一种用于氮化镓半导体器件筛选装置及其使用方法制造方法及图纸

本申请提供了一种用于氮化镓半导体器件筛选装置及其使用方法，属于氮化镓半导体器件技术领域，包括支撑座，述支撑座的上方固定设置有外壳，所述外壳上等距开设有移动槽，所述外壳上各处移动槽由左至右宽度递增，所述移动槽的内部放置有轨道板，所述轨道板的上方安装有第一导向板，所述第一导向板的前端设置有第二导向板，所述外壳上固定设置有连接台，所述连接台的上方相对设置有第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和第二连接板之间固定连接有储存盒，所述储存盒的内部固定安装有电动推杆。本申请能够在对反面朝上的半导体器件进行翻面时防止半导体器件脱落，能够在翻面后自动调节输送的位置。动调节输送的位置。动调节输送的位置。

【技术实现步骤摘要】
一种用于氮化镓半导体器件筛选装置及其使用方法


[0001]本专利技术涉及氮化镓半导体器件
，具体为一种用于氮化镓半导体器件筛选装置及其使用方法。

技术介绍

[0002]氮化镓（GaN）是一种III
‑
V族化合物半导体材料，具有优异的电子和光学性能，以及高热稳定性和较大的带隙宽度。基于氮化镓材料制备的半导体器件在电力电子、射频电子、光电子等领域具有广泛的应用前景。在半导体器件生产过程中需要使用筛选装置，现有的筛选装置在使用时还存在一些不足之处。
[0003]例如公开号CN114130714A公开的半导体器件自动筛选装置及其使用方法，半导体器件自动筛选装置及其使用方法可以实现对半导体器件的自动检测、分拣，检测速度快、效率高、正确率高、最主要是在提升了生产效率的同时解放了人力，降低了人力成本。上述装置虽然能够降低人力成本，但在实际使用时，不能够对不同宽度和不同长度的半导体器件进行自动分类和自动输送，并且现有的半导体器件筛选装置，不能够在对反面朝上的半导体器件进行翻面时防止半导体器件脱落，不能够在翻面后自动调节输送的位置。

