一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备制造技术

技术编号:39359114 阅读:12 留言:0更新日期:2023-11-18 11:04
本实用新型专利技术提供了一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备,涉及硅片制造领域,包括:粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接,晶棒的轴线方向与粘料板的长度方向平行,粘料板两个相对的长边的侧壁,分别设置有定位凹槽;粘料板两个相对的长边的侧壁与粘料板的第一表面相邻;定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行。本实用新型专利技术可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时,准确判断切割金刚线已完全切断晶棒,切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观,大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外,在切割金刚线移动至处于所述定位凹槽中的位置时,切割金刚线距离晶托还有一定的安全距离,从而也对晶托起到了保护。托起到了保护。托起到了保护。

【技术实现步骤摘要】
一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备


[0001]本申请涉及硅片制造领域,特别是涉及一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备。

技术介绍

[0002]在光伏硅片制造过程中,需要采用切割设备对晶棒进行切割。
[0003]目前,可以采用粘料板对晶棒进行粘接,并采用晶托承载粘料板和晶棒,通过金刚线的切割,达到对晶棒的切割目的。
[0004]现有技术至少存在以下问题:对晶棒的切割需要将晶棒完全切断,目前方案通过经验观察晶棒是否完全切断,由于目视观测的不准确性,导致经常出现晶棒未完全切断,或过度切割使得金刚线切割至晶托造成损坏。

技术实现思路

[0005]本技术提供一种晶棒的粘料板及晶棒切割设备,以解决现有技术中通过经验观测晶棒是否完全切断存在的不准确性的问题。
[0006]为了解决上述问题,本技术是这样实现的:
[0007]第一方面,本技术实施例提供了一种晶棒的粘料板,所述粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接,所述晶棒的轴线方向与所述粘料板的长度方向平行,所述粘料板两个相对的长边的侧壁,分别设置有定位凹槽;所述粘料板两个相对的长边的侧壁与所述粘料板的第一表面相邻;所述长边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的长边的侧壁的一端至另一端贯穿;所述长边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述长边的侧壁的方向;
[0008]所述定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的长边方向平行。
[0009]可选的,所述定位凹槽的槽深为2

