基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种基板处理装置和基板处理装置中的异常显示方法，基板处理装置包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理该基板的基板处理机构的状态，控制部包括控制基板输送机构的输送系统控制器，操作部具有设定检测基板输送机构或基板处理机构的状态的传感器的检测条件、以及包括对基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息的设定画面，输送系统控制器基于来自操作部的指示对输送控制模块指定基板输送机构的工作，输送控制模块根据由操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息来控制基板输送机构。能按驱动各输送机构的执行机构来指定设定安全范围的转矩限制值或有无转矩限制功能。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对硅晶片等的基板进行薄膜的生成、氧化、杂质的扩散、退火处理、蚀 刻等处理的基板处理装置，尤其涉及基板处理的工作控制中的基板处理装置和基板处理装 置中的异常显示方法。
技术介绍
基板处理装置具有为了进行基板处理而控制用于输送基板的输送机构的工作控 制部。该工作控制部为了进行工作控制而对执行机构(actuator)实施工作命令，通过该执 行机构在额定转矩的范围内执行工作命令来进行控制以使上述执行机构本身不发生故障， 但即使在额定转矩范围内，对于上述基板处理装置所具有的各输送机构而言，也不能说是 安全的。各输送机构具有分别设定的安全范围的转矩值，通过用该值来进行控制，能够容 易地对上述基板处理装置进行控制，即能够抑制在搬运材料时施加于材料的振动。另一方面，若过于抑制振动则使输送速度降低，从而使生产能力降低。在过度提高 输送速度的情况下，由于上述输送机构上安装有用于检测冲撞的传感器(振动传感器)，因 此工作停止。然而，在以往的基板处理装置中，停止的原因是由于转矩限制引起的、还是由于振 动传感器导致的，无法分清其原因，因此不能发出针对其停止原因的适当的警报。而且，即使在以往的基板处理装置中也能使用工作控制中采用的上述执行机构本 身具有的转矩限制功能来进行转矩控制。但是，一旦设定则在任何工作中都会实施转矩控 制，所以反而会发生因不必要的转矩控制而导致的工作停止。以往，另外准备用于登记转矩限制值的调整用工具，与各执行机构连接来进行上 述输送机构与接口的调整，但进行上述输送机构与上述接口的调整需要将上述调整用工具 搬入客户的清洁间，也是不容易的。专利技术内容本专利技术是鉴于上述情况而作出的，其提供一种基板处理装置和基板处理装置中的 异常显示方法，在基板处理装置的工作控制中具有以下功能能按用于驱动各输送机构的 每一驱动执行机构来设定安全范围的转矩限制值或指定有无转矩限制功能，还具有在上述 执行机构停止时能够进行适当的警报显示的功能。本专利技术的基板处理装置，包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面至少 显示输送基板的基板输送机构、处理该基板的基板处理机构的状态，上述控制部包括控制 上述基板输送机构的输送系统控制器，其特征在于，上述操作部具有设定画面，该设定画面 用于设定检测上述基板输送机构、上述基板处理机构的状态的传感器的检测条件、和包括 对上述基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息，上述输送系统 控制器根据来自上述操作部的指示对输送控制模块指定上述基板输送机构的工作，上述输送控制模块根据由上述操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息控制上述基板输送机 构。本专利技术的基板处理装置中，在上述基板输送机构的转矩限制值异常或多个上述传 感器中的振动传感器检测到异常而上述基板输送机构停止时，上述操作部将包括异常发生 时的上述振动传感器的检测结果在内的上述基板输送机构的停止原因信息显示于上述操 作画面。而且，该基板处理装置中，上述操作部将包括暂时保存的异常发生前的检测结果的 上述基板输送机构的停止原因信息显示于上述操作画面。本专利技术的异常显示方法，包括如下步骤通过检测各基板输送机构的状态的传感 器检测异常的步骤；在异常发生时，上述传感器将包括检测结果在内的上述基板输送机构 的停止原因信息通知给操作部的步骤；使操作部在操作画面上显示所通知的上述基板输送 机构的停止原因信息中所包含的停止原因的步骤。