一种硅片边缘缺陷自动检测设备制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片检测领域领域，具体为一种硅片边缘缺陷自动检测设备，包括外壳、机械臂、承载旋转组件和边缘检测组件，所述机械臂固定安装在外壳内部，所述承载旋转组件固定安装在外壳内部，所述边缘检测组件固定安装在外壳内部，通过设置光源和检测相机，光源和检测相机分别固定安装在外壳内部且与外壳的中间面夹角相等，当光源发出光照射到硅片边缘后反射到检测相机，这样设置使得光反射的次数较少，避免了光损耗，大大提高了硅片边缘检测的精度。精度。精度。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片边缘缺陷自动检测设备


[0001]本技术涉及硅片检测领域，具体为一种硅片边缘缺陷自动检测设备。

技术介绍

[0002]在工业生产中，需要对硅片进行清洗，清洗完需要对硅片进行检测，传统的硅片边缘检测机构一般采用棱镜作为反射机构，但是棱镜在反射的过程中存在较大的光损耗，反射次数比较多，从而造成检测机构成像效果差，检测精度不是很理想。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种硅片边缘缺陷自动检测设备，其目的在于对硅片边缘进行检测。
[0004]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0005]提供一种硅片边缘缺陷自动检测设备，包括外壳、机械臂、承载旋转组件和边缘检测组件，所述机械臂固定安装在外壳内部，所述承载旋转组件固定安装在外壳内部，所述边缘检测组件固定安装在外壳内部。
[0006]所述外壳内部分为检测区和搬运区，所述机械臂固定安装在搬运区，所述承载旋转组件和边缘检测组件固定安装在检测区。
[0007]所述承载旋转组件包括承载体和驱动组件，所述驱动组件包括电机、第一齿轮和第二齿轮，所述电机一端与外壳固定连接，所述电机另一端与第一齿轮固定连接，所述第二齿轮与承载体一端固定连接，所述外壳内部开设有固定架，所述承载体与固定架转动连接，所述第一齿轮与第二齿轮啮合。
[0008]所述边缘检测组件包括光源和检测相机，所述光源和检测相机分别固定安装在外壳内部且与外壳的中间面夹角相等。
[0009]所述外壳外侧开设有载物台，所述外壳内部固定安装光源和检测相机的位置上分别开设有安装台，所述光源和检测相机分别固定安装在安装台上，所述检测区和搬运区交界处开设有窗口。
[0010]本技术的有益效果是：
[0011]1、本技术的一种硅片边缘缺陷自动检测设备，通过设置光源和检测相机，光源和检测相机分别固定安装在外壳内部且与外壳的中间面夹角相等，当光源发出光照射到硅片边缘后反射到检测相机，这样设置使得光反射的次数较少，避免了光损耗，大大提高了硅片边缘检测的精度。
[0012]2、本技术的一种硅片边缘缺陷自动检测设备，通过设置承载体和驱动组件，驱动组件驱动承载体转动进而达到对硅片边缘位置的全面检测，使得检测的结果更加准确、完全。
附图说明
[0013]图1为本技术的整体立体结构示意图；
[0014]图2为本技术的整体立体结构分解示意图；
[0015]图3为本技术的承载旋转组件整体立体机构分解示意图；
[0016]图4为本技术的边缘检测组件整体立体结构示意图；
[0017]图5为本技术的边缘检测组件整体立体结构分解示意图；
[0018]附图中，各标号所代表的零部件列表如下：
[0019]1、外壳；
[0020]2、机械臂；
[0021]3、承载旋转组件；31、承载体；32、驱动组件；321、电机；322、第一齿轮；323、第二齿轮；
[0022]4、边缘检测组件；41、光源；42、检测相机。
具体实施方式
[0023]其中，附图仅用于示例性说明，表示的仅是示意图，而非实物图，不能理解为对本专利的限制；为了更好地说明本技术的实施例，附图某些部件会有省略、放大或缩小，并不代表实际产品的尺寸。
[0024]一种硅片边缘缺陷自动检测设备，包括外壳1、机械臂2、承载旋转组件3和边缘检测组件4，所述机械臂2固定安装在外壳1内部，所述承载旋转组件3固定安装在外壳1内部，所述边缘检测组件4固定安装在外壳1内部。
