一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车制造技术

本实用新型专利技术提供一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，涉及卷绕镀膜机的技术领域，包括第一靶车和第二靶车；所述第一靶车和所述第二靶车结构对称设置，且对称安装于卷绕镀膜机的真空室内；所述第一靶车和所述第二靶车均包括滑轨，滑动配合于所述滑轨上设置靶车架，所述靶车架上设有维护箱，所述维护箱的一端端面设有封板，所述封板上设有若干个支撑杆，所述支撑杆的自由端端面上连接有安装板，在所述封板与所述安装板之间还设有若干根引入杆，若干根所述引入杆外壁均套设有旋转靶材；在所述封板与所述安装板之间还安装有多根充气杆，多根所述充气杆分别置于若干根引入杆之间。之间。之间。

【技术实现步骤摘要】
一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车


[0001]本技术涉及卷绕镀膜机的
，具体而言，涉及一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车。

技术介绍

[0002]磁控卷绕镀膜机是一种用于物理学、工程与技术科学基础学科、材料科学领域的科学设备，适合在柔性基材上镀制各种介质膜、导电膜等。
[0003]磁控卷绕镀膜机主要包括真空室、卷绕机构、溅射机构等，现有卷绕机构中，磁控靶为核心部件之一，磁控靶上的靶材是消耗品，需要定期更换，正常工作时磁控靶需要在密闭真空室内，为了便于维修、维护、清洁和更换靶材，然而真空室内空间有限且可操作性不强，所有需要将磁控靶移出真空室外，为便于推进和推出，因此将磁控靶固定安装在小车上，形成磁控靶车，现有的磁控卷绕镀膜通常为单面镀膜，采用靶车上的磁控靶为一整体，在技术不断更新迭代中，一次性双面溅射镀膜更为人们所采用，单面的磁控靶车难以适应于一次性双面溅射镀膜，对此进行磁控靶车的改进。
[0004]现有针对一次性双面镀膜的磁控靶车都是为一整体，而一次性双面镀膜对应的真空室中有两个独立的溅射室，对其基材进行独立溅射镀膜，使其靶车上会安装对应两个溅射室的磁控靶，而这样一体成型的磁控靶车在推进或推出过程中由于加工和装配的原因导致真空室内密封不良问题的产生；除此之外，当其中一个靶材需要更换时，需要将整个靶车从真空室内退出，这样的操作方式不便利性太大，同时也会影响真空室内的真空度。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，用以实现保证卷绕镀膜过程中的真空性、密封性，达到提高镀膜质量等技术效果。
[0006]本技术通过以下技术方案实现：包括第一靶车和第二靶车；所述第一靶车和所述第二靶车结构对称设置，且对称安装于卷绕镀膜机的真空室内；
[0007]所述第一靶车和所述第二靶车均包括滑轨，滑动配合于所述滑轨上设置靶车架，所述靶车架上设有维护箱，所述维护箱的一端端面设有封板，所述封板上设有若干个支撑杆，所述支撑杆的自由端端面上连接有安装板，在所述封板与所述安装板之间还设有若干根引入杆，若干根所述引入杆外壁均套设有旋转靶材；在所述封板与所述安装板之间还安装有多根充气杆，多根所述充气杆分别置于若干根引入杆之间。
[0008]为了更好的实现本技术，进一步的，多根所述引入杆和充气杆间隔均匀布置，且围成弧形，形成半圆形空腔；
[0009]所述安装板一侧开设有半圆形凹槽，所述半圆形凹槽与所述半圆形空腔一致，且连通。
[0010]为了更好的实现本技术，进一步的，所述支撑杆有4根，其中两根靠近设置在封板的顶部，剩下两根靠近设置在封板的底部，多根所述引入杆和所述充气杆靠近设置于
所述封板的中部。
[0011]为了更好的实现本技术，进一步的，所述安装板的底部还设有用于滑动的滑轮。
[0012]为了更好的实现本技术，进一步的，所述维护箱内设有用于与所述引入杆传动连接的传动电机。
[0013]为了更好的实现本技术，进一步的，所述维护箱的另一侧面设置控制柜。
[0014]本技术的有益效果是：
[0015]本技术通过优化磁控靶车的结构，针对一次性双面卷绕镀膜机，采用2个独立的磁控靶车，结构对此设置，且对称安装在卷绕镀膜机真空室的两个溅射室内，具体是分别将磁控靶车推进真空室不同的溅射室，相互之间独立，在需要一个需要更换靶材时，无需影响另一个的真空度以及工作情况，提高工作效率。
[0016]另外在安装板的底部还设置滚轮，并在真空室内的溅射室的底部也设有与滚轮滑动配合的滑轨，两个溅射室左右对称分布，通过滚轮与滑轨的配合使其能够进一步保障两个溅射室内的靶车的平行度和垂直度均一致。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术的技术方案，下面将对本技术中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本技术的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0018]图1为本技术提供的针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车的结构示意图一；
[0019]图2为本技术提供的针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车的结构示意图二；