4mm,槽宽为2

4mm。
[0010]可选的,在所述粘料板的长边的侧壁中,所述定位凹槽设置在与所述长边方向平行的中线位置处。
[0011]可选的,在所述粘料板两个相对的短边的侧壁,分别设置有定位凹槽;所述短边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的短边的侧壁的一端至另一端贯穿;所述短边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述短边的侧壁的方向,所述短边的侧壁上的定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的短边方向平行。
[0012]可选的,所述粘料板为一体结构。
[0013]可选的,所述粘料板包括:第一分部和第二分部,所述第二分部的一面为凸起的连接部;
[0014]所述第二分部通过所述连接部与所述第一分部可拆卸连接;
[0015]所述第二分部背离所述连接部的一面用于与晶棒的侧面粘接连接。
[0016]可选的,所述粘料板的厚度为10mm。
[0017]第二方面,本技术实施例提供了一种晶棒切割设备,包括:
[0018]包括所述的晶棒的粘料板,晶托和切割金刚线;
[0019]所述晶托的一面与所述粘料板的第二表面粘接连接,所述切割金刚线垂直于所述晶棒的长度方向设置,所述粘料板的第二表面与所述粘料板的第一表面相对。
[0020]在本技术实施例中,通过在粘料板两个相对的长边的侧壁,分别设置有贯穿的定位凹槽,定位凹槽的延伸方向与沿粘料板的长边方向平行,从而在切割金刚线切割晶棒的过程中,使得定位凹槽起到完全切断参考线的作用,这样可以在观测到切割金刚线移动至处于定位凹槽中的位置时,准确判断切割金刚线已完全切断晶棒,切割金刚线与定位凹槽的重叠判断清晰且直观,大大提升了切割金刚线是否完全切断晶棒的判断准确性。另外,在切割金刚线移动至处于所述定位凹槽中的位置时,切割金刚线距离晶托还有一定的安全距离,从而也对晶托起到了保护,避免切割金刚线过度切割至晶托对其造成损坏。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案,下面将对本技术实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动性的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0022]图1为本技术实施例所述的一种晶棒的粘料板的主视图;
[0023]图2为本技术实施例所述的一种晶棒和粘料板的装配示意图;
[0024]图3为本技术实施例所述的一种晶棒切割过程的示意图;
[0025]图4为本技术实施例所述的另一种晶棒切割过程的示意图;
[0026]图5为本技术实施例所述的另一种晶棒切割过程的示意图;
[0027]图6为本技术实施例所述的一种粘料板的左视图;
[0028]图7为本技术实施例所述的一种粘料板的俯视图;
[0029]图8为本技术实施例所述的另一种粘料板的主视图。
具体实施方式
[0030]下面将参照附图更详细地描述本技术的示例性实施例。虽然附图中显示了本技术的示例性实施例,然而应当理解的是,还可以以各种形式实现本技术而不应被这里阐述的实施例所限制。相反,提供这些实施例是为了能够更透彻地理解本技术,并且能够将本技术的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0031]参照图1,本技术实施例提供了一种晶棒的粘料板的主视图,粘料板10的第一表面a用于与晶棒(图1中未绘出)的侧面粘接连接,粘料板10两个相对的长边的侧壁b,分别设置有定位凹槽11;进一步参照图2,本技术实施例提供了一种晶棒和粘料板的装配示意图,粘料板10两个相对的长边的侧壁b与粘料板10的第一表面a相邻;长边的侧壁b上的定位凹槽11从粘料板10的长边的侧壁b的一端至另一端贯穿;长边的侧壁b上的定位凹槽11的开口朝向远离长边的侧壁b的方向。在晶棒20和粘料板10装配后(晶托未绘出),晶棒20的轴线方向与粘料板10的长度方向平行,切割晶棒20时,可以采用与晶棒20的轴线方向垂直的切割金刚线30,从晶棒20背离粘料板10的一面开始进行切割,直至将晶棒20完全切透。
[0032]参照图3,本技术实施例提供了一种晶棒切割过程的示意图,在进行晶棒20的
切割时,晶托40的第一表面粘接粘料板10,粘料板10的第一表面a粘接晶棒20,晶托40挂载晶棒20并将其沿x方向压向切割金刚线30,切割金刚线30从晶棒20背离粘料板10的一面开始进行切割,由于切割金刚线30具有一定的柔韧性,则在切割过程中收到晶棒20沿x方向施加的作用力,切割金刚线30会沿x方向弯曲呈弧形线,这就使得人工对切割金刚线30是否完全切断晶棒20的判断具有一定的识别难度。
[0033]参照图4,本技术实施例提供了另一种晶棒切割过程的示意图,在该情况下,人工观测到切割金刚线30的两端超过晶棒20的与粘料板10接触的一面,此时人工通过经验易判断切割金刚线30完全切断晶棒20,但是,由于切割过程中切割金刚线30弯曲呈弧形线,则图4的实际情况中,虽然切割金刚线30的两端超过与晶棒20与粘料板10接触的一面,但实际切割金刚线30并未完全切断晶棒20,此时人工判断为误判。
[0034]因此,为了解决人工误判的问题,本技术实施例在粘料板10两个相对的长边的侧壁,分别设置有贯穿的定位凹槽11,定位凹槽11的延伸方向与沿粘料板10的长边方向平行本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶棒的粘料板,所述粘料板的第一表面用于与晶棒的侧面粘接连接,所述晶棒的轴线方向与所述粘料板的长度方向平行,其特征在于,所述粘料板两个相对的长边的侧壁,分别设置有定位凹槽;所述粘料板两个相对的长边的侧壁与所述粘料板的第一表面相邻;所述长边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的长边的侧壁的一端至另一端贯穿;所述长边的侧壁上的定位凹槽的开口朝向远离所述长边的侧壁的方向;所述定位凹槽的延伸方向与沿所述粘料板的长边方向平行。2.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板,其特征在于,所述定位凹槽的槽深为2

4mm,槽宽为2

4mm。3.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板,其特征在于,在所述粘料板的长边的侧壁中,所述定位凹槽设置在与所述长边方向平行的中线位置处。4.根据权利要求1所述的晶棒的粘料板,其特征在于,在所述粘料板两个相对的短边的侧壁,分别设置有定位凹槽;所述短边的侧壁上的定位凹槽从所述粘料板的短...

【专利技术属性】
技术研发人员:陈斌刘鹏
申请(专利权)人:鄂尔多斯市隆基硅材料有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1