籽晶收纳工装制造技术

本实用新型专利技术公开了一种籽晶收纳工装，涉及半导体制造技术领域，包括：底座；承托板，固定安装在所述底座上，所述承托板上开设有若干个供籽晶穿过的通孔；其中，所述底座与所述承托板之间的间距小于所述籽晶的长度。本实用新型专利技术不仅可对大量籽晶进行收纳存放，而且可避免相邻籽晶之间互相磕碰，保证了籽晶的品质，大大提高了籽晶在使用之前的合格率。提高了籽晶在使用之前的合格率。提高了籽晶在使用之前的合格率。

【技术实现步骤摘要】
籽晶收纳工装


[0001]本技术涉及半导体制造
，特别是涉及一种籽晶收纳工装。

技术介绍

[0002]目前籽晶收纳主要以塑料筐和珍珠棉组合存放。该存放方式主要存在以下三点缺陷：1．随着长时间的使用，珍珠棉上开设的孔内会留下硅泥和残渣，不易清理；2．珍珠棉上开设的孔内附着的硅泥或残渣会对后续存放的籽晶表面产生损坏；3．珍珠棉质地偏软，导致籽晶与籽晶之间容易产生磕碰，影响籽晶的质量。

技术实现思路

[0003]本技术所要解决的技术问题是，克服现有技术的缺点，提供一种籽晶收纳工装。
[0004]为了解决以上技术问题，本技术的技术方案如下：
[0005]一种籽晶收纳工装，包括：
[0006]底座；
[0007]承托板，固定安装在所述底座上，所述承托板上开设有若干个供籽晶穿过的通孔；
[0008]其中，所述底座与所述承托板之间的间距小于所述籽晶的长度。
[0009]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述底座上开设有若干个供所述籽晶端部伸入的定位槽。
[0010]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述定位槽与所述通孔的数量一致且一一对应，任一所述通孔的轴线和与其对应的所述定位槽的轴线重合。
[0011]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述承托板的上端面位于每个所述通孔处均开设有放置槽，且所述放置槽的形状与所述籽晶上的连接锥面的形状相适配，任一所述放置槽的轴线和与其对应的所述通孔的轴线重合。
[0012]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述底座上固定安装有支撑柱，所述承托板固定安装在所述支撑柱的上端。
[0013]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述承托板的上端固定安装有立柱，所述立柱的上端铰接有提手。
[0014]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述承托板的横截面为圆形；
[0015]若干个所述通孔分为若干组通孔组，每组所述通孔组中的若干个通孔均匀布设在同一圆周上，且该圆周的圆心与所述承托板的圆心重合。
[0016]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述立柱和所述支撑柱的轴线均与所述承托板的轴线重合。
[0017]作为本技术所述籽晶收纳工装的一种优选方案，其中：所述底座和所述承托板均为尼龙材质。
[0018]本技术的有益效果是：
[0019]（1）本技术中籽晶可通过承托板上开设的通孔穿设在承托板上，通过承托板上的通孔对籽晶进行水平方向的限位，实现籽晶的存放，不仅便于对籽晶进行收纳，而且相邻籽晶之间不会产生磕碰损坏等，同时，承托板与底座之间采用镂空结构，便于对工装进行清理，从而保证了籽晶的质量。
[0020]（2）本技术在底座上开设有定位槽，定位槽可对籽晶的下端进行水平方向的定位，配合通孔对籽晶的上部进行水平方向的限位，可有效提高籽晶的放置稳定性，减少晃动；同时，在承托板上还开设有放置槽，该放置槽与籽晶上的连接锥面相适配，进一步提高了籽晶的放置稳定性。
[0021]（3）本技术在承托板上固定安装有立柱，并在立柱的上端铰接有提手，操作人员可通过提手将工装提起，便于移动工装，实现对籽晶的运输。
[0022]（4）本技术中底座和承托板均为尼龙材质，其不会对籽晶产生污染。同时，其硬度也符合籽晶的存放需要，在保证放置稳定性的同时不会对籽晶产生磕碰损坏等。
附图说明
