一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，属于半导体技术领域，其包括喷嘴外壳，所述喷嘴外壳的正面开设有若干个安装孔，且若干个安装孔内壁的正面均开设有喷淋孔，且若干个安装孔内均设置有清洁组件，所述喷嘴外壳开设有安装槽。该单片式晶圆清洗用喷嘴组件，通过设置清洁组件和喷淋孔，使得该喷嘴组件可以通过清洁扇叶对清洗液中的各个成分进行二次混合，避免排放的液体因混合效果差而影响药液对晶圆对药液的清洗效果，提高了对晶圆的清洁效果，同时随着清洁扇叶的转动，使得清洁板可以同步对喷嘴进行清洁，避免因长时间的使用而导致安装孔的喷嘴处出现堵塞的情况，进而保障了该喷嘴组件的使用寿命。而保障了该喷嘴组件的使用寿命。而保障了该喷嘴组件的使用寿命。

【技术实现步骤摘要】
一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件


[0001]本技术属于半导体
，具体为一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件。

技术介绍

[0002]在单片式清洗机对晶圆进行清洗加工的过程中，普遍通过安装在摆臂机构上的喷嘴喷出药液对晶圆进行清洗，摆臂机构由电机驱动转动，目前清洗装置功能较为单一，且对药液的破碎效果差，导致药液对晶圆的清洗效果差，洁净程度低，且现有喷嘴难以实现对喷嘴自身的清洁，导致在长时间使用后容易导致喷嘴内部堵塞，影响喷嘴的使用寿命。