根据本专利技术的基板处理装置，包括具有操作画面的操作部和控制部，该操作画面 至少显示输送基板的基板输送机构或处理该基板的基板处理机构的状态，上述控制部包括 控制上述基板输送机构的输送系统控制器，其特征在于，上述操作部具有设定画面，该设定 画面用于设定检测上述基板输送机构或上述基板处理机构的状态的传感器的检测条件、和 包括对上述基板输送机构有无转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息，上述输送 系统控制器根据来自上述操作部的指示对输送控制模块指定上述基板输送机构的工作，上 述输送控制模块根据由上述操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息控制上述基板输 送机构，因此，不需要在设定与转矩相关的信息时在基板处理装置的设置场所设置调整用 工具，各种基板输送机构的调整变得容易。而且，能够根据设定的转矩限制相关信息详细地 控制各种基板输送机构。根据本专利技术，在上述基板输送机构的转矩限制值异常或多个上述传感器中的振动 传感器检测到异常而上述基板输送机构停止时，上述操作部将包括异常发生时的上述振动 传感器的检测结果的上述基板输送机构的停止原因信息显示于上述操作画面，因此对发生 异常的原因的调查变得容易。而且，根据本专利技术，上述操作部将包括暂时保存的异常发生前的检测结果的上述 基板输送机构的停止原因信息显示于上述操作画面，因此能够比较异常发生前和异常发生 后的上述传感器的检测结果，发生异常的原因的调查变得更容易。根据本专利技术的异常显示方法，包括如下步骤利用检测各基板输送机构的状态的传感器来检测异常的步骤；在异常发生时，上述传感器将包括检测结果的上述基板输送机 构的停止原因信息通知给操作部的步骤；使该操作部在操作画面上显示所通知的上述基板 输送机构的停止原因信息中所包含的停止原因的步骤，因此，可实现如下的有益效果不需 要调查上述基板输送机构，就能够通过上述操作部确认由上述传感器检测到的异常原因， 停止原因的判断变得容易，而且能够缩短掌握停止原因所需的时间。附图说明图1是表示本专利技术的基板处理装置的立体图。图2是表示本专利技术的基板处理装置的侧剖视图。图3是表示本专利技术的基板处理装置中的控制系统的框图。图4是表示本专利技术的警报输出例子的概略图。图5是表示本专利技术的参数编辑方法的流程图。图6是表示按本专利技术的每个执行机构来选择有无转矩限制功能、并在检测出异常 时显示警报信息的工作控制处理流程的流程图。图7是表示本专利技术适用的基板处理系统的框图。图8是本专利技术的转矩控制的设定画面，图8(A)表示设定有无转矩控制的画面，图 8(B)表示设定转矩限制值的画面。具体实施例方式以下，参照附图说明本专利技术的实施例。首先，根据图1和图2来说明用于实施本专利技术的基板处理装置。作为基板处理装置的一例，图1、图2示出了立式基板处理装置。在该基板处理装 置中所处理的基板的一例，例示出由硅等构成的晶片。基板处理装置1具有壳体2，在该壳体2的正面壁3的下部开设有作为设置成可进 行维护的开口部的正面维护口 4，由正面维护门5对该正面维护口 4进行开闭。在上述壳体2的上述正面壁3上以将上述壳体2的内外连通的方式开设有晶片 盒(pod)搬入搬出口 6，上述晶片盒搬入搬出口 6通过前闸门(搬入搬出口开闭机构)7进 行开闭，在上述晶片盒搬入搬出口 6的正面前方一侧设置有加载端口(基板输送容器交接 台)8，该加载端口 8被构成为使所装载的晶片盒9对位。该晶片盒9是密闭式基板输送容器，由未图示的工序内输送装置搬入到上述加载 端口 8上，或者由未图示的工序内输送装置从上述加载端口 8搬出。在上述壳体2内的前后方向的大致中央部的上部设置有可绕CR轴方向旋转的旋 转式晶片盒架(基板输送容器保存架)11，该旋转式晶片盒架11被构成为使其保存(容纳) 多个晶片盒9。上述旋转式晶片盒架11包括垂直设立且间歇旋转本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板处理装置，包括操作部和控制部，其中，上述操作部具有操作画面，该操作画面至少显示输送基板的基板输送机构或处理基板的基板处理机构的状态，上述控制部包含控制上述基板输送机构的输送系统控制器，其特征在于，上述操作部具有设定画面，该设定画面用于设定检测上述基板输送机构或上述基板处理机构的状态的传感器的检测条件、和包含有无对上述基板输送机构的转矩控制或转矩控制值的与转矩限制有关的信息，上述输送系统控制器根据来自上述操作部的指示对输送控制模块指定上述基板输送机构的工作，上述输送控制模块根据由上述操作部指定的指示和与转矩限制有关的信息来控制上述基板输送机构。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：守田修，
申请(专利权)人：株式会社日立国际电气，
类型：发明
国别省市：JP[日本]