本实用新型专利技术公开了一种自动清洁滤芯的过滤装置，包括电机、滤芯、旋转机构、安装支架及多个清洁元件。将滤芯放置于旋转机构中，滤芯顶部用滤芯安装板固定，在滤芯内外侧面均设置安装支架，安装支架上设置多个清洁元件。旋转机构一端连接电机，通过电机驱动，内外侧所有清洁元件绕旋转轴进行旋转运动，所有清洁元件进行旋转时，清洁范围可覆盖滤芯内外表面全部范围，实现对滤芯内外表面的完全清洁，在不拆卸滤芯的情况下将附着于滤芯内外表面的氧化物完全除去，保证过滤系统的过滤能力，并减少拆卸清理的不便。拆卸清理的不便。拆卸清理的不便。
【技术实现步骤摘要】
一种自动清洁滤芯的过滤装置
[0001]本专利技术涉及半导体长晶设备过滤装置，具体是涉及一种自动清洁滤芯的过滤装置。
技术介绍
[0002]为控制半导体长晶设备长晶过程的真空度，需运用真空泵对其进行抽真空操作，但氧化物粉尘进入真空泵会使其损坏，因此在真空泵前必须增加过滤系统，用于保护真空泵的正常运行，过滤系统的重要组成部分为滤芯，须对滤芯进行清理以保证其过滤效率。
[0003]在之前的滤芯清理研究中，过滤系统的滤芯必须停炉后才能进行清理，过滤过程中氧化物会附着在滤芯上，随时间累积将影响滤芯的过滤效率，并且滤芯拆卸操作麻烦，且拆卸过程可能损坏滤芯。
技术实现思路
[0004]专利技术目的：针对以上缺点，本专利技术提供一种自动清洁滤芯的过滤装置，能够在不停炉、不拆卸滤芯的情况下对滤芯进行清洁。
[0005]技术方案：为解决上述问题，本专利技术采用一种自动清洁滤芯的过滤装置，包括电机、滤芯、滤芯安装板、旋转机构、安装支架及多个清洁元件；所述滤芯安装板用于固定滤芯；在滤芯外侧面设置外安装支架，在滤芯内侧面设置内安装支架；外安装支架上设置多个外清洁元件与滤芯外侧面接触；内安装支架上设置多个内清洁元件与滤芯内侧面接触；外安装支架、内安装支架与旋转机构相连，旋转机构另一端连接电机，电机驱动旋转机构转动并带动外清洁元件沿滤芯外表面旋转，内清洁元件沿滤芯内表面旋转。
[0006]进一步的，旋转机构底部设置支架安装板，内安装支架的底部及外安装支架的底部均安装于支架安装板上，滤芯位于内安装支架与外安装支架之间；旋转机构转动时带动支架安装板、内安装支架、外安装支架共同转动。
[0007]进一步的，所述外安装支架至少具有两个并位于滤芯相对的两外侧，每个外安装支架上至少设有两个外清洁元件，一个外安装支架上的外清洁元件与另一个外安装支架上的外清洁元件沿滤芯外侧面自下向上交错排列。
[0008]进一步的，所有外清洁元件的清洁范围之和覆盖整个滤芯的外表面。
[0009]进一步的，所述内安装支架至少具有两个并位于滤芯相对的两内侧，每个内安装支架上至少设有两个内清洁元件，一个内安装支架上的内清洁元件与另一个内安装支架上的内清洁元件沿滤芯内侧面自下向上交错排列。
[0010]进一步的，所有内清洁元件的清洁范围之和覆盖整个滤芯的内表面。
[0011]有益效果：本专利技术相对于现有技术，具有以下显著优点：
[0012](1)电机驱动安装支架，带动安装支架上的内清洁元件、外清洁元件旋转，在不停炉、不拆卸滤芯的情况下清洁滤芯，操作简单便捷，保证滤芯的过滤效率。
[0013](2)设置多个内清洁元件、外清洁元件，内清洁元件交错排列，外清洁元件交错排
列，清洁范围覆盖滤芯内外表面，对滤芯进行彻底清洁。
附图说明
[0014]图1所示为本技术过滤装置的整体结构示意图。
具体实施方式
[0015]如图1所示，本实施例中的一种自动清洁滤芯的过滤装置，包括电机1、滤芯2、滤芯安装板3、旋转机构4、安装支架及八个刷子。本实施方式中滤芯2为一端封闭的圆筒形。滤芯2的外表面及内表面均为圆柱面，滤芯2的横截面为U形。滤芯2顶部用滤芯安装板3进行固定；安装支架包括外安装支架7和内安装支架8。
