本实用新型专利技术属于晶圆搬运技术领域，公开了一种搬运机械手及晶圆传送装置。搬运机械手用于晶圆搬运，其包括真空手指、定位块以及限位件。真空手指具有用于与机械臂连接的第一端和与第一端相对的第二端，第一端和第二端之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块固定于第二端；限位件通过固定件可拆卸连接于任一限位区域内，以与定位块之间形成供晶圆放置的空间，且限位件与定位块的相对侧面分别与晶圆的两侧贴合。通过该搬运机械手能够适配不同尺寸的晶圆，使得该晶圆传送装置能够对多种不同尺寸的晶圆进行传输，而且无需对机械手进行更换，也就不需要对机械手进行重新校对，使得晶圆整体的传输流程更为简单，有利于提高晶圆的传送效率。效率。效率。
【技术实现步骤摘要】
搬运机械手及晶圆传送装置
[0001]本技术涉及晶圆搬运
，尤其涉及一种搬运机械手及晶圆传送装置。
技术介绍
[0002]晶圆作为半导体设备的重要构成之一，其在生产过程中涉及到在不同工艺腔室内的传输，传输设备往往都是通过工业机器人来实现，以尽可能地避免对晶圆造成损伤。
[0003]现有技术中，工业机器人包括机械手指，机械手包括手指和设置手指上的定位块，手指采用真空手指以吸附晶圆，定位块则设置在晶圆外围以限制晶圆的位置。在晶圆固定在机械手指后，就利用机械臂的移动来带动机械手指移动，从而实现晶圆的转运。
[0004]但是上述机械手指中的定位块并不能根据晶圆尺寸的改变而进行调整，导致该机械手不能适配不同规格的晶圆，当需要对不同尺寸的晶圆进行搬运输送时，就需要更换机械手，还需要对机械手进行重新校准，导致晶圆的输送过程操作复杂，效率低下。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种搬运机械手及晶圆传送装置，解决了现有技术中机械手难以适配不同尺寸的晶圆，导致不同尺寸晶圆在搬运过程中需要更换不同的机械手并重新进行校准，致使晶圆的输送过程操作复杂，效率低下的问题。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]第一方面，本技术提供一种搬运机械手，用于晶圆搬运，其包括真空手指、定位块以及限位件。所述真空手指具有用于与机械臂连接的第一端和与所述第一端相对的第二端，所述第一端和所述第二端之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块固定于所述第二端；限位件通过固定件可拆卸连接于任一所述限位区域内，以与所述定位块之间形成供所述晶圆放置的空间，且所述限位件与所述定位块的相对侧面分别与所述晶圆的两侧贴合。
[0008]可选地，所述固定件包括穿设于所述限位件的固定螺钉，所述限位区域内设有与所述固定螺钉螺纹连接的螺纹孔。
[0009]可选地，所述螺纹孔和所述固定螺钉均设置两个且一一对应，两个所述固定螺钉分别位于限位件的相对两侧。
[0010]可选地，所述限位件开设有供所述固定螺钉穿过的腰型孔，所述腰型孔的孔壁与所述固定螺钉之间形成调节间隙。
[0011]可选地，所述限位件包括与所述定位块相对设置的条形限位块。
[0012]可选地，所述限位件还包括延长块，所述延长块设置于所述条形限位块的端面并伸出所述真空手指。
[0013]可选地，所述条形限位块朝向所述晶圆的一侧设有与所述晶圆贴合的限位弧面。
[0014]可选地，所述搬运机械手还包括：微弧氧化层，设置于所述真空手指的表面。
[0015]可选地，所述真空手指采用钛合金制成。
[0016]第二方面，本技术提供一种晶圆传送装置，其包括：机械臂；以及如第一方面中任一项所述搬运机械手，设置于所述机械臂的执行端。
[0017]本技术的有益效果：
[0018]第一方面，通过在不同限位区域内利用固定件安装限位件，以根据晶圆的尺寸对应调整限位件相对于定位块的距离，从而改变放置晶圆的空间的大小。以此该搬运机械手在使用时，就可以根据晶圆尺寸对应调整限位件的位置，从而在真空手指上形成能够适配对应尺寸晶圆的空间，并通过真空手指吸附固定，以使得该搬运机械手能够适配不同尺寸的晶圆。
