半导体器件制造技术

一种半导体器件，其具有：包含第一部件和第二部件的多个导电部件；与所述多个导电部件的任一者导通的第一半导体元件；第二半导体元件，其与所述多个导电部件的任一者导通，并且被施加与施加于所述第一半导体元件的电压相互不同的电压；和密封树脂，其覆盖所述多个导电部件各自的一部分、所述第一半导体元件和所述第二半导体元件。施加于所述第二部件的电压与施加于所述第一部件的电压相互不同。在所述密封树脂中包含具有电绝缘性的填料。当在所述密封树脂中设定正方形截面，该正方形截面具有与所述多个导电部件之中的相邻的2个所述导电部件的最小间隔的2/3相等的一边的长度的情况下，在所述正方形截面中包含8个以上的、各自的粒径为所述最小间隔的1/8以上的所述填料的至少一部分。少一部分。少一部分。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】半导体器件


[0001]本专利技术涉及一种半导体器件，其搭载有被施加的电压相互不同的多个半导体元件。

技术介绍

[0002]在电动汽车(包含混合动力汽车)或者家用电器等中使用的逆变器装置中，使用了半导体器件。逆变器装置包括例如半导体器件和IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)或MOSFET(Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistor)等的开关元件。该半导体器件包括控制器和栅极驱动器。在该逆变器装置中，从外部输出的控制信号被输入该半导体器件的控制器中。控制器将控制信号转变为PWM(Pulse Width Modulation)控制信号，传送到栅极驱动器。栅极驱动器基于PWM控制信号，例如使6个开关元件按所希望的时序被驱动。由此，从直流电力生成电动机驱动用的三相交流电力。例如，在专利文献1中公开了利用于电动机驱动装置的半导体器件(驱动电路)的一例。
[0003]但是，存在对控制器供给的电源电压与对栅极驱动器供给的电源电压不同的情况。在这样的情况下，在将多个半导体元件搭载于1个封装内的半导体器件中，在去往控制器的导电路径与去往栅极驱动器的导电路径这2个导电路径之间，施加于各自的电源电压产生差异。因此，通过在去往控制器的导电路径与去往栅极驱动器的导电路径之间设置相当的间隔，在此基础上，在2个导电路径之间利用密封树脂填充，由此能够实现该半导体器件的绝缘耐压的提高。但是，对2个导电路径各自施加的电源电压的差异显著不同的情况下，需要实现进一步的绝缘耐压的提高。
[0004]现有技术文献
[0005]专利文献
[0006]专利文献1：日本特开2014
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30049号公报。