[0020]图3为本技术提供的第二靶车的结构示意图；
[0021]图标：001
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第一靶车，002
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第二靶车，100
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滑轨，101
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靶车架，102
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维护箱，103
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封板，104
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支撑杆，105
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安装板，106
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引入杆，107
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充气杆，108
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半圆形空腔，109
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滑轮，110
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控制箱，120
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靶材。
具体实施方式
[0022]下面将结合本技术中的附图，对本技术中的技术方案进行描述。
[0023]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。同时，在本技术的描述中，术语“第一”、“第二”等仅用于区分描述，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0024]请参看图1～3，本技术提供一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，现有技术中对于适针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车都是整体式结构，容易出现密封不够严密，当其中一个靶材120需要更换时，需要同时取出全部的靶材120，使其真空室内的真空性难以得到保障，同时全部取出，也会带来较多不便利，除此之
外，现有磁控靶车的靶材120对于一次性双面镀膜而言，其靶材120的平行度和垂直度等调节也很难一致，为了解决上述技术问题，本技术通过优化磁控靶车，达到便于更换操作，且能够加强真空室内整体密封性的目的。
[0025]本技术提供的磁控靶车为独立的靶车，将其进行分化成两个独立靶车，分别是第一靶车001和第二靶车002，真空室内设有两个溅射室，一个溅射室对应一个独立的靶车，这样可以进一步提高真空室内的真空度和密封性，如图中所示，第一靶车001和第二靶车002的结构为对称，均包括滑轨100，在滑轨100上设置有滑动配合的靶车架101，具体是靶车架101的底部设置有在滑轨100内滑动的滑动轮，靶车架101的顶部设置有维护箱102，该维护箱102的一端端面连接有封板103，封板103上设有若干个支撑杆104，并在支撑杆104的自由端端面上连接有安装板105，在安装板105和封板103之间还设置有若干根引入杆106，在引入杆106的外壁套设旋转靶材120，在封板103与安装板105之间本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；包括第一靶车(001)和第二靶车(002)；所述第一靶车(001)和所述第二靶车(002)结构对称设置，且对称安装于卷绕镀膜机的真空室内；所述第一靶车(001)和所述第二靶车(002)均包括滑轨(100)，滑动配合于所述滑轨(100)上设置靶车架(101)，所述靶车架(101)上设有维护箱(102)，所述维护箱(102)的一端端面设有封板(103)，所述封板(103)上设有若干个支撑杆(104)，所述支撑杆(104)的自由端端面上连接有安装板(105)，在所述封板(103)与所述安装板(105)之间还设有若干根引入杆(106)，若干根所述引入杆(106)外壁均套设有旋转靶材(120)；在所述封板(103)与所述安装板(105)之间还安装有多根充气杆(107)，多根所述充气杆(107)分别置于若干根引入杆(106)之间。2.根据权利要求1所述的针对基材PP膜一次性双面卷绕镀膜机的磁控靶车，其特征在于；多根所述引入杆...

【专利技术属性】
技术研发人员：向海洋，李庆国，
申请(专利权)人：四川海格锐特科技有限公司，
类型：新型
国别省市：