一种双级真空泵冷却系统技术方案

本发明专利技术公开了一种双级真空泵冷却系统，包括上级真空泵

【技术实现步骤摘要】
一种双级真空泵冷却系统


[0001]本专利技术涉及真空泵
，具体涉及一种双级真空泵冷却系统
。

技术介绍

[0002]目前，真空泵如罗茨真空泵，是指泵内装有两个相反方向同步旋转的叶形转子，转子间
、
转子与泵壳内壁间有细小间隙而互不接触的一种变容真空泵，通过转子同步
、
反向旋转的推压作用来移动气体而实现抽气，其中的双级真空泵是由两个真空泵组合而成的抽真空系统，目前的双级真空泵系统在使用过程中，上级泵体的进口持续的通气量较大时，其出气口的气体温度较高会难以被下级真空泵的进气口吸走排出，气体会在两者之间堆积，导致上级泵的抽气效率下降，且两个泵体的负载会增大导致高温，影响泵体的使用寿命以及使用效果
。

技术实现思路

[0003]本专利技术是为了避免现有技术存在的不足之处，提供了一种具有降温效果的双级真空泵冷却系统
。
[0004]本专利技术解决技术问题采用如下技术方案：一种双级真空泵冷却系统，包括上级真空泵
、
下级真空泵以及冷却装置，所述冷却装置设置在上级真空泵的排气口以及下级真空泵的进气口之间，所述冷却装置包括一内胆，所述内胆内具有一供空气流通的流道，所述流道的两端各设置有一联结体，两个所述联结体分别用以与上级真空泵的排气口
、
下级真空泵的进气口相连通；
[0005]所述内胆外侧环绕的设置有一外套，所述外套与内胆之间设置有封闭的空隙，所述外套上与内部空隙相连通的设置有一进口接头与一出口接头，所述进口接头用以通入冷却介质，所述空隙供冷却介质流动，所述出口接头供冷却介质排出
。
[0006]在数个实施方式中，所述内胆包括依次同轴设置的入口段
、
中间段以及出口段，所述入口段的内径大于出口段的内径，所述中间段从靠近入口段一端往出口段一端的内径具有逐渐缩小的趋势
。
[0007]在数个实施方式中，所述出口段与相邻的联结体之间设置有一弹性套管，所述弹性套管与流道相连通，所述弹性套管可伸缩变形
。
[0008]在数个实施方式中，所述外套包括同轴设置的第一连接段与第二连接段，所述第一连接段从入口段延伸至中间段且不超出中间段，所述第二连接段从中间段延伸至出口段，所述第一连接段的内径均匀一致，所述第二连接段的内径从靠近第一连接段一端往背离第一连接段一端具有逐渐缩小的趋势
。
[0009]在数个实施方式中，所述外套与内胆之间可拆卸连接，所述外套由两个对称设置的半壳体拼接成型
。
[0010]在数个实施方式中，所述第二连接段的内壁与出口段的外壁相平行
。
[0011]在数个实施方式中，所述进口接头设置在第一连接段上且与入口段的位置相对
应，所述出口接头设置在第二连接段上且与出口段的位置相对应
。
[0012]在数个实施方式中，所述进口接头上设置有第一温度检测器，所述出口接头上设置有第二温度检测器
。
[0013]在数个实施方式中，包括以下控制步骤：通过第一温度检测器测量进口温度，通过第二温度检测器测量出口温度，计算出口温度与进口温度的差值
K1
，并将差值
K1
与设定值
K0
进行比较，若差值
K1
大于设定值
K0
且超过
5℃
，则处于温度超标状态，此时控制增加冷却介质的流量，直至差值
K1
与设定值
K0
的数值差不超过
5℃。
[0014]在数个实施方式中，冷却介质的流量增加公式为
1+0.1N
，
N
＝
T/5
，
T
为温度超标状态的持续时间，若
T
大于
60
秒，则发出警报提醒进行现场检修
。
[0015]本专利技术的有效效果在于：
[0016]本专利技术可实现两级真空泵之间气体的冷却降温，提高下级泵体的气体排出效率，减少真空泵的负载，降低真空泵的工作温度继而延长其使用寿命
。
[0017]本专利技术通过内胆与外套的结构，可通过油冷
、
水冷等其他方式对内胆内的空气进行降温，提高冷却效果
。
[0018]本专利技术采用内胆与外套的可拆卸结构，便于清理内胆与外套之间的杂质积累，避免冷却介质在两者空隙之间的流动受阻或者堵塞，保证冷却效果
。
