本实用新型专利技术公开了一种电连接器，包括可伐合金外壳、导针和玻璃填充层，外壳的内部设有两端贯穿的通孔，导针通过玻璃填充层固定于外壳的通孔内且伸出通孔的两端；外壳的外壁上设置有第一密封组件。本实用新型专利技术还公开了一种束流检测装置，包括真空法兰、空心导杆、检测腔体、石墨收纳盒和如上的电连接器，石墨收纳盒安装于真空法兰的外侧，检测腔体位于真空法兰的内侧，电连接器密封安装在检测腔体上，空心导杆的一端从真空法兰的外侧穿入至真空法兰的内侧，并固定在检测腔体上，电连接器上导针的一端连接至各束流检测件，电连接器上导针的另一端则伸入至空心导杆的内部腔体内。本实用新型专利技术在保证束流检测通讯正常的同时，又不影响机台真空度。机台真空度。机台真空度。
【技术实现步骤摘要】
一种电连接器及束流检测装置
[0001]本技术主要涉及半导体
，具体涉及一种电连接器及束流检测装置。
技术介绍
[0002]离子注入掺杂是半导体制造技术中必不可少的关键工艺，整个注入过程是需要在高真空环境当中完成，其中当离子束在水平方向扫开成条带状后，在注入晶片前需要用束流检测装置对束流指标进行测量评定，该束流检测装置在高真空区内左右往复运动实现束流测量，那么需要有一种电连接器能够将采集到的数据通过针脚实时回传并且不能导致真空值下降。
[0003]现有的电连接器件采用移动法拉第胶管，其主要包括合金介质外壳、Supply信号检测单芯网线和导热环氧胶(如型号：TRA
‑
BOND 2151)。其对应的制作流程为：
[0004]步骤1、单芯线缆剥掉外层；
[0005]步骤2、使用灌胶工装将线缆均匀分布到合金介质内部；
[0006]步骤3、将导热环氧胶均匀的灌入合金介质内部；
[0007]步骤4、静止6小时以上，测试导体之间的绝缘阻值。
[0008]本专利申请人发现，上述电连接器件在使用时存在以下缺点：1.灌胶工艺难度大，易造成线缆短路；2.线缆布局不好控制，造成分布不均匀；3.线缆内部一直有电流通过，易造成导热环氧胶氧化，耐真空能力下降，此部件使真空泄漏；4.真空泄漏故障率高，影响机台稳定性；5.更换难度大，耗费人力成本高，严重影响机台运行时间。
技术实现思路
[0009]本技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本技术提供一种在保证束流检测通讯正常的同时，又不影响机台真空度的电连接器及束流检测装置。
[0010]为解决上述技术问题，本技术提出的技术方案为：
[0011]一种电连接器，应用于束流检测装置中，包括可伐合金外壳、导针和玻璃填充层，所述外壳的内部设有两端贯穿的通孔，所述导针通过玻璃填充层固定于所述外壳的通孔内且伸出通孔的两端；所述外壳的外壁上设置有第一密封组件。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进：
[0013]所述第一密封组件包括位于外壳外壁上的多条沟槽，所述沟槽内设有第一密封圈。
[0014]本技术还公开了一种束流检测装置，包括真空法兰、空心导杆、检测腔体、石墨收纳盒和如上所述的电连接器，所述石墨收纳盒安装于所述真空法兰的外侧，所述检测腔体位于所述真空法兰的内侧，所述电连接器密封安装在所述检测腔体上，所述空心导杆的一端从真空法兰的外侧穿入至真空法兰的内侧，并固定在检测腔体上，所述电连接器上导针的一端连接至各束流检测件，所述电连接器上导针的另一端则伸入至空心导杆的内部
腔体内。
[0015]作为上述技术方案的进一步改进：
[0016]所述检测腔体上设有由第一通孔和第二通孔构成的台阶孔，所述第一通孔的直径大于第二通孔的直径，所述电连接器位于所述第二通孔内，所述空心导杆的一端位于所述第一通孔内，所述空心导杆的一端与所述第一通孔之间设置有第二密封组件。
[0017]所述第二密封组件包括密封槽和第二密封圈，所述密封槽位于所述第一通孔的内壁上，所述第二密封圈位于所述密封槽内。
[0018]所述空心导杆与所述检测腔体之间通过螺栓连接。
[0019]所述石墨收纳盒通过螺栓安装在真空法兰的外侧。
[0020]所述空心导杆的内部腔体内设有对插头，所述电连接器上导针的一端与对插头的一端相连，所述对插头的另一端与束流检测装置的控制器相连。
[0021]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0022]本技术通过浇铸玻璃工艺形成玻璃填充层，容错率低；导针固定均匀，易于控制；各导针之间绝缘等级高；玻璃填充层耐氧化等级高，稳定性高；减少维护成本，提高机台运行时间；另外上述电连接器便于更换外部接线，可根据实际需要调节线缆长度；在保证束流检测通讯正常的同时，又不影响机台真空度。
