一种节能型油扩散泵制造技术

本实用新型专利技术公开了一种节能型油扩散泵，包括泵体，泵体的下端安装有加热器，泵体外周面设有冷却水管，冷却水管与水冷系统连接，加热器与水冷系统均与控制系统连接，控制系统包括测温元件和控制器，控制器与设于泵体内部的测温元件电性连接。本实用新型专利技术结构简单，测温元件检测泵体内的油温，通过协同控制加热器的加热功率和水冷系统的冷却量，可缩短扩散泵预热时间、减少泵油温度波动和缩短扩散泵冷却时间，达到扩散泵油快速升温和快速降温的目的，缩短油扩散泵使用前的预热时间和使用后的冷却时间，减少能源消耗。减少能源消耗。减少能源消耗。

【技术实现步骤摘要】
一种节能型油扩散泵


[0001]本技术涉及真空设备
，具体是一种节能型油扩散泵。

技术介绍

[0002]早期的油扩散泵主要由泵体、泵油、泵芯、加热系统和冷却系统组成，扩散泵生产厂家根据抽气速度和真空度要求设计泵体的大小、泵油的加入量、加热系统的加热功率和冷却系统的冷却量。扩散泵投入使用后，这些参数都是一直不变的。伴随着节能要求的提高，部分油扩散泵开始增加控制系统，用于根据泵油的油温控制加热系统，控制方式通常为加热系统的启停，即泵油温度低于工作温度时开启加热，泵油温度高于工作温度时停止加热。存在如下不足：加热系统频繁启停，控温精度较差，不利于获得稳定的真空度。
[0003]另外，现有的油扩散泵缺少对冷却系统的控制，冷却系统的最大冷却量直接匹配扩散泵正常工作时的冷却量。存在如下不足：
①
扩散泵预热阶段，冷却系统满负荷工作，带走了大量的热量，导致扩散泵油升温慢，预热时间长；
②
扩散泵冷却阶段，无法增加冷却系统的冷却量，导致扩散泵油降温慢，冷却时间长。
[0004]因此，有必要针对现有油扩散泵的不足，提供一种节能型油扩散泵。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种节能型油扩散泵，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种节能型油扩散泵，包括泵体，泵体的下端安装有加热器，泵体外周面设有冷却水管，冷却水管与水冷系统连接，所述加热器与水冷系统均与控制系统连接，控制系统包括测温元件和控制器，所述控制器与设于泵体内部的测温元件电性连接。
[0007]作为本技术进一步的方案：所述控制系统还包括分别与控制器连接的加热控制元件和冷却控制元件，加热控制元件与加热器连接，冷却控制元件与水冷系统连接。
[0008]作为本技术进一步的方案：所述加热控制元件设置于加热器的输入电源上。
[0009]作为本技术进一步的方案：所述冷却控制元件设置于水冷系统的冷却媒介输入端。
[0010]作为本技术进一步的方案：所述冷却水管沿着泵体的外周面环形缠绕设置。
[0011]作为本技术进一步的方案：所述加热器为电阻加热、电磁感应加热等。
[0012]作为本技术进一步的方案：所述泵体的上端与高真空阀门连接。
[0013]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0014](1)扩散泵预热时，测温元件检测泵体内的油温，通过协同控制加热器的加热功率和水冷系统的冷却量，将泵油温度快速升高至工作温度，缩短扩散泵预热时间。
[0015](2)扩散泵正常工作时，测温元件检测泵体内的油温，通过协同控制加热器的加热功率和水冷系统的冷却量，将泵油温度控制在工作温度范围内，减少泵油温度波动。
[0016](3)扩散泵冷却时，测温元件检测泵体内的油温，通过协同控制加热器的加热功率和水冷系统的冷却量，将泵油温度快速降低至设定温度以下，缩短扩散泵冷却时间。
附图说明
[0017]图1为本技术扩散泵的结构示意图；
[0018]图2为本技术控制系统与加热器和水冷系统的原理示意图；
[0019]图中：1、泵体；2、高真空阀门；3、加热器；4、冷却水管；5、水冷系统；6、控制系统；61、测温元件；62、控制器；63、加热控制元件；64、冷却控制元件。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]实施例1