[0019]本专利技术通过弹性套管的结构，使得联结体与出口段之间可发生一定的伸缩形变，可以抵消出口段排出的空气与下级真空泵之间的振动，同时可以抵消上下级真空泵工作过程中发生的振动
。
[0020]本专利技术可自动控制冷却介质的流量，通过测量冷却介质的前后温差来确定气体的冷却温度是否达标，且可自适应的调节流量大小，并可在极端情况下发出警报通知工作人员前来维修处理
。
附图说明
[0021]本文所描述的附图仅用于所选择实施例的阐述目的，而不代表所有可能的实施方式，且不应认为是本专利技术的范围的限制
。
[0022]图1示意性的示出了实施例1中双级真空泵冷却系统的结构；
[0023]图2示意性的示出了实施例1中的冷却装置的结构；
[0024]图3示意性的示出了图2的剖面结构；
[0025]图4示意性的示出了实施例2中的冷却装置的剖面结构；
[0026]图5示意性的示出了实施例3中冷却装置的剖面结构
。
具体实施方式
[0027]下面，参照附图详细描述本专利技术的实施例，为使本专利技术实施例的目的
、
技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚
、
完整地描述，显然，所描述的实施例是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例
。
[0028]因此，以下对结合附图提供的本专利技术的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施例，基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范
围
。
[0029]实施例1[0030]如图1‑
图3所示，本专利技术提供的双级真空泵冷却系统，主要是由上级真空泵
10、
下级真空泵
20
以及冷却装置
30
所构成的，该冷却装置
30
是连接设置在上级真空泵
10
的排气口以及下级真空泵
20
的进气口之间的，用以对两者之间的气体进行冷却降温，提高气体排放效率
。
[0031]具体的，冷却装置
30
是由固定连接的内胆
31、
联结体
32
以及外套
33
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种双级真空泵冷却系统，其特征在于，包括上级真空泵
、
下级真空泵以及冷却装置，所述冷却装置设置在上级真空泵的排气口以及下级真空泵的进气口之间，所述冷却装置包括一内胆，所述内胆内具有一供空气流通的流道，所述流道的两端各设置有一联结体，两个所述联结体分别用以与上级真空泵的排气口
、
下级真空泵的进气口相连通；所述内胆外侧环绕的设置有一外套，所述外套与内胆之间设置有封闭的空隙，所述外套上与内部空隙相连通的设置有一进口接头与一出口接头，所述进口接头用以通入冷却介质，所述空隙供冷却介质流动，所述出口接头供冷却介质排出
。2.
根据权利要求1所述的一种双级真空泵冷却系统，其特征在于，所述内胆包括依次同轴设置的入口段
、
中间段以及出口段，所述入口段的内径大于出口段的内径，所述中间段从靠近入口段一端往出口段一端的内径具有逐渐缩小的趋势
。3.
根据权利要求2所述的一种双级真空泵冷却系统，其特征在于，所述出口段与相邻的联结体之间设置有一弹性套管，所述弹性套管与流道相连通，所述弹性套管可伸缩变形
。4.
根据权利要求2所述的一种双级真空泵冷却系统，其特征在于，所述外套包括同轴设置的第一连接段与第二连接段，所述第一连接段从入口段延伸至中间段且不超出中间段，所述第二连接段从中间段延伸至出口段，所述第一连接段的内径均匀一致，所述第二连接段的内径从靠近第一连接段一端往背离第一连接段一端具有逐渐缩小的趋势
。5.
根据权利要求2所述的一种双级真空泵冷却系统，其特征在于，所述外套与内胆之间可拆卸连接，所述外套由两个对称设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：马明全，吴晓云，李国家，
申请(专利权)人：浙江博亚精密机械有限公司，
类型：发明
国别省市：