技术实现思路

[0003]为了克服上述缺陷，本技术提供了一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，解决了现有清洗装置功能较为单一，且对药液的破碎效果差，导致药液对晶圆的清洗效果差，洁净程度低，且现有喷嘴难以实现对喷嘴自身的清洁，导致在长时间使用后容易导致喷嘴内部堵塞，影响喷嘴使用寿命的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，包括喷嘴外壳，所述喷嘴外壳的正面开设有若干个安装孔，且若干个安装孔内壁的正面均开设有喷淋孔，且若干个安装孔内均设置有清洁组件，所述喷嘴外壳开设有安装槽，所述安装槽内壁的正面和内壁的背面均卡接有两个第二轴承，且位于上方两个第二轴承和位于下方两个第二轴承均套接有第二转轴。
[0005]作为本技术的进一步方案：所述清洁组件包括安装架，所述安装架固定连接在安装孔内，所述安装架内固定连接有第一轴承，所述第一轴承内套接有第一转轴，所述第一转轴外固定连接有清洁扇叶，所述清洁扇叶与安装孔的内壁搭接。
[0006]作为本技术的进一步方案：所述第一转轴外固定连接有若干个清洁板，所述清洁板设置在安装孔外固定的喷嘴外，所述清洁扇叶的数量为若干个，且若干个清洁扇叶均采用斜面设置。
[0007]作为本技术的进一步方案：所述第二转轴外固定连接有夹板，所述夹板卡接在安装槽内，位于一侧的夹板的正面固定连接有弹性伸缩杆，所述弹性伸缩杆的另一端固定连接有定位杆。
[0008]作为本技术的进一步方案：所述定位杆卡接在另一个夹板表面开设的插孔内，所述插孔的数量为两个，且两个插孔分别开设在两个夹板的正面。
[0009]作为本技术的进一步方案：所述喷嘴外壳的背面固定连接有限位卡块，所述限位卡块的上方和下方均采用斜面设置，所述喷嘴外壳通过喷淋孔与限位卡块相连通。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果在于：
[0011]1、该单片式晶圆清洗用喷嘴组件，通过设置清洁组件和喷淋孔，避免排放的液体因混合效果差而影响药液对晶圆对药液的清洗效果，提高了对晶圆的清洁效果，同时随着清洁扇叶的转动，使得清洁板可以同步对喷嘴进行清洁，避免因长时间的使用而导致安装
孔的喷嘴处出现堵塞的情况，进而保障了该喷嘴组件的使用寿命。
[0012]2、该单片式晶圆清洗用喷嘴组件，通过设置夹板和限位卡块，该喷嘴组件在使用的过程中可以通过限位卡块进行初步固定，并通过夹板进行二次加固，从而实现将该喷嘴组件完全固定，避免该喷嘴组件出现横向或其他方位的偏移，保障了该喷嘴组件与出液处连接的稳定性。
[0013]3、该单片式晶圆清洗用喷嘴组件，通过设置弹性伸缩杆，使得在通过定位杆对两个夹板进行固定后，弹性伸缩杆则会通过自身的弹力拉扯定位杆，从而保障定位杆可以稳定的卡接在另一侧夹板表面开设的插孔内，避免夹板出现松动脱落的情况。
附图说明
[0014]图1为本技术立体的结构示意图；
[0015]图2为本技术喷嘴外壳立体的剖面结构示意图；
[0016]图3为本技术清洁组件立体的结构示意图；
[0017]图4为本技术夹板立体的结构示意图；
[0018]图中：1、喷嘴外壳；2、安装孔；3、喷淋孔；4、清洁组件；41、安装架；42、第一轴承；43、第一转轴；44、清洁扇叶；45、清洁板；5、安装槽；6、第二轴承；7、第二转轴；8、夹板；9、弹性伸缩杆；10、定位杆；11、插孔；12、限位卡块。
具体实施方式
[0019]下面结合具体实施方式对本专利的技术方案作进一步详细地说明。
[0020]如图1
‑
4示，本技术提供一种技术方案：一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，包括喷嘴外壳1，喷嘴外壳1的正面开设有若干个安装孔2，且若干个安装孔2内壁的正面均开设有喷淋孔3，且若干个安装孔2内均设置有清洁组件4，喷嘴外壳1开设有安装槽5，安装槽5内壁的正面和内壁的背面均卡接有两个第二轴承6，且位于上方两个第二轴承6和位于下方两个第二轴承6均套接有第二转轴7，因设置有安装槽5，使得在通过夹板8对外置接口进行固定时，需保障外置接口的位置和形状与安装槽5的形状相对应，从而保障夹板8对该喷嘴组件以及出水处连接的稳定性，避免出现松动脱落的情况。
[0021]清洁组件4包括安装架41，安装架41固定连接在安装孔2内，安装架41内固定连接有第一轴承42，第一轴承42内套接有第一转轴43，第一转轴43外固定连接有清洁扇叶44，清洁扇叶44与安装孔2的内壁搭接，第一转轴43外固定连接有若干个清洁板45，清洁板45设置在安装孔2外固定的喷嘴外，清洁扇叶44的数量为若干个，且若干个清洁扇叶44均采用斜面设置；
[0022]因设置有清洁组件4和喷淋孔3，使得该喷嘴组件可以通过清洁扇叶44对清洗液中的各个成分进行二次混合，避免排放的液体因混合效果差而影响药液对晶圆对药液的清洗效果，提高了对晶圆的清洁效果，同时随着清洁扇叶44的转动，使得清洁板45可以同步对喷嘴进行清洁，避免因长时间的使用而导致安装孔2的喷嘴处出现堵塞的情况，进而保障了该喷嘴组件的使用寿命。
[0023]第二转轴7外固定连接有夹板8，夹板8卡接在安装槽5内，位于一侧的夹板8的正面固定连接有弹性伸缩杆9，弹性伸缩杆9的另一端固定连接有定位杆10，因设置有弹性伸缩
杆9，使得在通过定位杆10对两个夹板8进行固定后，弹性伸缩杆9则会通过自身的弹力拉扯定位杆10，从而保障定位杆10可以稳定的卡接在另一侧夹板8表面开设的插孔11内，避免夹板8出现松动脱落的情况。
[0024]定位杆10卡接在另一个夹板8表面开设的插孔11内，插孔11的数量为两个，且两个插孔11分别开设在两个夹板8的正面，喷嘴外壳1的背面固定连接有限位卡块12，限位卡块12的上方和下方均采用斜面设置，喷嘴外壳1通过喷淋孔3与限位卡块12相连通；
[0025]因设置有夹板8和限位卡块12，使得该喷嘴组件在使用的过程中可以通过限位卡块12进行初步固定，并通过夹板8进行二次加固，从而实现将该喷嘴组件完全固定，避免该喷嘴组件出现横向或其他方位的偏移，保障了该喷嘴组件与出液处连接的稳定性。
[0026]本技术的工作原理为：
[0027]在使用该喷嘴组件时，只需将该喷嘴组件安装在指定的出液处，且在安装的过程中需通过限位卡块12辅助安装，在安装至出液处的限位槽内后则需要翻转两侧夹板8，使本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，包括喷嘴外壳(1)，其特征在于：所述喷嘴外壳(1)的正面开设有若干个安装孔(2)，且若干个安装孔(2)内壁的正面均开设有喷淋孔(3)，且若干个安装孔(2)内均设置有清洁组件(4)，所述喷嘴外壳(1)开设有安装槽(5)，所述安装槽(5)内壁的正面和内壁的背面均卡接有两个第二轴承(6)，且位于上方两个第二轴承(6)和位于下方两个第二轴承(6)均套接有第二转轴(7)。2.根据权利要求1所述的一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，其特征在于：所述清洁组件(4)包括安装架(41)，所述安装架(41)固定连接在安装孔(2)内，所述安装架(41)内固定连接有第一轴承(42)，所述第一轴承(42)内套接有第一转轴(43)，所述第一转轴(43)外固定连接有清洁扇叶(44)，所述清洁扇叶(44)与安装孔(2)的内壁搭接。3.根据权利要求2所述的一种单片式晶圆清洗用喷嘴组件，其特征在于：所述第一转轴(43)外固定连接有若干个清洁...

【专利技术属性】
技术研发人员：全金花，
申请(专利权)人：无锡亚迈微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：