[0022]请参阅图1
‑
2，本技术实施例中，一种节能型油扩散泵，包括泵体1，泵体1的下端安装有加热器3，泵体1外周面设有冷却水管4，冷却水管4与水冷系统5连接，加热器3与水冷系统5均与控制系统6连接，控制系统6包括测温元件61和控制器62，控制器62与设于泵体1内部的测温元件61电性连接。
[0023]使用时，控制器62接收测温元件61测量泵油的温度，并根据泵油温度将控制信号反馈至加热控制元件63和冷却控制元件64，控制信号为：
①
扩散泵预热时，泵油温度比正常工作温度低30℃以上时，加热器3的输出功率为最大可输出功率的90％以上，水冷系统5的冷却量为最大冷却量的20％以下；
②
扩散泵预热时，泵油温度比正常工作温度低30℃～0℃时，加热器3的输出功率由最大可输出功率的90％以上线性降低至最大可输出功率的70％，水冷系统5的冷却量由最大冷却量的20％以下线性增加至最大冷却量的70％；
③
扩散泵正常使用时，泵油温度比正常工作温度每低1℃，加热器3的输出功率增加最大可输出功率的1％，水冷系统5的冷却量减少最大冷却量的1％；
④
扩散泵正常使用时，泵油温度比正常工作温度每高1℃，加热器3的输出功率降低最大可输出功率的1％，水冷系统5的冷却量增加最大冷却量的1％；
⑤
扩散泵结束使用时，加热器3的输出功率为0，水冷系统5的冷却量为最大冷却量的90％以上。
[0024]请参阅图2，在一个实施例中，为了方便由控制器62控制加热器3和水冷系统5的运行，本实施例中，优选的，控制系统6还包括分别与控制器62连接的加热控制元件63和冷却控制元件64，加热控制元件63与加热器3连接，冷却控制元件64与水冷系统5连接。
[0025]使用时，当测温元件61检测到泵体1内的油温后，将对应的数据反馈给控制器62时，由控制器62分别控制加热控制元件63和冷却控制元件64作出不同的指令，并由加热控制元件63和冷却控制元件64控制加热器3和水冷系统5进行运行。
[0026]请参阅图2，在一个实施例中，为了方便控制加热器3的加热功率，本实施例中，优选的，加热控制元件63设置于加热器3的输入电源上，通过加热控制元件63发出指令控制加热器3进行运行，加热控制元件通过控制加热用电的电压、电流或者频率来控制加热系统的
加热功率。
[0027]请参阅图2，在一个实施例中，为了方便用于控制水冷系统5的冷却量，本实施例中，优选的，冷却控制元件64设置于水冷系统5的冷却媒介输入端，通过冷却控制元件64发出指令控制水冷系统5进行运行，通过控制冷却水的温度来控制冷却系统的冷却量。
[0028]请参阅图1，在一个实施例中，为了加快泵体1内部泵油的冷却效果，本实施例中，优选的，冷却水管4沿着泵体1的外周面环形缠绕设置。
[0029]使用时，通过将冷却水管4缠绕在泵体1的外周面，使冷却水管4充分的与泵体1相接触，从而达到更佳的冷却效果。
[0030]请参阅图1，在一个实施例中，为了方便对泵体1内部的泵油进行加热，本实施例本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种节能型油扩散泵，包括泵体(1)，泵体(1)的下端安装有加热器(3)，泵体(1)外周面设有冷却水管(4)，冷却水管(4)与水冷系统(5)连接，所述加热器(3)与水冷系统(5)均与控制系统(6)连接，其特征在于，控制系统(6)包括测温元件(61)和控制器(62)，所述控制器(62)与设于泵体(1)内部的测温元件(61)电性连接。2.根据权利要求1所述的节能型油扩散泵，其特征在于，所述控制系统(6)还包括分别与控制器(62)连接的加热控制元件(63)和冷却控制元件(64)，加热控制元件(63)与加热器(3)连接，冷却控制元件(64)与水冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘友好，周志国，衣晓飞，陈静武，
申请(专利权)人：安徽大地熊新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：