[0023]另外，本技术用玻璃来进行封装，原料丰富，成本低廉；加工性能好，便于成型；电气绝缘性能、化学稳定性能良好，满足使用要求；其中外壳材质本身与被封装材料膨胀系数相接近，便于封装，更加牢固。
附图说明
[0024]图1为本技术的电连接器在实施例的主视结构图。
[0025]图2为本技术的电连接器在实施例的剖视结构图。
[0026]图3为本技术的束流检测装置在实施例的主视结构图。
[0027]图4为图3的A
‑
A视图。
[0028]图5为图4的局部放大图。
[0029]图例说明：1、石墨收纳盒；2、真空法兰；3、挡板；4、检测腔体；5、信号线；6、电连接器；7、第一密封组件；701、沟槽；702、第一密封圈；8、导杆；801、第二密封组件；8011、密封槽；8012、第二密封圈；9、对插头；10、玻璃填充层；11、外壳；12、导针。
具体实施方式
[0030]以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步描述。
[0031]如图1和图2所示，本技术实施例的电连接器，应用于束流检测装置中，包括可伐合金外壳11、导针12和玻璃填充层10，外壳11的内部设有两端贯穿的通孔，导针12通过玻璃填充层10固定于外壳11的通孔内且伸出通孔的两端；外壳11的外壁上设置有第一密封组件7。其中第一密封组件7包括位于外壳11的外壁上的多条沟槽701，沟槽701内设有第一密封圈702，通过第一密封组件7实现电连接器与其它部件(检测腔体4)之间的密封。
[0032]上述电连接器6的制作流程为：
[0033]步骤1、可伐合金外壳11固定到烧制工装；
[0034]步骤2、导针12均匀分布在可伐合金外壳11内部的通孔内，上下预留出3mm长度便于接线；其中导针12为镀金的可伐合金；
[0035]步骤3、在1000
°
高温炉中灌入融化玻璃形成玻璃填充层10；其中玻璃熔点800
°‑
1200
°
，钛合金熔点1600
°
；
[0036]步骤4、静止6小时以上，测试各导针12之间的绝缘阻值；
[0037]步骤5、根据机台所需截取一定长度线缆焊接到导针12的两端。
[0038]本技术通过浇铸玻璃工艺形成玻璃填充层10，容错率低；导针12固定均匀，易于控制；各导针12之间绝缘等级高；玻璃填充层10耐氧化等级高，稳定性高；减少维护成本，提高机台运行时间；另外上述电连接器6便于更换外部接线，可根据实际需要调节线缆长度；在保证束流检测通讯正常的同时，又不影响机台真空度。
[0039]另外，本技术用玻璃来进行封装，原料丰富，成本低廉；加工性能好，便于成型；电气绝缘性能、化学稳定性能良好，满足使用要求；其中外壳11材质本身与被封装材料膨胀系数相接近，便于封装，更加牢固。
[0040]如图3
‑
5所示，本技术实施本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种电连接器，应用于束流检测装置中，其特征在于，包括可伐合金外壳(11)、导针(12)和玻璃填充层(10)，所述外壳(11)的内部设有两端贯穿的通孔，所述导针(12)通过玻璃填充层(10)固定于所述外壳(11)的通孔内且伸出通孔的两端；所述外壳(11)的外壁上设置有第一密封组件(7)。2.根据权利要求1所述的电连接器，其特征在于，所述第一密封组件(7)包括位于外壳(11)外壁上的多条沟槽(701)，所述沟槽(701)内设有第一密封圈(702)。3.一种束流检测装置，其特征在于，包括真空法兰(2)、空心导杆(8)、检测腔体(4)、石墨收纳盒(1)和如权利要求1
‑
2中任意一项所述的电连接器(6)，所述石墨收纳盒(1)安装于所述真空法兰(2)的外侧，所述检测腔体(4)位于所述真空法兰(2)的内侧，所述电连接器(6)密封安装在所述检测腔体(4)上，所述空心导杆(8)的一端从真空法兰(2)的外侧穿入至真空法兰(2)的内侧，并固定在检测腔体(4)上，所述电连接器(6)上导针(12)的一端连接至各束流检测件，所述电连接器(6)上导针(12)的另一端则伸入至空心导杆(8)的内部腔体内。4.根据权利要求3所述的束流检测装置，...
【专利技术属性】
技术研发人员：张冰，何珍光，李进，李士会，
申请(专利权)人：北京烁科中科信电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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