感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件技术

本发明专利技术提供一种感光性树脂组合物、固化上述感光性树脂组合物而成的固化物、包含上述固化物的层叠体、上述固化物的制造方法，及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件，所述感光性树脂组合物包含：环化树脂或其前驱体；SP值为21.0(J/cm3)

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】感光性树脂组合物、固化物、层叠体、固化物的制造方法及半导体器件


[0001]本专利技术涉及一种感光性树脂组合物
、
固化物
、
层叠体
、
固化物的制造方法及半导体器件
。

技术介绍

[0002]聚酰亚胺等环化树脂由于耐热性及绝缘性等优异，因此可用于各种用途
。
作为上述用途，并没有特别限定，若以实际安装用半导体器件为例，则可举出作为绝缘膜
、
密封材料的素材或保护膜的利用
。
而且，还可用作挠性基板的基底膜
、
覆盖膜等
。
[0003]例如，在上述用途中，聚酰亚胺等环化树脂以包含聚酰亚胺等环化树脂及环化树脂的前驱体中的至少1种的树脂组合物的形态使用
。
[0004]例如通过涂布等将此类树脂组合物适用于基材上形成感光膜，之后根据需要进行曝光
、
显影
、
加热等，由此能够在基材上形成固化物
。
[0005]聚酰亚胺前驱体等上述环化树脂的前驱体例如通过加热被环化而在固化物中成为聚酰亚胺等环化树脂
。
[0006]树脂组合物能够通过公知的涂布方法等适用，因此，可以说制造上的适应性优异，例如所适用的树脂组合物的适用时的形状
、
大小
、
适用位置等设计自由度高等
。
就除了聚酰亚胺等环化树脂所具有的高性能以外，此类制造上的适应性也优异的观点而言，上述树脂组合物在产业上的应用拓展越发令人期待
。
[0007]例如，专利文献1中记载有一种感光性树脂组合物，其包含选自聚酰亚胺前驱体及聚苯并噁唑前驱体中的聚合物前驱体
、
光自由基聚合引发剂及溶剂，聚合物前驱体中所包含的中和点的
pH
在
7.0
～
12.0
的范围内的酸基的酸值在
2.5
～
34.0mgKOH/g
的范围内，并且上述聚合物前驱体具有自由基聚合性基团
、
或者包含除了上述聚合物前驱体以外的自由基聚合性化合物
。
[0008]专利文献2中记载有一种聚酰亚胺挤出成型用聚酰亚胺前驱体组合物，其包含使芳香族四羧酸二酐或其衍生物
(a)
与芳香族二胺或其衍生物
(b)
反应而获得的聚酰亚胺前驱体
(c)30
～
60
重量％
、
上述聚酰亚胺前驱体的不良溶剂
0.1
～5重量％及上述聚酰亚胺前驱体的良溶剂
35
～
69.9
重量％
。
[0009]以往技术文献
[0010]专利文献
[0011]专利文献1：国际公开第
2018/221457
号
[0012]专利文献2：日本特开平
08
‑
157598
号公报

技术实现思路

[0013]专利技术要解决的技术课题
[0014]在用于获得固化物的感光性树脂组合物中，要求所获得的固化物的断裂伸长率优
异
。
[0015]本专利技术的目的在于提供一种可以获得断裂伸长率优异的固化物的感光性树脂组合物
、
固化上述感光性树脂组合物而成的固化物
、
包含上述固化物的层叠体
、
上述固化物的制造方法及包含上述固化物或上述层叠体的半导体器件
。
[0016]用于解决技术课题的手段
[0017]以下，示出本专利技术的代表性实施方式的例子
。
[0018]<1>
一种感光性树脂组合物，其包含：
[0019]环化树脂或其前驱体；
[0020]溶剂
B
，其
SP
值为
21.0(J/cm3)
0.5
以上且小于
25.0(J/cm3)
0.5
；
[0021]溶剂
C
，其
SP
值小于
21.0(J/cm3)
0.5
或为
25.0(J/cm3)
0.5
以上，且沸点为
60℃
以上；及
[0022]光敏剂，
[0023]上述溶剂
C
的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为
1ppm
以上且
10
，
000ppm
以下
。
[0024]<2>
根据
<1>
所述的感光性树脂组合物，其中，上述溶剂
C
为选自乙酸乙酯
、
乙酸异丙酯
、
乙酸正丙酯
、
乙酸丁酯
、
己烷
、
庚烷
、
苯
、
甲苯
、
甲醇
、
乙醇
、
四氢呋喃
、1
，4‑
二噁烷
、
二乙二醇二甲醚
、
二乙二醇二乙醚
、
丙二醇单甲醚乙酸酯
、
环戊酮及环己酮中的至少1种
。
[0025]<3>
一种感光性树脂组合物，其包含：
[0026]环化树脂或其前驱体；
[0027]溶剂
B
，其
SP
值为
21.0(J/cm3)
0.5
以上且小于
25.0(J/cm3)
0.5
；
[0028]溶剂
C
，其为乙酸乙酯
、
乙酸异丙酯
、
乙酸正丙酯
、
乙酸丁酯
、
己烷
、
庚烷
、
苯
、
甲苯
、
甲醇
、
乙醇
、
四氢呋喃
、1
，4‑
二噁烷
、
二乙二醇二甲醚
、
二乙二醇二乙醚
、
丙二醇单甲醚乙酸酯
、
环戊酮或环己酮；及
[0029]光敏剂，
[0030]上述溶剂
C
的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为
1ppm
以上且
10,000ppm
以下
。
[0031]<4>
根据
<1>
至
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.
一种感光性树脂组合物，其包含：环化树脂或其前驱体；溶剂
B
，其
SP
值为
21.0(J/cm3)
0.5
以上且小于
25.0(J/cm3)
0.5
；溶剂
C
，其
SP
值小于
21.0(J/cm3)
0.5
或为
25.0(J/cm3)
0.5
以上
、
且沸点为
60℃
以上；及光敏剂，所述溶剂
C
的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为
1ppm
以上且
10000ppm
以下
。2.
根据权利要求1所述的感光性树脂组合物，其中，所述溶剂
C
为选自乙酸乙酯
、
乙酸异丙酯
、
乙酸正丙酯
、
乙酸丁酯
、
己烷
、
庚烷
、
苯
、
甲苯
、
甲醇
、
乙醇
、
四氢呋喃
、1
，4‑
二噁烷
、
二乙二醇二甲醚
、
二乙二醇二乙醚
、
丙二醇单甲醚乙酸酯
、
环戊酮及环己酮中的至少1种
。3.
一种感光性树脂组合物，其包含：环化树脂或其前驱体；溶剂
B
，其
SP
值为
21.0(J/cm3)
0.5
以上且小于
25.0(J/cm3)
0.5
；溶剂
C
，其为乙酸乙酯
、
乙酸异丙酯
、
乙酸正丙酯
、
乙酸丁酯
、
己烷
、
庚烷
、
苯
、
甲苯
、
甲醇
、
乙醇
、
四氢呋喃
、1
，4‑
二噁烷
、
二乙二醇二甲醚
、
二乙二醇二乙醚
、
丙二醇单甲醚乙酸酯
、
环戊酮或环己酮；及光敏剂，所述溶剂
C
的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为
1ppm
以上且
10000ppm
以下
。4.
根据权利要求1至3中任一项所述的感光性树脂组合物，其中，所述溶剂
B
包含选自
γ
‑
丁内酯
、
二甲基亚砜
、N
‑
甲基
...

【专利技术属性】
技术研发人员：吉田健太，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：