石英管清洗设备制造技术

本申请属于清洗设备技术领域，具体涉及一种石英管清洗设备。本申请中的石英管清洗设备包括机体、安装座和至少一个供给管，安装座设于机体内，供给管包括第一管部和第二管部，第二管部与安装座相连，第一管部套设于第二管部的内部，第一管部能够在压力作用下沿第二管部的轴向方向运动，第一管部设有至少一个第一喷孔，且第一喷孔与第一管部的轴向方向成角度设置。根据本申请中的石英管清洗设备，能够有效地对石英管的内壁面进行清洗，同时使石英管的内壁面各位置的清洁度保持一致。内壁面各位置的清洁度保持一致。内壁面各位置的清洁度保持一致。

【技术实现步骤摘要】
石英管清洗设备


[0001]本申请属于清洗设备
，具体涉及一种石英管清洗设备。

技术介绍

[0002]石英管配合使用在扩散炉中，常用于半导体加工中对硅片进行高温扩散。石英管在长期的扩散工艺中会产生结垢，而扩散工艺对石英管洁净度的要求非常严格，不允许石英管的管壁有其他金属杂质或离子存在，石英管表面的洁净度直接影响了硅晶片的品质。

技术实现思路

[0003]本申请的目的是至少解决如何对石英管的内壁进行有效清理的问题。该目的是通过以下方式实现的：
[0004]本申请的第一方面提出了一种石英管清洗设备，所述石英管清洗设备包括：
[0005]机体；
[0006]安装座，所述安装座设于所述机体内；
[0007]至少一个供给管，所述供给管包括第一管部和第二管部，所述第二管部与所述安装座相连，所述第一管部套设于所述第二管部的内部，所述第一管部能够在压力作用下沿所述第二管部的轴向方向运动，所述第一管部设有至少一个第一喷孔，且所述第一喷孔与所述第一管部的轴向方向成角度设置。
附图说明
[0008]通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其它的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本申请的限制。而且在整个附图中，用相同的附图标记表示相同的部件。其中：
[0009]图1为本申请一实施方式中石英管清洗设备的部分结构示意图；
[0010]图2为图1中安装座与供给管部分结构示意图；
[0011]图3为图2中安装座与供给管的内部连接结构示意图；
[0012]图4为图3中第一管部套设于第二管部内部时的部分结构示意图；
[0013]附图中各标号表示如下：
[0014]100：石英管清洗设备；
[0015]10：机体；
[0016]20：安装座；
[0017]30：供给管、31：第一管部、32：第二管部、311：第一喷孔、312：第二喷孔；
[0018]40：支撑座；
[0019]200：石英管。
具体实施方式
[0020]下面将参照附图更详细地描述本申请的示例性实施方式。虽然附图中显示了本申请的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本申请而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本申请，并且能够将本申请的范围完整的传达给本领域的技术人员。
[0021]应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“所述”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”、“含有”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、步骤、操作、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、步骤、操作、元件、部件、和/或它们的组合。文中描述的方法步骤、过程、以及操作不解释为必须要求它们以所描述或说明的特定顺序执行，除非明确指出执行顺序。还应当理解，可以使用另外或者替代的步骤。
[0022]尽管可以在文中使用术语第一、第二、第三等来描述多个元件、部件、区域、层和/或部段，但是，这些元件、部件、区域、层和/或部段不应被这些术语所限制。这些术语可以仅用来将一个元件、部件、区域、层或部段与另一区域、层或部段区分开。除非上下文明确地指出，否则诸如“第一”、“第二”之类的术语以及其它数字术语在文中使用时并不暗示顺序或者次序。因此，以下讨论的第一元件、部件、区域、层或部段在不脱离示例实施方式的教导的情况下可以被称作第二元件、部件、区域、层或部段。