技术实现思路

[0007]专利技术要解决的问题
[0008]本专利技术鉴于上述的情况而完成，其问题之一在于，提供能够实现绝缘耐压的进一步提高的半导体器件。
[0009]用于解决问题的技术手段
[0010]依据本专利技术提供的半导体器件，其具有：包含第一部件和第二部件的多个导电部件；第一半导体元件，其与所述多个导电部件的任一者导通；第二半导体元件，其与所述多个导电部件的任一者导通，并且被施加与施加于所述第一半导体元件的电压相互不同的电压；和密封树脂，其覆盖所述多个导电部件的各自的一部分、所述第一半导体元件和所述第二半导体元件，施加于所述第二部件的电压与施加于所述第一部件的电压相互不同，在所述密封树脂中包含具有电绝缘性的填料，当在所述密封树脂中设定正方形截面，该正方形截面具有与所述多个导电部件中的相邻的2个所述导电部件的最小间隔的2/3相等的一边
的长度的情况下，在所述正方形截面中包含8个以上的、各自的粒径为所述最小间隔的1/8以上的所述填料的至少一部分。
[0011]专利技术效果
[0012]依据本专利技术的上述结构，在半导体器件中，能够实现绝缘耐压的进一步的提高。
[0013]本专利技术的其他的特征和优点，通过基于附图在以下进行的详细的说明能够更加明确。
附图说明
[0014]图1是本专利技术的第一实施方式的半导体器件的平面图。
[0015]图2是与图1对应的平面图，透视了密封树脂。
[0016]图3是图1所示的半导体器件的正面图。
[0017]图4是图1所示的半导体器件的左侧面图。
[0018]图5是图1所示的半导体器件的右侧面图。
[0019]图6是沿着图2的VI
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VI线的截面图。
[0020]图7是沿着图2的VII
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VII线的截面图。
[0021]图8是图2的部分放大图。
[0022]图9是沿着图8的IX
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IX线的截面图。
[0023]图10是图6的部分放大图。
[0024]图11是本专利技术的第二实施方式的半导体器件的平面图，透视了密封树脂。
[0025]图12是沿着图11的XII
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XII线的截面图。
具体实施方式
[0026]关于用于实施本专利技术的方式，基于附图进行说明。
[0027]基于图1～图10，关于本专利技术的第一实施方式的半导体器件A1进行说明。半导体器件A1具有第一半导体元件11、第二半导体元件12、绝缘元件13、多个导电部件20、多个第一导线41、多个第二导线42、多个第三导线43、多个第四导线44、多个第五导线45、多个第六导线46和密封树脂50。多个导电部件20包含第一部件21、第二部件22、多个第一端子31和多个第二端子32。半导体器件A1例如是表面安装在电动汽车或混合动力汽车等的逆变器装置的配线基板的部件。半导体器件A1的封装形式为SOP(Small Outline Package：小外形封装)。但是，半导体器件A1的封装形式不限于SOP。在此，图2为了便于理解，透视了密封树脂50。在图2中，将透视的密封树脂50用假想线(两点划线)表示。
[0028]在半导体器件A1的说明中，将第一半导体元件11和第二半导体元件12的各自的厚度方向称为“厚度方向z”。将相对于厚度方向z正交的方向称为“第一方向x”。将相对于厚度方向z和第一方向x的双方正交的方向称为“第二方向y”。
[0029]第一半导体元件11、第二半导体元件12和绝缘元件13是成为半导体器件A1的功能中枢的元件。在半导体器件A1中，第一半导体元件11、第二半导体元件12和绝缘元件13由各个元件构成。在第一方向x上，第二半导体元件12相对于绝缘元件13位于与第一半导体元件11相反侧。在厚度方向z上看，第一半导体元件11、第二半导体元件12和绝缘元件13是以第二方向y为长边的矩形形状。
[0030]第一半导体元件11是驱动IGBT或MOSFET等的开关元件的栅极驱动器的控制器(控制元件)。第一半导体元件11具有：将从ECU等输入的控制信号转变为PWM控制信号的电路；用于将该PWM控制信号向第二半导体元件12传送的发送电路；接收来自第二半导体元件12的电信号的接收电路。
[0031]第二半导体元件12是用于驱动开关元件的栅极驱动器(驱动元件)。第二半导体元件12具有：接收PWM控制信号的接收电路；用于基于该PWM控制信号驱动开关元件的电路；用于将电信号向第一半导体元件11传送的发送电路。该电信号例如能够举例来自配置在电动机附近的温度传感器的输出信号。
[0032]绝缘元件13是用于将PWM控制信号或其他的电信号以绝缘状态传送的元件。在半导体器件A1中，绝缘元件13为电感型。作为电感型的绝缘元件13的一例，能够举例绝缘型变压器。绝缘型变压器通过使2个电感器(线圈)感应耦合，来进行基于绝缘状态的电信号的传送。绝缘元件13具有由硅构成的基板。在该基板上形成有由铜(Cu)构成的电感器。该电感器包含发送侧电感器和接收侧电感器，这些电感器在厚度方向z上层叠。在发送侧电感器与接收侧电感器之间，插设有由二氧化硅(Si本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种半导体器件，其特征在于，具有：包含第一部件和第二部件的多个导电部件；第一半导体元件，其与所述多个导电部件的任一者导通；第二半导体元件，其与所述多个导电部件的任一者导通，并且被施加与施加于所述第一半导体元件的电压相互不同的电压；和密封树脂，其覆盖所述多个导电部件的各自的一部分、所述第一半导体元件和所述第二半导体元件，施加于所述第二部件的电压与施加于所述第一部件的电压相互不同，在所述密封树脂中包含具有电绝缘性的填料，当在所述密封树脂中设定正方形截面，该正方形截面具有与所述多个导电部件中的相邻的2个所述导电部件的最小间隔的2/3相等的一边的长度的情况下，在所述正方形截面中包含8个以上的各自的粒径为所述最小间隔的1/8以上的所述填料的至少一部分。2.如权利要求1所述的半导体器件，其特征在于：所述填料的粒径的最大值为所述最小间隔的1/2。3.如权利要求2所述的半导体器件，其特征在于：所述第一部件和所述第二部件，在相对于所述第一半导体元件和所述第二半导体元件的各自的厚度方向正交的第一方向上相互隔开距离地设置，所述第一半导体元件搭载在所述第一部件，所述第二半导体元件搭载在所述第二部件，所述第一部件与所述第二部件的间隔为所述最小间隔的1.0倍以上且3.0倍以下。4.如权利要求3所述的半导体器件，其特征在于：所述第一半导体元件与所述第一部件导通。5.如权利要求4所述的半导体器件，其特征在于：所述第二半导体元件与所述第二部件导通。6.如权利要求3～5中任一项所述的半导体器件，其特征在于：所述多个导电部件包括：位于所述第一方向的一方侧的多个第一端子；和位于所述第一方向的另一方侧的多个第二端子，所述第一半导体元件与所述多个第一端子导通，所述第二半导体元件与所述多个第二端子导通。7.如权利要求6所述的半...

【专利技术属性】
技术研发人员：梅野辽平，松原弘招，大角嘉藏，菊地登茂平，山口萌，
申请(专利权)人：罗姆股份有限公司，
类型：发明
国别省市：