一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统技术方案

本发明专利技术公开了一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统，涉及熔炼技术领域；通过采集设备的工作参数；根据工作参数获取状态指数；设定设备的状态标准区间；当状态指数不在状态标准区间内时，设定监测周期，并将监测周期内的工作参数的采集周期调整为原来采集周期的一半；根据新的采集周期获取工作参数，并根据工作参数获取对应的状态指数；当监测周期内未出现状态指数不在状态标准区间内时，将采集周期调整为原来的采集周期；当监测周期内出现状态指数不在状态标准区间内时，获取对应设备的编号，根据设备编号生成维护指令，并将维护指令发送至维护人员的智能终端，维护人员接收维护指令后对设备进行维修处理；提高了故障诊断定位解决的时效性。诊断定位解决的时效性。诊断定位解决的时效性。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统


[0001]本专利技术属于熔炼领域，涉及设备故障诊断技术，具体是一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统。

技术介绍

[0002]半导体立式熔接炉设计用于石英件，硅材料及元器件的熔接工艺，也可用于退火、焊接等工艺。
[0003]现有的半导体立式熔接炉通过温度采集装置调节炉内温度，通过温度数据反应半导体立式熔接炉是否正常进行工作。但温度仅是半导体立式熔接炉故障后表现出来的现象，导致温度异常的原因有很多，维护人员在检修时需要耗费大量的精力去排查故障原因。
[0004]为此，提出一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统。

