本发明专利技术公开了一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，包括底座、竖板、伺服电机和第一转轴，所述底座的上方左右两侧均固定有竖板，且右侧的竖板外壁通过螺栓安装有伺服电机，并且伺服电机的输出端和第一转轴相连接，还包括：连接齿轮，其安装在所述第一转轴的外壁。该芯片加工用晶圆平整度研磨机，第一旋转杆和钢丝绳的一端相固定，且钢丝绳的另一端和安装块相固定，安装块的上方固定有夹板，而夹板的内表面设置有橡胶材质的抵紧块，同时钢丝绳的数量设置有多个，这样在旋转第一旋转杆时，会对钢丝绳进行收卷，从而带动安装块和夹板一起移动，通过夹板和抵紧块可以同时对多个晶圆进行限位操作，实现晶圆的批量限位，提高了对晶圆的加工进度。加工进度。加工进度。
【技术实现步骤摘要】
一种芯片加工用晶圆平整度研磨机
[0001]本专利技术涉及晶圆芯片加工
，具体为一种芯片加工用晶圆平整度研磨机。
技术介绍
[0002]晶圆芯片是指由晶圆棒加工成的芯片，晶圆棒经过研磨、抛光、切片后形成晶圆片，在市场上的应用较多，一般会用作电路板或半导体材料，所以在晶圆芯片生产过程中，需要对晶圆棒的表面平整度进行研磨，使后期加工时表面更加平整，因此研磨机的使用必不可少。
[0003]如公开号为CN218427643U，一种电子芯片加工用晶圆研磨机，包括第一侧板，所述第一侧板左侧固定安装有底座，所述底座底部活动安装有收集箱，所述底座左侧固定安装有第二侧板，所述第二侧板右侧外壁上开设有风孔，所述第一侧板和第二侧板之间固定安装有固定架，所述固定架外表面固定安装有研磨结构，所述风孔左侧固定安装有风管，所述收集箱顶部固定安装有吸尘机。该电子芯片加工用晶圆研磨机，通过设置研磨结构、吸尘机和收集箱，解决了现有的晶圆研磨机在使用的过程中，晶圆研磨稳定性差，容易造成晶圆在研磨的过程中出现偏斜，且研磨后的废料被留在晶圆槽附近，对后续研磨的精度造成一定的影响，从而影响后续产品质量的问题，但是上述申请中的研磨机在使用过程中还是存在一些不足之处，例如不方便对晶圆进行批量限位固定，一次只能放置一个晶圆，导致晶圆的加工进度慢，也降低了对研磨机使用时的灵活性；
[0004]再如公开号为CN212145959U，一种电子芯片加工用晶圆研磨装置，涉及广告投放
本技术包括底板，所述底板上表面中部固定连接有液压缸，液压缸的伸缩杆固定连接有放置架，放置架的内壁两侧均固定连接有弹簧槽，弹簧槽的内壁一侧固定连接有若干横向弹簧，横向弹簧一端固定连接有阻挡块，弹簧槽的上表面固定连接有若干竖向弹簧，竖向弹簧远离弹簧槽的一端固定连接有工作台，工作台的底部固定连接有支撑块。本技术通过、液槽、电动阀门等的配合使用，实现了研磨液的喷射，提高了研磨的效果；通过阻挡块、横向弹簧等的配合使用，实现了工作台的缓冲作用，避免了研磨盘对晶圆产生损坏，提高了成品率以及减少了对原材料的浪费，但是上述申请中的研磨机在使用过程中还是存在一些不足之处，例如不能对研磨盘进行降温冷却，研磨盘长时间的工作会出现稳定过高的现象，高温会对晶圆产生影响，从而降低了对研磨装置的使用效果；
[0005]所以我们提出了一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
[0006]本专利技术的目的在于提供一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，以解决上述
技术介绍
提出的目前市场上的研磨机不方便对晶圆进行批量限位固定，一次只能放置一个晶圆，导致晶圆的加工进度慢，也降低了对研磨机使用时的灵活性，而且不能对研磨盘进行降温冷却，研磨盘长时间的工作会出现稳定过高的现象，高温会对晶圆产生影响，从而降低了对研
磨装置的使用效果的问题。
[0007]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，包括底座、竖板、伺服电机和第一转轴，所述底座的上方左右两侧均固定有竖板，且右侧的竖板外壁通过螺栓安装有伺服电机，并且伺服电机的输出端和第一转轴相连接，
[0008]还包括：
[0009]连接齿轮，其安装在所述第一转轴的外壁，所述连接齿轮和固定齿条啮合连接，且固定齿条固定安装在固定框的内壁；
[0010]支撑板，其底端和所述固定框相连接，所述支撑板的顶端和放置机构相连接；
[0011]液压缸，其固定在左侧的竖板内壁，所述液压缸的输出端和横梁相连接，且横梁的上方通过螺栓固定有驱动电机，并且驱动电机的输出端和第二转轴相连接，同时第二转轴的底端安装有打磨轮；
[0012]所述第一转轴通过传动皮带和第二旋转杆相连接，且第二旋转杆的外壁安装有凸轮，并且凸轮的上方设置有气囊本体。
[0013]优选的，所述连接齿轮和第一转轴之间为焊接连接，且连接齿轮为缺齿轮，并且连接齿轮通过固定齿条可以使固定框进行移动，同时固定框的内部呈空心状，这样可以在连接齿轮旋转时，带动固定齿条和固定框进行间断性移动。
[0014]优选的，所述固定框的底部设置有连接块，且连接块设置有两个，并且两个连接块均与底座为滑动连接，可以在连接块的作用下，使固定框移动时更加平稳，有效防止出现晃动的现象。
[0015]优选的，所述放置机构的内侧设置有第一旋转杆，钢丝绳、安装块、弹力弹簧、夹板、抵紧块、隔板和固定吸盘；