[0023]为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系，这些相对关系术语例如为“内部”、“外部”、“内侧”、“外侧”、“下面”、“下方”、“上面”、“上方”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中装置的不同方位。例如，如果在图中的装置翻转，那么描述为“在其它元件或者特征下面”或者“在其它元件或者特征下方”的元件将随后定向为“在其它元件或者特征上面”或者“在其它元件或者特征上方”。因此，示例术语“在
……
下方”可以包括在上和在下的方位。装置可以另外定向(旋转90度或者在其它方向)并且文中使用的空间相对关系描述符相应地进行解释。
[0024]结合图1、图2、图3和图4所示，本实施方式中的石英管清洗设备100为立式清洗设备，主要对用于扩散工艺中的石英管200进行清洗，当然也可以用于其他管件的清洗工作。其中，包括机体10、安装座20和至少一个供给管30。机体10为箱式结构，其内部设有用于放置安装座20和石英管200的空间，机体10内部设有用于收集清洗液的料槽。安装座20固定设于机体10的内部，用于固定安装待清洗的石英管200。供给管30包括第一管部31和第二管部32，第二管部32与安装座20相连，第一管部31套设于第二管部32的内部，第一管部31能够在压力作用下沿第二管部32的轴向方向运动，第一管部31设有至少一个第一喷孔311，且第一喷孔311与第一管部31的轴向方向成角度设置。
[0025]根据本申请中的石英管清洗设备100，通过在安装座20上设置供给管30，并在第一管部31上设置与第一管部31的轴向方向成角度设置的第一喷孔311，在对石英管200进行清洗时，将待清洗的石英管200套设于供给管30的外部，将清洗剂通入至供给管30内，第一管部31在清洗剂的压力作用下沿轴向方向向上运动，并带动第一喷孔311沿轴向方向向上运动，当第一喷孔311运动至第二管部32的外部时，清洗剂从第一喷孔311内喷出并对石英管
200的内壁面进行清洗，从而将粘结在石英管200内壁面上的杂质进行有效的清除，同时，第一喷孔311随第一管部31沿其轴向方向运动时其喷射压力基本保持不变，从而使石英管200的内壁面的各个位置受到同等压力的作用，其对石英管200的内壁面的各个位置的清洁效果也基本一致，进而使石英管200的内壁面各位置的清洁度保持一致，使石英管200的内壁面有效地得到均匀的清洗。
[0026]结合图2、图3和图4所示，本实施方式中的石英管清洗设备100还包括支撑座40，支撑座40设于安装座20上，供给管30穿设于支撑座40。支撑座40可以以螺纹连接的方式设于安装座20内，也可以通过密封件卡接于安装座20内，也可以通过轴承套转动的设于安装座20内，从而当需要更换不同直径尺寸的供液管30时，仅需更换具有相应开口尺寸的支撑座40和供液管30即可。
[0027]为了能够满足同时对石英管200的不同轴向高度位置进行清洗，本实施方式中的供给管30设有多个第一喷孔311，多个第一喷孔311沿供给管30的轴向方向间隔设置。其中，第一喷孔311可以为多种结构形式，优选的为圆孔，喷射面积大，能够最大限度的对石英管200的内壁进行清洗。
[0028]当清洗本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种石英管清洗设备，其特征在于，包括：机体；安装座，所述安装座设于所述机体内；至少一个供给管，所述供给管包括第一管部和第二管部，所述第二管部与所述安装座相连，所述第一管部套设于所述第二管部的内部，所述第一管部能够在压力作用下沿所述第二管部的轴向方向运动，所述第一管部设有至少一个第一喷孔，且所述第一喷孔与所述第一管部的轴向方向成角度设置。2.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述第一管部的直径尺寸沿所述第一管部的轴向方向由底部朝向顶部逐渐减小。3.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述第一管部的底部直径尺寸大于所述第二管部的顶部直径尺寸。4.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述第一管部和所述第二管部之间还设有可压缩的密封件。5.根据权利要求1所述的石英管清洗设备，其特征在于，所述至少一个第一喷...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴兴雨，李河圣，朱宁炳，李亭亭，贺晓彬，项金娟，王晓磊，蒋浩杰，
申请(专利权)人：真芯北京半导体有限责任公司，
类型：发明
国别省市：