[0023]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0024]图1为本技术提供的籽晶收纳工装的结构示意图；
[0025]图2为本技术提供的籽晶收纳工装中承托板的主视图；
[0026]其中：1、底座；2、承托板；3、通孔；4、定位槽；5、放置槽；6、支撑柱；7、立柱；8、提手；9、籽晶。
实施方式
[0027]为使本技术的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施方式并结合附图，对本技术作出进一步详细的说明。
[0028]图1为本申请实施例提供的籽晶收纳工装的结构示意图。该工装包括底座1和承托板2。承托板2固定安装在底座1的上端。籽晶9可穿设在承托板2上，实现对籽晶9的收纳。
[0029]具体的，在底座1上固定安装有支撑柱6。承托板2固定安装在支撑柱6的上端，并与底座1所在的平面平行。参见图1，在承托板2上开设有若干个沿厚度方向贯穿承托板2的通孔3。籽晶9可通过上述通孔3穿设在承托板2上，实现籽晶9的存放。
[0030]需要说明的是，底座1与承托板2之间的间距小于籽晶9的长度。这样当籽晶9穿设在承托板2上时，籽晶9的下端抵接在底座1上，籽晶的上端伸至承托板2的上方。此时通孔3可对籽晶9进行水平方向的限位，实现籽晶9的存放。
[0031]较佳的，在底座1上开设有若干个定位槽4。籽晶穿设在承托板2上时，籽晶的下端可伸至定位槽4内，定位槽4可对籽晶9的下端进行水平方向的定位，配合通孔3对籽晶9的上部进行水平方向的限位，可有效提高籽晶9的放置稳定性，减少晃动。
[0032]需要说明的是，底座1上的定位槽4的数量与承托板2上的通孔3的数量一致，且每
个定位槽4均与一个通孔3对齐。任意一个通孔3的轴线和与其对应的定位槽4的轴线重合。这样伸至任意通孔3内的籽晶的下端均可伸至定位槽4内，保证籽晶9的放置稳定性。
[0033]参见图1，在承托板2的上端面上位于每个通孔3处均开设有放置槽5。上述放置槽5的形状与籽晶9上的连接锥面的形状相适配。在本实施例中，放置槽5大致为倒置的圆台状。每个放置槽5的下端均与对应的通孔3连通，且每个放置槽5的轴线均与对应通孔3的轴线重合。当籽晶放置工装上时，籽晶9上直径较小的端部穿过通孔3伸至底座1上的定位槽4内，籽晶9上直径较大的端部位于承托板2的上方，而籽晶9上的连接锥面位于放置槽5内。
[0034]在承托板2的上端还固定安装有沿竖直方向延伸的立柱7。在立柱7的上端铰接有提手8。操作人员可通过提手8将工装提起，便于移动工装，实现对籽晶的运输。
[0035]在本实施例中，承托板2的横截面为圆形。参见图2，承托板2上开设的若干个通孔3分为三组通孔3组，每组通孔3组中的多个通孔3均匀布设在同一圆周上，且该圆周的圆心与承托板2的圆心重合。多组通孔3组围成的圆周的直径依次减小。这样工装内可整齐放置多根籽晶9，且相邻籽晶9之间互不干扰，不会产生磕碰损坏。同时也便于将籽晶9从工装内取出。
[0036]相应的，底座1的横截面也为圆形。支撑柱6的轴线与底座1的轴线重合。同时，承托板2与底座1的轴线也重合，因此支撑柱6支撑在承本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶收纳工装，其特征在于：包括：底座(1)；承托板(2)，固定安装在所述底座(1)上，所述承托板(2)上开设有若干个供籽晶(9)穿过的通孔(3)；其中，所述底座(1)与所述承托板(2)之间的间距小于所述籽晶(9)的长度。2.根据权利要求1所述的籽晶收纳工装，其特征在于：所述底座(1)上开设有若干个供所述籽晶(9)端部伸入的定位槽(4)。3.根据权利要求2所述的籽晶收纳工装，其特征在于：所述定位槽(4)与所述通孔(3)的数量一致且一一对应，任一所述通孔(3)的轴线和与其对应的所述定位槽(4)的轴线重合。4.根据权利要求1所述的籽晶收纳工装，其特征在于：所述承托板(2)的上端面位于每个所述通孔(3)处均开设有放置槽(5)，且所述放置槽(5)的形状与所述籽晶上的连接锥面的形状相适配，任一所述放置槽(5)的轴线和与其对应的所述通孔(3)...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩宇生，姜志强，王军磊，王艺澄，
申请(专利权)人：包头美科硅能源有限公司，
类型：新型
国别省市：