[0016]外安装支架7上设置四个交错排列的外刷9，以保证外刷9旋转时的清洁范围覆盖滤芯2外表面全部范围。所述外安装支架7至少具有两个并位于滤芯2相对的两外侧，每个外安装支架7上至少设有两个外清洁元件9，一个外安装支架7上的外清洁元件9与另一个外安装支架7上的外清洁元件9沿滤芯2外侧面自下向上交错排列。如图1所示，该过滤装置包括四个外刷9，其中两个外刷9位于同一个外安装支架7上且两个外刷9之间具有空隙。其中一个外安装支架7上设置一个外刷9位于滤芯2外表面最低处，另一个外安装支架7上设置一个外刷9位于前述最低处位置外刷9更高的位置形成交错，且该两个外刷9所清洁的滤芯2外表面的周向范围相交，故通过该实施方式中四个相互交错的外刷9，在外安装支架7转动时可以实现对滤芯2外表面全部范围的清洁。
[0017]内安装支架8上设置四个交错排列的内刷10，以保证内刷10旋转时的清洁范围覆盖滤芯2内表面全部范围。所述内安装支架8至少具有两个并位于滤芯2相对的两内侧，每个内安装支架8上至少设有两个内清洁元件10，一个内安装支架8上的内清洁元件10与另一个内安装支架8上的内清洁元件10沿滤芯2外侧面自下向上交错排列。如图1所示，该过滤装置包括四个内刷10，其中两个内刷10位于同一个内安装支架8上且两个内刷10之间具有空隙。其中一个内安装支架8上设置一个内刷10位于滤芯2内表面最低处，另一个内安装支架8上设置一个内刷10位于前述最低处位置内刷10更高的位置形成交错，且该两个内刷10所清洁的滤芯2内表面的周向范围相交，故通过该实施方式中四个相互交错的内刷10，在内安装支架8转动时可以实现对滤芯2内表面全部范围的清洁。
[0018]旋转机构4通过支架安装板11与外安装支架7、内安装支架8相连，旋转机构4另一端与电机1连接。电机1驱动旋转机构4旋转，带动与旋转机构4相连的外安装支架7及外刷9、内安装支架8及内刷10转动，对滤芯2内外表面进行清理，以达到在不停炉、不拆卸的情况下自动清理滤芯2内外表面的目的。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种自动清洁滤芯的过滤装置，其特征在于，包括电机(1)、滤芯(2)、滤芯安装板(3)、旋转机构(4)、安装支架及多个清洁元件；所述滤芯安装板(3)用于固定滤芯(2)；在滤芯外侧面设置外安装支架(7)，在滤芯内侧面设置内安装支架(8)；外安装支架(7)上设置多个外清洁元件(9)与滤芯外侧面接触；内安装支架(8)上设置多个内清洁元件(10)与滤芯内侧面接触；外安装支架(7)、内安装支架(8)与旋转机构(4)相连，旋转机构(4)另一端连接电机(1)，电机(1)驱动旋转机构(4)转动并带动外清洁元件(9)沿滤芯外表面旋转，内清洁元件(10)沿滤芯内表面旋转。2.根据权利要求1所述的过滤装置，其特征在于，旋转机构(4)底部设置支架安装板(11)，内安装支架(8)的底部及外安装支架(7)的底部均安装于支架安装板(11)上，滤芯(2)位于内安装支架(8)与外安装支架(7)之间；旋转机构(4)转动时带动支架安装板(11)、内安...
【专利技术属性】
技术研发人员：汪大发，姜宏伟，王维川，
申请(专利权)人：南京晶能半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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