技术实现思路

[0004]鉴于现有半导体器件筛选装置中存在的问题，提出了本专利技术。
[0005]为解决上述技术问题，本专利技术提供了如下技术方案：一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，包括支撑座，述支撑座的上方固定设置有外壳，所述外壳上等距开设有移动槽，所述外壳上各处移动槽由左至右宽度递增，所述移动槽的内部放置有轨道板，所述轨道板的上方安装有第一导向板，所述第一导向板的前端设置有第二导向板，所述外壳上固定设置有连接台，所述连接台的上方相对设置有第一连接板和第二连接板，所述第一连接板和第二连接板之间固定连接有储存盒，所述储存盒的内部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的左侧连接有固定板，所述储存盒的内壁上固定设置有橡胶板，所述储存盒的下方安装有驱动组件，所述驱动组件上安装有导向筒，所述导向筒的底部固定连接有推板，所述储存盒上安装有出料组件；所述连接台的内部安装有工业相机，所述连接台的前端安装有镜面传感器，所述连接台上固定连接有前置板，所述前置板的内部固定设置有第二电机，所述第二电机的输出轴上固定连接有转板，所述转板的上方固定设置有反射镜；所述转板上安装有防脱组件，所述前置板的前端安装有第一输送带，所述第一输送带上安装有转辊，所述转辊上安装有拨动组件，所述第一输送带的下方设置有调节组件，所述轨道板上轴承安装有第三螺杆，所述第三螺杆的中间螺纹安装有凸板，所述凸板和所述外壳之间为固定连接。
[0006]作为本专利技术的一种优先方案，所述驱动组件包括固定安装于所述第一连接板上的第一电机，所述第一电机的输出轴上固定连接有第一螺杆，所述第一螺杆与所述第一连接
板和第二连接板之间均为转动连接，所述第一螺杆与导向筒之间为螺纹连接，所述导向筒内贯穿设置有导向杆，所述推板对称分布于导向筒的左右两侧。
[0007]作为本专利技术的一种优先方案，所述橡胶板对称分布于所述储存盒内部的前后两侧，所述第一连接板、第二连接板、储存盒和橡胶板为一个整体。
[0008]作为本专利技术的一种优先方案，所述出料组件包括开设于储存盒上的开口，所述开口的内部滑动安装有内板，所述内板的左侧固定连接有衔接杆，所述衔接杆通过第一弹簧与所述第二连接板相连。
[0009]作为本专利技术的一种优先方案，所述前置板上转动安装有滚珠，所述滚珠在前置板上均匀分布。
[0010]作为本专利技术的一种优先方案，所述拨动组件包括固定安装于所述转辊下方的拨杆，所述拨杆的下方固定连接有阻尼套，所述拨杆的内部螺纹安装有第二螺杆，所述拨杆上固定设置有固定块，所述固定块的右侧滑动安装有滑套，所述固定块的右侧固定设置有第二弹簧，所述第二弹簧的右端与所述滑套相连，所述滑套的下方固定设置有板簧。
[0011]作为本专利技术的一种优先方案，所述固定块、滑套、第二弹簧和板簧构成对阻尼套和第二螺杆的压紧结构，所述拨杆、阻尼套和第二螺杆的中轴线在同一条直线上。
[0012]作为本专利技术的一种优先方案，所述调节组件包括固定安装于前置板上的连接壳，所述连接壳由下至上依次安装有第一衔接板、第二衔接板和第三衔接板，所述第二衔接板和第三衔接板与所述连接壳之间均为滑动连接，所述第一衔接板与所述连接壳之间为固定连接，所述第二衔接板和第三衔接板上均固定设置有凸杆，所述第二衔接板和第三衔接板与连接壳之间均固定连接有第三弹簧，所述连接壳的内部等距安装有第二输送带，所述连接壳的前端安装有第三输送带，所述第二衔接板和第三衔接板的表面均固定设置有导向块，所述拨杆转动时拨动所述凸杆和第三衔接板向后移动。
[0013]作为本专利技术的一种优先方案，所述防脱组件包括限位滑动安装于所述转板内部的滑板，所述滑板和所述转板之间固定连接有第四弹簧，所述滑板的下方固定连接有磁杆，所述磁杆的下方吸附有磁块，所述磁杆和所述转板之间为滑动连接，所述磁块和所述前置板之间为固定连接。
[0014]一种用于氮化镓半导体器件筛选装置的使用方法，包括以下步骤：S1：支撑座用于对装置整体进行支撑，将氮化镓半导体器件并列放置于储存盒的内部，通过伸长电动推杆，使得氮化镓半导体器件被固定板向左侧推动，氮化镓半导体器件挤压橡胶板，使得氮化镓半导体器件能够逐次移动至下一组橡胶板之间，直到各个氮化镓半导体器件移动至储存盒的最左侧；S2：通过驱动组件驱动导向筒向左侧移动，使得导向筒作用于出料组件，使得出料组件被向左侧推动，氮化镓半导体器件落至导向筒的内部，驱动组件驱动导向筒向右移动，氮化镓半导体器件上半部分位于导向筒内，导向筒下半部分的前后两侧分别位于第二导向板和第一导向板之间，通过第三螺杆28调节轨道板的前后位置，改变第二导向板和第一导向板的间距，各组第二导向板和第一导向板的间距由左至右递增，不同尺寸的氮化镓半导体器件被输送至不同宽度以及不同第二导向板和第一导向板间距对应的移动槽中；S3：氮化镓半导体器件经过连接台时，连接台上的工业相机根据氮化镓半导体器件的边缘轮廓识别氮化镓半导体器件的正反面，氮化镓半导体器件反面朝上，氮化镓半导
