一种防撞观测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种防撞观测装置，属于电子显微镜技术领域，能够防止样品台撞到物镜，并解决样品台调节高度有限、适用范围有限的问题；该装置包括样品仓、样品台、升降组件、物镜、观测相机、PC端和CCD组件；所述升降组件设置在所述样品仓内，所述样品台固定设置在所述升降组件上；所述物镜设于所述样品仓的顶部，且其观测端正对所述样品台；所述观测相机与所述物镜观测式光连接；所述CCD组件设置在所述样品仓的外部侧壁上，且其图像采集端正对所述样品台和所述物镜之间的间隙；所述升降组件、所述观测相机、所述CCD组件均与所述PC端连接。所述CCD组件均与所述PC端连接。所述CCD组件均与所述PC端连接。

【技术实现步骤摘要】
一种防撞观测装置


[0001]本技术涉及电子显微镜
，尤其涉及一种防撞观测装置。

技术介绍

[0002]电子显微镜一般由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。镜筒内有个重要的部件——物镜，物镜的作用是将样品分辨率放大，它是决定采集图像质量性能的最重要部件，直接决定图像分辨力的高低。分辨力也叫分辨率或分辨本领。分辨力的大小是用分辨距离(所能分辨开的两个物点间的最小距离)的数值来表示的。在明视距离(25cm)之处，正常人眼所能看清相距0.073mm的两个物点，这个0.073mm的数值，即为正常人眼的分辨距离。显微镜的分辨距离越小，即表示它的分辨力越高，也就是表示它的性能越好。
[0003]一般采用电子显微镜分析样品时，为了提高电子显微镜的分辨力，需要样品表面无限接近物镜，缩短分辨距离，这样才能采集到高质量的图像信息。但该过程往往存在以下缺点：1、难以根据实际需要来调节该样品台的实际使用高度，适用范围有限；2、通过电子显微镜自带的CCD相机能观察到的样品台调节高度受限，最少分辨距离是10mm；3、对扫描电子显微镜的操作人要求很高，否则很容易使样品台撞到物镜。
[0004]因此，有必要研究一种防撞观测装置来应对现有技术的不足，以解决或减轻上述一个或多个问题。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，本技术提供了一种防撞观测装置，能够防止样品台撞到物镜，并解决样品台调节高度有限、适用范围有限的问题。
[0006]本技术提供一种防撞观测装置，所述装置包括样品仓、样品台、升降组件、物镜、观测相机、PC端和CCD组件；
[0007]所述升降组件设置在所述样品仓内，所述样品台固定设置在所述升降组件上；
[0008]所述物镜设于所述样品仓的顶部，且其观测端正对所述样品台；所述观测相机与所述物镜观测式光连接；观测式光连接是指观测相机能够接收物镜的观测光线，从而拍摄到所需要的样品图片；
[0009]所述CCD组件设置在所述样品仓的外部侧壁上，且其图像采集端正对所述样品台和所述物镜之间的间隙；
[0010]所述升降组件、所述观测相机、所述CCD组件均与所述PC端连接。
[0011]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述样品仓的侧壁上开设有观察口；所述CCD组件的观测端正对所述观察口，并与所述样品仓的侧壁固定连接。
[0012]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述CCD组件包括镜头、CCD相机、CCD固定盖、CCD视窗盖和CCD视窗；
[0013]所述CCD固定盖为内空结构；所述镜头和所述CCD相机轴向连接，并设置在CCD固定
盖内；
[0014]所述CCD视窗设置在所述CCD固定盖的镜头端；所述CCD视窗盖围设在所述CCD固定盖镜头端的外周，并与所述CCD视窗盖以及所述CCD视窗固定连接；
[0015]所述CCD视窗盖通过螺丝与所述样品仓的侧壁螺纹连接。
[0016]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述CCD视窗盖的外缘处设有O型槽，所述O型槽内设有O型密封圈；所述O型密封圈与所述样品仓的侧壁密封接触连接。
[0017]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述相机与所述PC端通信连接。
[0018]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述CCD固定盖为一端开口的圆柱体结构。
