测试装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种测试装置

【技术实现步骤摘要】
测试装置


[0001]本专利技术涉及半导体检测
，尤其是涉及一种测试装置
。

技术介绍

[0002]在半导体的一些测试中，被测单元需要在不同的温度环境下进行测试，相关技术通过载片台对被测单元进行承载，并对整个载片台进行加热，以使被测单元处于测试所需求的温度环境下
。
然而，对整个载片台进行加热，升温和降温需要较长时间，对载片台表面温度均匀性要求高
。
且由于被测单元随着载片台的升温被整体加热，需要等被测单元的所有区域完成测试后才能结束加热过程，难以对具有加热时间限制的被测单元进行测试，以及，难以对被测单元进行极限温度测试
。

技术实现思路

[0003]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一
。
为此，本专利技术提出一种测试装置，能够实现对被测单元的区域加热，以降低测试难度
、
提高测试效率
。
[0004]根据本专利技术实施例的测试装置，包括承载平台
、
测试组件和第一驱动组件，所述承载平台设置有承载面和通孔，所述承载面用于承载被测单元，所述通孔沿垂直于所述承载面的方向延伸，所述通孔连通所述承载面，所述通孔用于漏出被测单元
。
所述测试组件包括检测件和加热件，所述检测件和所述加热件分别位于所述承载面相对的两侧，所述检测件和所述加热件在垂直于所述承载面的方向上相对设置
。
所述第一驱动组件与所述测试组件连接，用于驱使所述检测件和所述加热件在垂直于所述承载面的方向上做相对运动，以使所述检测件和所述加热件与被测单元抵持
。
[0005]根据本专利技术实施例的测试装置，至少具有如下有益效果：第一驱动组件能够驱使检测件和加热件相对靠近，使得加热件抵持于被测单元的一侧进行区域加热，使得检测件抵持于被测单元的另一侧进行检测，实现对被测单元的区域加热以及对应区域的测试，减少升温和降温时间，提高测试效率
。
并降低对温度的控制要求，易于实现具有加热时间限制的被测单元的测试以及对被测单元的极限温度测试，有效降低测试难度
。
[0006]根据本专利技术的一些实施例，所述加热件包括互相连接的加热层
、
绝缘层和接触层，所述加热层
、
所述绝缘层和所述接触层沿靠近所述承载面的方向依次设置，所述接触层用于与被测单元接触
。
[0007]根据本专利技术的一些实施例，所述加热件包括互相连接的加热层
、
绝缘隔热层和连接臂，所述连接臂
、
所述绝缘隔热层和所述加热层沿靠近所述承载面的方向依次设置
。
[0008]根据本专利技术的一些实施例，所述测试装置还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件与所述承载平台和
/
或所述测试组件连接，所述第二驱动组件用于驱使所述承载平台和所述测试组件在平行于所述承载面的方向上相对运动
。
[0009]根据本专利技术的一些实施例，所述测试装置还包括固定架，所述第二驱动组件安装于所述固定架，所述第一驱动组件安装于所述固定架，所述承载平台连接于所述第二驱动
组件，所述第二驱动组件用于驱使所述承载平台在平行于所述承载面的方向上相对于所述测试组件运动
。
[0010]根据本专利技术的一些实施例，所述测试组件还包括压力传感器，所述压力传感器与所述检测件连接，所述压力传感器用于测试所述检测件抵持于被测单元的力
。
[0011]根据本专利技术的一些实施例，所述测试组件还包括相机，所述相机与所述检测件位于所述承载平台的同一侧，所述相机用于映照所述检测件和被测单元的图像
。
[0012]根据本专利技术的一些实施例，所述第一驱动组件包括第一驱动器和连接杆，所述第一驱动器与所述连接杆连接，所述第一驱动器用于驱使所述连接杆转动，所述连接杆设置有第一连接部和第二连接部，所述第一连接部设置有第一螺纹，所述第二连接部设置有第二螺纹，所述第一螺纹的螺旋方向与所述第二螺纹的螺旋方向相反，所述检测件与所述第一连接部螺纹连接，所述加热件与所述第二连接部螺纹连接
。
[0013]根据本专利技术的一些实施例，所述通孔在平行于所述承载面的方向上具有设定的面积
W1
，所述加热件朝向所述承载面的端面具有设定的面积
W2
，满足：
W2
＜
0.5W1。
[0014]根据本专利技术的一些实施例，所述测试装置还包括第三驱动组件，所述第三驱动组件与所述承载平台连接，所述第三驱动组件用于驱使所述承载平台沿垂直于所述承载面的方向转动
。
[0015]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到
。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本专利技术做进一步的说明，其中：
[0017]图1为本专利技术实施例的测试装置的示意图；
[0018]图2为图1中的测试装置的正视图；
[0019]图3为本专利技术实施例的测试装置处于就位状态的示意图；
[0020]图4为本专利技术实施例的测试装置处于检测状态的示意图；
[0021]图5为图2的部分放大示意图；
[0022]图6为本专利技术另一实施例的测试装置的示意图
。
[0023]附图标记：
[0024]承载平台
100、
承载面
110、
通孔
120、
定位凹槽
130
；
[0025]测试组件
200、
检测件
210、
加热件
220、
接触层
221、
绝缘层
222、
加热层
223、
绝缘隔热层
224、
连接臂
225、
压力传感器
230、
相机
240
；
[0026]第一驱动组件
300、
第一驱动器
310、
连接杆
320、
第一连接部
321、
第二连接部
322、
调节件
330
；
[0027]第二驱动组件
400
；固定架
500
；第三驱动组件
600
；被测单元
700。
具体实施方式
[0028]下面详细描述本专利技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件
。
下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制
。
[0029]在本专利技术的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上
、
下
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
测试装置，其特征在于，包括：承载平台，设置有承载面和通孔，所述承载面用于承载被测单元，所述通孔沿垂直于所述承载面的方向延伸，所述通孔连通所述承载面，所述通孔用于漏出被测单元；测试组件，包括检测件和加热件，所述检测件和所述加热件分别位于所述承载面相对的两侧，所述检测件和所述加热件在垂直于所述承载面的方向上相对设置；第一驱动组件，与所述测试组件连接，用于驱使所述检测件和所述加热件在垂直于所述承载面的方向上做相对运动，以使所述检测件和所述加热件与被测单元抵持
。2.
根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，所述加热件包括互相连接的加热层
、
绝缘层和接触层，所述加热层
、
所述绝缘层和所述接触层沿靠近所述承载面的方向依次设置，所述接触层用于与被测单元接触
。3.
根据权利要求1或2所述的测试装置，其特征在于，所述加热件包括互相连接的加热层
、
绝缘隔热层和连接臂，所述连接臂
、
所述绝缘隔热层和所述加热层沿靠近所述承载面的方向依次设置
。4.
根据权利要求1所述的测试装置，其特征在于，还包括第二驱动组件，所述第二驱动组件与所述承载平台和
/
或所述测试组件连接，所述第二驱动组件用于驱使所述承载平台和所述测试组件在平行于所述承载面的方向上相对运动
。5.
根据权利要求4所述的测试装置，其特征在于，还包括固定架，所述第二驱动组件安装于所述固定架，所述第一驱动组件安装于所述固定...

【专利技术属性】
技术研发人员：王胜利，吴贵阳，
申请(专利权)人：矽电半导体设备深圳股份有限公司，
类型：发明
国别省市：