体器件移动至反射镜上时，镜面传感器接收不到反光信号，此时，第二电机驱动转板在前置板上转动，转板转动时，防脱组件自动凸出，防止氮化镓半导体器件在翻面时从装置上脱离，氮化镓半导体器件正面朝上时，氮化镓半导体器件移动至第一输送带的表面；S4：第一输送带将氮化镓半导体器件输送至调节组件中，第一输送带在工作时转辊持续转动，转辊驱动拨动组件转动，拨动组件拨动调节组件的右侧，通过改变拨动组件的拨动位置，摆正后的氮化镓半导体器件从调节组件的不同位置向外推出。
[0015]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：1、通过设置的由左至右宽度递增的移动槽，配合可前后伸缩的轨道板和第一导向板，将各组第二导向板和第一导向板的间距调节至由左至右递增的状态，进而使得装置上的导向筒在向右侧移动时，相应尺寸的半导体器件能够自动掉落至相应位置的移动槽和轨道板内，实现对不同长度和宽度半导体器件自动输送和自动分类本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，包括支撑座（1），其特征在于：所述支撑座（1）的上方固定设置有外壳（2），所述外壳（2）上等距开设有移动槽（3），所述外壳（2）上各处移动槽（3）由左至右宽度递增，所述移动槽（3）的内部放置有轨道板（4），所述轨道板（4）的上方安装有第一导向板（30），所述第一导向板（30）的前端设置有第二导向板（31），所述外壳（2）上固定设置有连接台（5），所述连接台（5）的上方相对设置有第一连接板（6）和第二连接板（10），所述第一连接板（6）和第二连接板（10）之间固定连接有储存盒（11），所述储存盒（11）的内部固定安装有电动推杆（12），所述电动推杆（12）的左侧连接有固定板（13），所述储存盒（11）的内壁上固定设置有橡胶板（14），所述储存盒（11）的下方安装有驱动组件（7），所述驱动组件（7）上安装有导向筒（8），所述导向筒（8）的底部固定连接有推板（9），所述储存盒（11）上安装有出料组件（15）；所述连接台（5）的内部安装有工业相机（16），所述连接台（5）的前端安装有镜面传感器（17），所述连接台（5）上固定连接有前置板（18），所述前置板（18）的内部固定设置有第二电机（26），所述第二电机（26）的输出轴上固定连接有转板（20），所述转板（20）的上方固定设置有反射镜（19）；所述转板（20）上安装有防脱组件（27），所述前置板（18）的前端安装有第一输送带（22），所述第一输送带（22）上安装有转辊（23），所述转辊（23）上安装有拨动组件（24），所述第一输送带（22）的下方设置有调节组件（25），所述轨道板（4）上轴承安装有第三螺杆（28），所述第三螺杆（28）的中间螺纹安装有凸板（29），所述凸板（29）和所述外壳（2）之间为固定连接。2.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，其特征在于：所述驱动组件（7）包括固定安装于所述第一连接板（6）上的第一电机（701），所述第一电机（701）的输出轴上固定连接有第一螺杆（702），所述第一螺杆（702）与所述第一连接板（6）和第二连接板（10）之间均为转动连接，所述第一螺杆（702）与导向筒（8）之间为螺纹连接，所述导向筒（8）内贯穿设置有导向杆（703），所述推板（9）对称分布于导向筒（8）的左右两侧。3.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，其特征在于：所述橡胶板（14）对称分布于所述储存盒（11）内部的前后两侧，所述第一连接板（6）、第二连接板（10）、储存盒（11）和橡胶板（14）为一个整体。4.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，其特征在于：所述出料组件（15）包括开设于储存盒（11）上的开口（1501），所述开口（1501）的内部滑动安装有内板（1502），所述内板（1502）的左侧固定连接有衔接杆（1503），所述衔接杆（1503）通过第一弹簧（1504）与所述第二连接板（10）相连。5.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，其特征在于：所述前置板（18）上转动安装有滚珠（21），所述滚珠（21）在前置板（18）上均匀分布。6.根据权利要求1所述的一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，其特征在于：所述拨动组件（24）包括固定安装于所述转辊（23）下方的拨杆（2401），所述拨杆（2401）的下方固定连接有阻尼套（2402），所述拨杆（2401）的内部螺纹安装有第二螺杆（2403），所述拨杆（2401）上固定设置有固定块（2404），所述固定块（2404）的右侧滑动安装有滑套（2405），所述固定块（2404）的右侧固定设置有第二弹簧（2406），所述第二弹簧（2406）的右端与所述滑套（2405）相连，所述滑套（2405）的下方固定设置有板簧（2407）。
7.根据权利要求6所述的一种用于氮化镓半导体器件筛选装置，其特征在于：所述固定块（2404）、滑套（2405）、第二弹簧（2406...

【专利技术属性】
技术研发人员：周德金，徐宏，葛荣，
申请(专利权)人：清华大学无锡应用技术研究院，
类型：发明
国别省市：