[0019]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述CCD组件在所述物镜轴线处的竖向可视范围≦25mm。
[0020]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述CCD组件到所述物镜轴线处的距离为270mm。
[0021]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述观测相机设于所述物镜的顶部，并正对所述物镜的光输出端。
[0022]如上所述的方面和任一可能的实现方式，进一步提供一种实现方式，所述观测相机设置在所述物镜的斜上方，并通过设置在所述物镜顶部的反光镜与所述物镜可观测式光连接。
[0023]与现有技术相比，上述技术方案中的一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术的方案通过设置专门的镜头和相机来采集样品或样品台与物镜之间的距离，实现自动测距，并根据实时测距数据实现对样品台竖向移动的软限位，从而避免物镜与样品的碰撞；
[0024]上述技术方案中的另一个技术方案具有如下优点或有益效果：本技术的方案自动化程度高，大大降低了对操作人员的要求，提高检测质量。
[0025]当然，实施本技术的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有技术效果。
附图说明
[0026]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它的附图。
[0027]图1是本技术一个实施例提供的防撞观测装置的结构示意图；
[0028]图2是本技术一个实施例提供的CCD组件的结构示意图。
[0029]其中，图中：
[0030]1、样品；2、样品台；3、物镜；4、PC端；5、镜头；6、CCD相机；7、样品仓；8、CCD固定盖；9、CCD视窗盖；10、CCD视窗。
具体实施方式
[0031]为了更好的理解本技术的技术方案，下面结合附图对本技术实施例进行详细描述。
[0032]应当明确，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0033]为了解决现有技术的不足，本技术提供一种观测防撞装置，该装置包括样品1、样品台2、物镜3、PC端4(包括硬件和软件)、镜头5、CCD相机6和样品仓7。
[0034]样品台2：设置在样品仓7内，用于放置样品1；样品台设置在升降组件上，在升降组件的带动下实现升降；升降组件可以采用带动伸缩结构，比如伸缩杆，也可以采用其他结构，比如现有电子显微镜设备中自带的样品台升降结构；
[0035]物镜3：其底部嵌设在样品仓7内，顶部从样品仓顶部露出；物镜3的底部正对设置在样品台上的样品1，用于实现对样品的观测放大，且能够调节电子显微镜的分辨力；观测相机设置在物镜3的顶部，用于拍摄物镜观测到的景象；观测相机与PC端连接，PC端对图像进行分析判断出聚焦状态，在聚焦不合适时PC端控制样品台进行升降实现聚焦调整；
[0036]PC端4：同时与CCD相机6以及样品台的升降组件连接，控制样品台的动作以及根据CCD相机拍摄的图片计算得到样品上表面和物镜的距离；
[0037]镜头5：设置本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种防撞观测装置，其特征在于，所述装置包括样品仓、样品台、升降组件、物镜、观测相机、PC端和CCD组件；所述升降组件设置在所述样品仓内，所述样品台固定设置在所述升降组件上；所述物镜设于所述样品仓的顶部，且其观测端正对所述样品台；所述观测相机与所述物镜可观测式光连接；所述CCD组件设置在所述样品仓的外部侧壁上，且其图像采集端正对所述样品台和所述物镜之间的间隙；所述升降组件、所述观测相机、所述CCD组件均与所述PC端连接。2.根据权利要求1所述的防撞观测装置，其特征在于，所述样品仓的侧壁上开设有观察口；所述CCD组件的观测端正对所述观察口，并与所述样品仓的侧壁固定连接。3.根据权利要求1所述的防撞观测装置，其特征在于，所述CCD组件包括镜头、CCD相机、CCD固定盖、CCD视窗盖和CCD视窗；所述CCD固定盖为内空结构；所述镜头和所述CCD相机轴向连接，并设置在CCD固定盖内；所述CCD视窗设置在所述CCD固定盖的镜头端；所述CCD视窗盖围设在所述CCD固定盖镜头端的外周，并与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：薛敬宇，华四伟，张子豪，何伟，郝荣帅，刁铭，李静逸，
申请(专利权)人：纳克微束北京有限公司，
类型：新型
国别省市：