一种硅片分选机作业过程监测防护方法技术

本发明专利技术属于自动化监测技术领域，具体公开了一种硅片分选机作业过程监测防护方法

【技术实现步骤摘要】
一种硅片分选机作业过程监测防护方法、系统及存储介质


[0001]本专利技术属于自动化监测
，具体涉及一种硅片分选机作业过程监测防护方法
、
系统及存储介质
。

技术介绍

[0002]硅片分选机是一种用于对硅片进行分选和检测的设备，在进行硅片分选机分选作业时，需将码放大量硅片的花篮
(
一种硅片载具
)
放置到花篮底座上，花篮底座呈“凵”型，与伺服丝杠相连，可以上下移动将花篮内的硅片置于底座中间的输送带上，输送带在电机的带动下转动，进而将硅片移出，送到分选机入口流道中，以完成硅片的分选
。
在硅片分选作业过程中，由于各种原因
(
如感应器失效
、
花篮速度过冲
、
操作失误等
)
，有时会发生压篮的情况，即硅片未能及时从花篮内移出，而花篮又连续下移，导致硅片大量被压碎的情况
。
一旦出现压篮状况而又未及时采取制动措施，就会导致大量的硅片损毁，造成物料浪费，增加材料成本
。
针对此情况，目前常见的防护措施就是人工看护，人工看护会增加人力成本，而人终有懈怠时，很难做到时时刻刻的专注看护，并且，人的反应速度过慢，从发现压篮到采取措施制动的反应间隔较长，也会导致较多硅片损毁，因此，人工看护的防护效率和质量都不高
。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种硅片分选机作业过程监测防护方法
、
系统及存储介质，用以解决现有技术中存在的上述问题
。
[0004]为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]第一方面，提供一种硅片分选机作业过程监测防护方法，包括：
[0006]在硅片分选机作业过程中，实时采集第一计数器的第一同步计数值以及第二计数器的第二同步计数值，并实时采集接近传感器的硅片检测信号，所述第一计数器和第二计数器均与置于花篮底座上的编码器电性连接，所述编码器根据花篮底座的位移生成脉冲信号传输至第一计数器和第二计数器，所述第一计数器和第二计数器接收脉冲信号进行同步计数，所述接近传感器置于花篮底座的下方，用于对花篮内的硅片进行检测，输出硅片检测信号；
[0007]根据实时的硅片检测信号判断花篮内是否存在硅片，得到实时硅片检测结果；
[0008]根据固定时间段内第一计数器的第一同步计数值增量，判断在所述固定时间段内花篮是运动状态还是静止状态，得到时段状态检测结果；
[0009]根据多个连续的时段状态检测结果得到花篮的运行状态检测结果，所述运行状态检测结果包括持续运动状态
、
间歇运动状态或持续静止状态；
[0010]在根据时段状态检测结果判定花篮是静止状态时，将第二计数器的第二同步计数值清零，使第二计数器重新进行同步计数；
[0011]在当前时刻，根据运行状态检测结果判定花篮处于持续运动状态，并且根据实时
硅片检测结果判定花篮内存在硅片时，生成第一压篮状态信息，在判定第二同步计数值大于设定的计数阈值时，生成第二压篮状态信息；
[0012]根据第一压篮状态信息和
/
或第二压篮状态信息生成急停控制信号，并将急停控制信号传输至硅片分选机，使硅片分选机根据急停控制信号停止作业
。
[0013]在一个可能的设计中，所述方法还包括：
[0014]在硅片分选机作业过程中，实时采集光电传感器的感应检测信号，所述光电传感器安装于硅片分选机输送带两侧下方，用于对超出输送带且被压弯曲的硅片部分进行感应检测，生成相应的感应检测信号；
[0015]根据实时的感应检测信号判断是否有硅片被压弯曲，并在判定有硅片被压弯曲时，生成第三压篮状态信息；
[0016]在生成急停控制信号时，根据第一压篮状态信息
、
第二压篮状态信息和
/
或第三压篮状态信息生成急停控制信号
。
[0017]在一个可能的设计中，在将急停控制信号传输至硅片分选机时，所述方法还包括：将当前时刻记录为故障时间，对故障时间进行存档，并将存档记录的当日故障次数加
1。
[0018]在一个可能的设计中，所述方法还包括：
[0019]采集监控摄像头的监控视频流，所述监控摄像头正对硅片分选机进行拍摄；
[0020]整合监控视频流，得到硅片分选机作业视频，将硅片分选机作业视频存档
。
[0021]在一个可能的设计中，在根据固定时间段内第一计数器的第一同步计数值增量，判断在所述固定时间段内花篮是运动状态还是静止状态时，若第一同步计数值增量为0，则判断在所述固定时间段内花篮是静止状态，若第一同步计数值增量大于0，则判断在所述固定时间段内花篮是运动状态
。
[0022]在一个可能的设计中，在根据多个连续的时段状态检测结果得到花篮的运行状态检测结果时，若连续两个时段状态检测结果均为运动状态，则所述运行状态检测结果为持续运动状态，若连续两个时段状态检测结果包括一个运动状态和一个静止状态，则所述运行状态检测结果为间歇运动状态，若连续两个时段状态检测结果均为静止状态，则所述运行状态检测结果为持续静止状态
