线圈部件制造技术

提供一种线圈部件。在包含电路图案的线圈部件中，提高电路图案的包括厚度以及/或者表面形状在内的构造的一致性。线圈部件(1)具备：绝缘层(11)，其具有主面；以及电路图案(12)，其埋设于绝缘层，并沿着上述主面延伸，电路图案包括在该电路图案内沿着上述主面延伸的种子图案(13)，电路图案的与延伸方向正交的截面存在电路图案内的种子图案的数量为2个以上的部分。分。分。

【技术实现步骤摘要】
线圈部件


[0001]本专利技术涉及线圈部件。

技术介绍

[0002]以往，已知有将包含由镀覆布线形成的螺旋状的电路图案的布线层埋入包含磁性粉的树脂中而构成的线圈部件(专利文献1)。在该线圈部件的布线层中，在形成在绝缘层上的多个绝缘体的壁各自之间，通过以1个种子图案为起点的镀覆生长形成螺旋状的电路图案。
[0003]专利文献1：日本特开2016
‑
225463号公报
[0004]在上述的线圈部件的布线层中，在邻接的绝缘体的壁之间仅形成有1个具有既定宽度的种子图案，因此，在邻接的绝缘体的壁的间隔不同的两个部分，即在这些绝缘体的壁之间镀覆形成的电路图案的宽度不同的两个部分中，该电路图案的厚度不一致。此外，基于相同的理由，在电路图案的两端部形成用于同与其他布线层连接的导通孔导体形成连接的宽幅的焊垫部分的情况下，焊垫部分的厚度对应于焊垫部分的宽度大小而比电路图案的其他部分的厚度薄。为了使布线层的上表面平坦化，这样的电路图案的厚度薄的部分填充有比其他部分更多的覆盖电路图案的绝缘材料，因此，线圈部件整体中的树脂所占的比例变大，可实现的电感的上限值可能被限制。
[0005]图12是表示作为关联技术的镀覆形成的电路图案的与宽度对应的厚度变化的一例的图。图12是沿着与电路图案的延伸方向正交的面的截面。图12中，在基板40之上形成有3个电路图案41a、41b、41c。在从图示上方观察的俯视时，这些电路图案41a、41b、41c是以螺旋状形成的1个电路图案41的局部。
[0006]在基板40之上形成有4个绝缘体的壁42a、42b、42c、42d，在由这些壁42a、42b、42c、42d分隔出的3个空间的基板40的表面之上分别逐个形成有既定宽度的种子图案43。这些种子图案43是沿着上述螺旋状的电路图案41形成的1个种子图案的局部。
[0007]图12中，4个绝缘体的壁42a、42b、42c、42d划分出的3个空间的宽度各自不同，从图示右侧趋向左侧，上述的空间的宽度变大。
[0008]由此，对于这些空间中以种子图案43为起点同时镀覆生长的电路图案的厚度而言，宽度最窄的图示右侧的空间中的电路图案41c最厚，图示左侧的空间中的电路图案41a最薄。
[0009]此外，在宽度最宽地形成且厚度最薄的电路图案41a的部分中，由于该宽度，镀覆生长的电路图案41a的上表面的表面形状不平坦，成为向上凸出的曲线。由此，例如，在其上部还形成其他电路图案的情况下，在该其他电路图案中可能也难以得到平坦的上表面(例如，平坦的外部电极面)。

技术实现思路

[0010]本专利技术的目的在于在包括电路图案的线圈部件中提高电路图案的包括厚度以及/
或者表面形状在内的构造的一致性。
[0011]本专利技术的一个方式是线圈部件，具备：绝缘层，其具有主面；以及电路图案，其埋设于上述绝缘层，并沿着上述主面延伸，上述电路图案包括在上述电路图案内沿着上述主面延伸的种子图案，上述电路图案的与延伸方向正交的截面存在上述电路图案内的上述种子图案的数量为2个以上的部分。
[0012]根据本专利技术，能够在包括电路图案的线圈部件中提高电路图案的包括厚度以及/或者表面形状在内的构造的一致性。
附图说明
[0013]图1是表示本专利技术的第1实施方式所涉及的线圈部件的内部构造的示意图。
[0014]图2是图1的A部的电路图案的详细图。
[0015]图3是图2所示的电路图案的种子图案的俯视图。
[0016]图4是表示图1所示的线圈部件的制造工序的图。
[0017]图5是表示图1所示的线圈部件的接续于图4的制造工序的图。
[0018]图6是表示图1所示的线圈部件的接续于图5的制造工序的图。
[0019]图7是表示第1变形例所涉及的电路图案的结构的图。
[0020]图8是表示第2变形例所涉及的电路图案的结构的图。
[0021]图9是表示第3变形例所涉及的电路图案的结构的图。
[0022]图10是表示第4变形例所涉及的电路图案的结构的图。
[0023]图11是表示本专利技术的第2实施方式所涉及的线圈部件的内部构造的示意图。
[0024]图12是用于对本专利技术的关联技术所涉及的布线层进行说明的图。
[0025]附图标记说明
[0026]1、30
…
线圈部件；2
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本体；3、40
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基板；4
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绝缘性树脂；5
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种子层；6
…
抗蚀剂；7
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上部磁性层；8
…
下部磁性层；10、20、22、24、26、33
…
布线层；11、31
…
绝缘层；11a、31a
…
下盖层；11b、31b
…
绝缘壁；11c、31c
…
上盖层；12、12
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1、12
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2、12
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3、12
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4、32、41、41a、41b、41c
…
电路图案；12a、12a
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1、12a
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2、12a
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3、12a
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4、32a
…
焊垫部分；12b、12b
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1、12b
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2、12b
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3、12b
‑
4、12b
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5、12b
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6、12b
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7、12b
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8、32b
…
电路部分；13、21、23、25、25b、25c、25d、25e、25f、27、27b、27c、27d、27e、35、43
…
种子图案；13a
…
环形图案；14
…
引出布线；15
…
外部电极；23a
…
交叉图案；25a、27a
…
圆形图案；42a、42b、42c、42d
…
壁。
具体实施方式
[0027]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。
[0028]另外，附图有时一部分包含示意图。此外，示意图中的尺寸、比率有时与实际数值不同。
[0029][第1实施方式][0030]首先，对第1实施方式进行说明。
[0031]图1是表示本实施方式所涉及的线圈部件1的内部构造的示意图。
[0032]线圈部件1具备绝缘层11和埋设于绝缘层11的螺旋状的电路图案12。另外，绝缘层11和电路图案12构成环状的1层布线层10。此处，图1示出沿着与电路图案12的延伸方向正
交的面的截面。以下，将电路图案12的沿着与延伸方向正交的面的截面称为电路图案12的宽度方向截面。
[0033]绝缘层11本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种线圈部件，其特征在于，具备：绝缘层，其具有主面；以及电路图案，其埋设于所述绝缘层，并沿着所述主面延伸，所述电路图案包括在所述电路图案内沿着所述主面延伸的种子图案，在所述电路图案的与延伸方向正交的截面中存在所述电路图案内的所述种子图案的数量为2个以上的部分。2.根据权利要求1所述的线圈部件，其特征在于，在所述截面中，所述绝缘层具有沿着所述种子图案的排列方向夹着所述电路图案的两个绝缘壁，针对所述绝缘壁中一者，从该绝缘壁至最接近该绝缘壁的所述种子图案为止的距离W1和所述种子图案彼此的间...

【专利技术属性】
技术研发人员：川上祐辉，富永隆一朗，国森敬介，吉冈由雅，
申请(专利权)人：株式会社村田制作所，
类型：发明
国别省市：