以往的方法，能够减少质量流量控制装置的调整所需要的过程，因此能够削减人工费以及在调整中使用的流体的消耗量，进而能够削减质量流量控制装置的制造成本。在如上述那样调整需要大量的时间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种方法，用于决定在调整质量流量控制装置时最初向所述质量流量控制装置输入的与流量控制有关的参数的初始值，所述方法包括以下工序：第一工序，对多个质量流量控制装置分别单独地执行在某控制条件下调整某质量流量控制装置的所述参数的第一步骤、以及使将调整后的所述参数与所述控制条件进行关联而成的数据存储于服务器的第二步骤，以在所述服务器中积累所述数据；以及第二工序，执行以下步骤：第三步骤，从所述服务器中积累的所述数据中提取具有共同的所述控制条件的所述数据；第四步骤，基于提取出的所述数据决定与共同的所述控制条件对应的所述参数的所述初始值；以及第五步骤，使所决定的所述参数的所述初始值与共同的所述控制条件相关联地存储于所述服务器。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述控制条件包括质量流量控制装置的种类、流体的种类以及面元大小。3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，所述质量流量控制装置的所述调整包括流量传感器的调整，所决定的所述参数的所述初始值包括与零点、量程以及线性有关的参数的初始值。4.根据权利要求1至3中的任一项所述的方法，其特征在于，所述质量流量控制装置的所述调整包括过渡响应的调整，所决定的所述参数的所述初始值包括与比例增益、积分增益以及微分增益有关的参数的初始值。5.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其特征在于，在所述第一步骤中，在调整所述参数时最初向所述质量流量控制装置输入的所述参数不是对于所述控制条件而言最佳的值，而是能够在大范围的控制条件下使所述质量流量控制装置进行动作的暂定且通用的默认值。6.一种方法，用于调整在某控制条件下使用的质量流量控制装置，所述方法包括第三工序，在所述第三工序中执行以下步骤：第六步骤，从所述服务器读出通过根据权利要求1至5中的任一项所述的方法决定的所述参数的所述初始值中的与所述控制条件相关联的所述参数的所述初始值；第七步骤，将读出的所述参数的所述初始值输入到所述质量流量控制装置；以及第八步骤，在所述控制条件下调整所述质量流量控制装置的所述参数。7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括第四工序，在所述第四工序中执行以下步骤：第九步骤，使将在所述第八步骤中调整后的所述质量流量控制装置的所述参数与所述控制条件进行关联而成的追加数据存储于所述服务器；第十步骤，从所述服务器中存储的所述数据和所述追加数据中提取...

【专利技术属性】
技术研发人员：后藤崇夫，
申请(专利权)人：株式会社博迈立铖，
类型：发明
国别省市：