[0016]所述第一旋转杆的外壁和钢丝绳的一端相连接，且钢丝绳的另一端和安装块相连接，并且安装块和放置机构的内壁之间安装有弹力弹簧，所述安装块的上方设置有夹板，且夹板的内表面连接有抵紧块，同时放置机构的内壁固定有隔板，所述隔板的上表面安装有固定吸盘，这样可以对晶圆进行批量限位，保证晶圆放置时的稳定性，加快对晶圆的加工进度。
[0017]优选的，所述第一旋转杆的前端安装有旋转把手，所述放置机构的前侧外壁固定有限位件，且旋转把手和限位件的内壁均开设有限位孔，并且限位孔的内部卡合连接有插杆，便于对旋转把手进行限位，有效防止旋转把手出现自行转动的现象。
[0018]优选的，所述安装块通过弹力弹簧在放置机构的内侧构成伸缩结构，且安装块和放置机构的内壁之间为滑动连接，并且安装块和夹板之间为焊接连接。
[0019]优选的，所述夹板和抵紧块之间为粘接连接，且抵紧块为橡胶材质，并且夹板呈弧形状，相邻的所述夹板之间的距离值等于连接齿轮上齿条的分布弧长，这样可以在连接齿轮旋转时，带动晶圆进行定距输送，使晶圆更好的被研磨，而且在抵紧块的作用下，可以使晶圆保证稳定。
[0020]优选的，所述第二转轴通过传动皮带和第三转轴相连接，且第三转轴的底部通过锥齿轮组和第四转轴相连接，并且第四转轴的左端安装有吸风扇叶，所述吸风扇叶的外侧设置有防护罩，且防护罩的后侧通过管道和收集箱相连接，这样便于对晶圆加工时产生的碎屑进行吸附收集。
[0021]优选的，所述气囊本体的顶端连接有橡胶软管，且橡胶软管通过卡扣固定在横梁的底端，并且气囊本体上设置有进气口，同时橡胶软管和进气口上均安装有单向阀，保证空气的正常进出，所述橡胶软管的出口端与打磨轮相对应，可以通过橡胶软管的出气，对打磨轮进行降温冷却，有效防止打磨轮在工作时产生温度过高的现象。
[0022]优选的，所述防护罩和横梁之间通过螺钉固定，所述收集箱的顶端和横梁之间为滑动连接，且收集箱的左侧呈多孔状，并且收集箱和防护罩外侧的管道之间通过螺钉固定，这样便于对收集箱进行拆装操作，方便对收集的碎屑进行倾倒处理。
[0023]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0024](1)该芯片加工用晶圆平整度研磨机，放置机构的内侧设置有第一旋转杆，且第一旋转杆和钢丝绳的一端相固定，并且钢丝绳的另一端和安装块相固定，安装块的上方固定有夹板，而夹板的内表面设置有橡胶材质的抵紧块，同时钢丝绳的数量设置有多个，这样在旋转第一旋转杆时，会对钢丝绳进行收卷，从而带动安装块和夹板一起移动，通过夹板本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，包括底座(1)、竖板(2)、伺服电机(3)和第一转轴(4)，所述底座(1)的上方左右两侧均固定有竖板(2)，且右侧的竖板(2)外壁通过螺栓安装有伺服电机(3)，并且伺服电机(3)的输出端和第一转轴(4)相连接，其特征在于，还包括：连接齿轮(5)，其安装在所述第一转轴(4)的外壁，所述连接齿轮(5)和固定齿条(6)啮合连接，且固定齿条(6)固定安装在固定框(7)的内壁；支撑板(8)，其底端和所述固定框(7)相连接，所述支撑板(8)的顶端和放置机构(9)相连接；液压缸(10)，其固定在左侧的竖板(2)内壁，所述液压缸(10)的输出端和横梁(11)相连接，且横梁(11)的上方通过螺栓固定有驱动电机(12)，并且驱动电机(12)的输出端和第二转轴(13)相连接，同时第二转轴(13)的底端安装有打磨轮(14)；所述第一转轴(4)通过传动皮带和第二旋转杆(33)相连接，且第二旋转杆(33)的外壁安装有凸轮(34)，并且凸轮(34)的上方设置有气囊本体(35)。2.根据权利要求1所述的一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，其特征在于：所述连接齿轮(5)和第一转轴(4)之间为焊接连接，且连接齿轮(5)为缺齿轮，并且连接齿轮(5)通过固定齿条(6)可以使固定框(7)进行移动，同时固定框(7)的内部呈空心状。3.根据权利要求1所述的一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，其特征在于：所述固定框(7)的底部设置有连接块(701)，且连接块(701)设置有两个，并且两个连接块(701)均与底座(1)为滑动连接。4.根据权利要求1所述的一种芯片加工用晶圆平整度研磨机，其特征在于：所述放置机构(9)的内侧设置有第一旋转杆(21)，钢丝绳(22)、安装块(23)、弹力弹簧(24)、夹板(25)、抵紧块(26)、隔板(27)和固定吸盘(28)；所述第一旋转杆(21)的外壁和钢丝绳(22)的一端相连接，且钢丝绳(22)的另一端和安装块(23)相连接，并且安装块(23)和放置机构(9)的内壁之间安装有弹力弹簧(24)，所述安装块(23)的上方设置有夹板(25)，且夹板(25)的内表面连接有抵紧块(26)，同时放置机...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈凤，
申请(专利权)人：广州乐柏科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。