[0019]第二方面，通过该搬运机械手能够适配不同尺寸的晶圆，使得该晶圆传送装置能够对多种不同尺寸的晶圆进行传输，而且无需对机械手进行更换，也就不需要对机械手进行重新校对，使得晶圆整体的传输流程更为简单，有利于提高晶圆的传送效率。
附图说明
[0020]图1是本技术一些实施例中搬运机械手的结构示意图；
[0021]图2是本技术一些实施例中搬运机械手的部分结构放大图。
[0022]图中：
[0023]1、真空手指；11、第一端；12、第二端；13、连接臂；14、螺纹孔；2、定位块；3、限位件；31、条形限位块；32、腰型孔；33、延长块；4、晶圆；5、固定件。
具体实施方式
[0024]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0025]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0027]在本实施例的描述中，术语“上”、“下”、“右”、等方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述和简化操作，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅仅用于在描述上加以区分，并没有特殊的含义。
[0028]本技术提供一种搬运机械手，用于不同尺寸的晶圆搬运。
[0029]参照图1和图2，该搬运机械手包括真空手指1、定位块2以及限位件3。真空手指1具有用于与机械臂连接的第一端11和与第一端11相对的第二端12，第一端11和第二端12之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块2固定于第二端12；限位件3通过固定件5可拆卸连接于任一限位区域内，以与定位块2之间形成供晶圆4放置的空间，且限位件3与定位块2的相对侧面分别与晶圆4的两侧贴合。
[0030]具体地，真空手指1呈薄板状，并配合真空抽气设备吸附晶圆4。真空手指1整体采用钛合金制成，使得其具备较高强度，耐冲击且不易损坏。同时钛合金还具备一定的记忆能力，在碰撞变形后更容易恢复原状，而且钛合金的可塑性较高，整形去应力后能够保持较好的稳定性。钛合金的密度也比较适合进行加工形成不同的形状，以适配晶圆4的不同外形，从而也就能够适配多种晶圆4的承载和传输。钛合金还具备就好的耐温性能，能够适应高温工艺，钛合金的成分稳定，不易引入污染源，且其耐腐蚀性较好，能够适用于可能造成腐蚀的工艺流程。
[0031]真空手指1整体呈长条形，其前后两端作为第一端11和第二端12，真空手指1呈长条形，其第一端11通过螺栓等紧固件连接有连接臂1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.搬运机械手，用于晶圆(4)搬运，其特征在于，所述搬运机械手包括：真空手指(1)，所述真空手指(1)具有用于与机械臂连接的第一端(11)和与所述第一端(11)相对的第二端(12)，所述第一端(11)和所述第二端(12)之间依次间隔分布有多个限位区域；定位块(2)，固定于所述第二端(12)；以及限位件(3)，通过固定件(5)可拆卸连接于任一所述限位区域内，以与所述定位块(2)之间形成供所述晶圆(4)放置的空间，且所述限位件(3)与所述定位块(2)的相对侧面分别与所述晶圆(4)的两侧贴合。2.根据权利要求1所述的搬运机械手，其特征在于，所述固定件(5)包括穿设于所述限位件(3)的固定螺钉，所述限位区域内设有与所述固定螺钉螺纹连接的螺纹孔(14)。3.根据权利要求2所述的搬运机械手，其特征在于，所述螺纹孔(14)和所述固定螺钉均设置两个且一一对应，两个所述固定螺钉分别位于限位件(3)的相对两侧。4.根据权利要求2所述的搬运机械手，其特征在于，所述限位件(3)开设...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴建波，朱磊，孙光明，
申请(专利权)人：无锡邑文微电子科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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