技术实现思路

[0005]本专利技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本专利技术提出一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统，该一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法及系统解决了现有的半导体立式熔接炉出现故障，无法明确故障原因的问题。
[0006]为实现上述目的，根据本专利技术的第一方面的实施例提出一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法，包括以下步骤：
[0007]步骤一：采集半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数；其中，所述工作参数包括工作电压值、工作电流值以及工作温度值；
[0008]并将所述工作参数存储至数据库内；
[0009]步骤二：根据所述工作参数获取状态指数
[0010]步骤三：设定设备的状态标准区间；
[0011]步骤四：当所述状态指数不在所述状态标准区间内时，设定监测周期，并将监测周期内的工作参数的采集周期调整为原来采集周期的一半；
[0012]步骤五：根据新的采集周期获取工作参数，并根据所述工作参数获取对应的状态指数；
[0013]步骤六：当监测周期内未出现状态指数不在所述状态标准区间内时，将采集周期调整为原来的采集周期；
[0014]当监测周期内出现状态指数不在所述状态标准区间内时，获取对应设备的编号，根据设备编号生成维护指令，并将所述维护指令发送至维护人员的智能终端，维护人员接收所述维护指令后，根据获取的设备编号，查看数据库内对应设备的历史工作参数，并对设备进行维修处理。
[0015]优选的，通过周期性采集的方式获取工作参数；
[0016]将工作参数的采集周期标记为T，单位为s；其中，T为大于0的整数；
[0017]将采集周期的编号标记为n；其中，n的取值为1,2,3
……
N，N为总采集次数。
[0018]优选的，根据所述工作参数获取状态指数，包括以下步骤：
[0019]S21：将工作电压值、工作电流值以及工作温度值分别标记为U
jn
、I
jn
以及T
jn
；其中，j为设备的编号，j的取值为1,2,3
……
J，J为设备的总数量；
[0020]S22：根据所述工作参数获取状态指数，并将所述状态指数标记为ZT
jn
；
[0021]所述状态指数的计算公式为：
[0022][0023]其中，a和b均为大于0的实数，且a+b＝1；α、β以及γ分别为修正系数。
[0024]优选的，所述智能终端包括智能手机和电脑。
[0025]优选的，设定监测周期，包括以下步骤：
[0026]当所述状态指数不在所述状态标准区间内时，即设备当前的工作状态出现异常，将对应的采集时刻作为标准时刻；
[0027]将标准时刻后连续M个采集周期作为监测周期。
[0028]优选的，所述数据库用于存储半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数。
[0029]一种半导体立式熔接炉设备故障诊断系统，包括数据采集模块、故障分析模块以及数据库；
[0030]所述数据采集模块用于采集半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数；
[0031]将所述工作参数存储至数据库内，并将所述工作参数发送至所述故障分析模块；
[0032]所述故障分析模块用于根据所述工作参数获取状态指数；设定设备的状态标准区间；
[0033]当所述状态指数不在所述状态标准区间内时，设定监测周期，并将监测周期内的工作参数的采集周期调整为原来采集周期的一半；
[0034]根据新的采集周期获取工作参数，并根据所述工作参数获取对应的状态指数；
[0035]当监测周期内未出现状态指数不在所述状态标准区间内时，将采集周期调整为原来的采集周期；
[0036]当监测周期内出现状态指数不在所述状态标准区间内时，获取对应设备的编号，根据设备编号生成维护指令，并将所述维护指令发送至维护人员的智能终端，维护人员接收所述维护指令后，根据获取的设备编号，查看数据库内对应设备的历史工作参数，并对设备进行维修处理；
[0037]所述数据库用于存储半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数。
[0038]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0039]本专利技术采集半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数；并将工作参数存储至数据库内；根据工作参数获取状态指数；设定设备的状态标准区间；当状态指数不在状态标准区间内时，设定监测周期，并将监测周期内的工作参数的采集周期调整为原来采集周期的一半；根据新的采集周期获取工作参数，并根据工作参数获取对应的状态指数；当监测周期内未出现状态指数不在状态标准区间内时，将采集周期调整为原来的采集周期；当监测周期内出现状态指数不在状态标准区间内时，获取对应设备的编号，根据设备编号生成维护指令，并将维护指令发送至维护人员的智能终端，维护人员接收维护指令后，根据获取的设备
编号，查看数据库内对应设备的历史工作参数，并对设备进行维修处理；实现了将故障诊断定位至具体的设备中，大大提高了故障诊断定位解决的时效性。
附图说明
[0040]图1为本专利技术的流程图；
[0041]图2为本专利技术的原理图。
具体实施方式
[0042]下面将结合实施例对本专利技术的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0043]如图1所示，一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法，包括以下步骤：
[0044]步骤一：采集半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数；其中，所述工作参数包括工作电压值、工作电流值以及工作温度值；需要进一步说明的是，所述工作电压值通过电压表进行测定，且测定工作电压值时，设备处于工作状态；所述工作电流值通过电流表进行测定，且测定工作电流值时，设备处于工作状态；所述工作温度值通过温度传感器进行测定，且测定工作温度值时，设备处于工作状态；工作参数即为能够反映设备工作状态的参数，不仅仅局限于电压值、电流值以及温度值；
[0045]并将所述工作参数存储至数据库内；
[0046]本实施例中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：采集半导体立式熔接炉中各项设备的工作参数；其中，所述工作参数包括工作电压值、工作电流值以及工作温度值；并将所述工作参数存储至数据库内；步骤二：根据所述工作参数获取状态指数；步骤三：设定设备的状态标准区间；步骤四：当所述状态指数不在所述状态标准区间内时，设定监测周期，并将监测周期内的工作参数的采集周期调整为原来采集周期的一半；步骤五：根据新的采集周期获取工作参数，并根据所述工作参数获取对应的状态指数；步骤六：当监测周期内未出现状态指数不在所述状态标准区间内时，将采集周期调整为原来的采集周期；当监测周期内出现状态指数不在所述状态标准区间内时，获取对应设备的编号，根据设备编号生成维护指令，并将所述维护指令发送至维护人员的智能终端，维护人员接收所述维护指令后，根据获取的设备编号，查看数据库内对应设备的历史工作参数，并对设备进行维修处理。2.根据权利要求1所述的一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法，其特征在于，通过周期性采集的方式获取工作参数；将工作参数的采集周期标记为T，单位为s；其中，T为大于0的整数；将采集周期的编号标记为n；其中，n的取值为1,2,3
……
N，N为总采集次数。3.根据权利要求2所述的一种半导体立式熔接炉设备故障诊断方法，其特征在于，根据所述工作参数获取状态指数，包括以下步骤：S21：将工作电压值、工作电流值以及工作温度值分别标记为U
jn
、I
jn
以及T
jn
；其中，j为设备的编号，j的取值为1,2,3
……
J，J为设备的总数量；S22：根据所述工作参数获取状态指数，并将所述状态...

【专利技术属性】
技术研发人员：王峥，王磊，方松，
申请(专利权)人：合肥费舍罗智能装备有限公司，
类型：发明
国别省市：