[0025]设置机械臂2固定安装在外壳1内部，承载旋转组件3固定安装在外壳1内部，边缘检测组件4固定安装在外壳1内部，通过控制器控制机械臂2拿取需要检测的硅片放置承载旋转组件3上，控制器控制承载旋转组件3转动，同时边缘检测组件4开始对其进行检测，承载旋转组件3带动硅片一起转动从而达到对硅片边缘全面检测的目的。
[0026]所述外壳1内部分为检测区和搬运区，所述机械臂2固定安装在搬运区，所述承载旋转组件3和边缘检测组件4固定安装在检测区。
[0027]设置机械臂2固定安装在搬运区，承载旋转组件3和边缘检测组件4固定安装在检测区使得检测的环境不会受到影响，使得检测更加准确。
[0028]所述承载旋转组件3包括承载体31和驱动组件32，所述驱动组件32包括电机321、第一齿轮322和第二齿轮323，所述电机321一端与外壳1固定连接，所述电机321另一端与第一齿轮322固定连接，所述第二齿轮323与承载体31一端固定连接，所述外壳1内部开设有固定架，所述承载体31与固定架转动连接，所述第一齿轮322与第二齿轮323啮合。
[0029]设置电机321一端与外壳1固定连接，电机321另一端与第一齿轮322固定连接，第二齿轮323与承载体31一端固定连接，外壳1内部开设有固定架，承载体31与固定架转动连接，第一齿轮322与第二齿轮323啮合通过控制器控制电机321转动进而带动承载体31转动使得硅片转动，进而使得硅片边缘的每个位置都能够被检测到，使得检测更加完全，检测结果更加准确。
[0030]所述边缘检测组件4包括光源41和检测相机42，所述光源41和检测相机42分别固定安装在外壳1内部且与外壳1的中间面夹角相等。
[0031]设置光源41和检测相机42分别固定安装在外壳1内部且与外壳1的中间面夹角相等使得光源41发出的光照射到硅片边缘，硅片边缘将光反射到检测相机42从而达到检测的目的，这样的反射只发生的次数比较少，因此光的强度比较高，检测的效果更好。
[0032]所述外壳1外侧开设有载物台，所述外壳1内部固定安装光源41和检测相机42的位置上分别开设有安装台，所述光源41和检测相机42分别固定安装在安装台上，所述检测区和搬运区交界处开设有窗口。
[0033]设置外壳1内部固定安装光源41和检测相机42的位置上分别开设有安装台，光源41和检测相机42分别固定安装在安装台上使得光源41和检测相机42能够选择到一个合适的角度，检测区和搬运区交界处开设有窗口，当检测时窗口由控制器控制关闭，使得检测区内部处于封闭状态，光的反射效果更好，检测的也更加准确。
[0034]以上显示和描述了本技术的基本原理和主要特征和本技术的优点。本行业的技术人员应该了解，本技术不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本技术的原理，在不脱离本技术精神和范围的前提下，本技术还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本技术范围内。本技术要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片边缘缺陷自动检测设备，其特征在于：包括外壳(1)、机械臂(2)、承载旋转组件(3)和边缘检测组件(4)，所述机械臂(2)固定安装在外壳(1)内部，所述承载旋转组件(3)固定安装在外壳(1)内部，所述边缘检测组件(4)固定安装在外壳(1)内部；所述边缘检测组件(4)包括光源(41)和检测相机(42)，所述光源(41)和检测相机(42)分别固定安装在外壳(1)内部且与外壳(1)的中间面夹角相等。2.根据权利要求1所述的一种硅片边缘缺陷自动检测设备，其特征在于：所述外壳(1)内部分为检测区和搬运区，所述机械臂(2)固定安装在搬运区，所述承载旋转组件(3)和边缘检测组件(4)固定安装在检测区。3.根据权利要求1所述的一种硅片边缘缺陷自动检测设备，其特征在于：所述承载旋转...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈海龙，
申请(专利权)人：杭州光研科技有限公司，
类型：新型
国别省市：