。
[0023]在一个可能的设计中，在根据实时硅片检测结果判定花篮内不存在硅片时，将第一计数器和第二计数器清零，并结束第一计数器和第二计数器的计数
。
[0024]第二方面，提供一种硅片分选机作业过程监测防护系统，包括采集单元
、
检测单元
、
第一判定单元
、
第二判定单元
、
复位单元
、
第一生成单元和第二生成单元，其中：
[0025]采集单元，用于在硅片分选机作业过程中，实时采集第一计数器的第一同步计数值以及第二计数器的第二同步计数值，并实时采集接近传感器的硅片检测信号，所述第一计数器和第二计数器均与置于花篮底座上的编码器电性连接，所述编码器根据花篮底座的位移生成脉冲信号传输至第一计数器和第二计数器，所述第一计数器和第二计数器接收脉冲信号进行同步计数，所述接近传感器置于花篮底座的下方，用于对花篮内的硅片进行检测，输出硅片检测信号；
[0026]检测单元，用于根据实时的硅片检测信号判断花篮内是否存在硅片，得到实时硅片检测结果；
[0027]第一判定单元，用于根据固定时间段内第一计数器的第一同步计数值增量，判断
在所述固定时间段内花篮是运动状态还是静止状态，得到时段状态检测结果；
[0028]第二判定单元，用于根据多个连续的时段状态检测结果得到花篮的运行状态检测结果，所述运行状态检测结果包括持续运动状态
、
间歇运动状态或持续静止状态；
[0029]复位单元，用于在根据时段状态检测结果判定花篮是静止状态时，将第二计数器的第二同步计数值清零，使第二计数器重新进行同步计数；
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种硅片分选机作业过程监测防护方法，其特征在于，包括：在硅片分选机作业过程中，实时采集第一计数器的第一同步计数值以及第二计数器的第二同步计数值，并实时采集接近传感器的硅片检测信号，所述第一计数器和第二计数器均与置于花篮底座上的编码器电性连接，所述编码器根据花篮底座的位移生成脉冲信号传输至第一计数器和第二计数器，所述第一计数器和第二计数器接收脉冲信号进行同步计数，所述接近传感器置于花篮底座的下方，用于对花篮内的硅片进行检测，输出硅片检测信号；根据实时的硅片检测信号判断花篮内是否存在硅片，得到实时硅片检测结果；根据固定时间段内第一计数器的第一同步计数值增量，判断在所述固定时间段内花篮是运动状态还是静止状态，得到时段状态检测结果；根据多个连续的时段状态检测结果得到花篮的运行状态检测结果，所述运行状态检测结果包括持续运动状态
、
间歇运动状态或持续静止状态；在根据时段状态检测结果判定花篮是静止状态时，将第二计数器的第二同步计数值清零，使第二计数器重新进行同步计数；在当前时刻，根据运行状态检测结果判定花篮处于持续运动状态，并且根据实时硅片检测结果判定花篮内存在硅片时，生成第一压篮状态信息，在判定第二同步计数值大于设定的计数阈值时，生成第二压篮状态信息；根据第一压篮状态信息和
/
或第二压篮状态信息生成急停控制信号，并将急停控制信号传输至硅片分选机，使硅片分选机根据急停控制信号停止作业
。2.
根据权利要求1所述的一种硅片分选机作业过程监测防护方法，其特征在于，所述方法还包括：在硅片分选机作业过程中，实时采集光电传感器的感应检测信号，所述光电传感器安装于硅片分选机输送带两侧下方，用于对超出输送带且被压弯曲的硅片部分进行感应检测，生成相应的感应检测信号；根据实时的感应检测信号判断是否有硅片被压弯曲，并在判定有硅片被压弯曲时，生成第三压篮状态信息；在生成急停控制信号时，根据第一压篮状态信息
、
第二压篮状态信息和
/
或第三压篮状态信息生成急停控制信号
。3.
根据权利要求1所述的一种硅片分选机作业过程监测防护方法，其特征在于，在将急停控制信号传输至硅片分选机时，所述方法还包括：将当前时刻记录为故障时间，对故障时间进行存档，并将存档记录的当日故障次数加
1。4.
根据权利要求1所述的一种硅片分选机作业过程监测防护方法，其特征在于，所述方法还包括：采集监控摄像头的监控视频流，所述监控摄像头正对硅片分选机进行拍摄；整合监控视频流，得到硅片分选机作业视频，将硅片分选机作业视频存档
。5.
根据权利要求1所述的一种硅片分选机作业过程监测防护方法，其特征在于，在根据固定时间段内第一计数器的第一同步计数值增量，判断在所述固定时间段内花篮是运动状态还是静止状态时，若第一同步计数值增量为0，则判断在所述固定时间段内花篮是静止状态，若第一同步计数值增量大于0，则判断在所述固定时间段内花篮是运动状态
。
6.
根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：周耀，曾荣，刘飞，
申请(专利权)人：中科时代深圳计算机系统有限公司，
类型：发明
国别省市：