一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质制造方法及图纸

技术编号:39297552 阅读:14 留言:0更新日期:2023-11-07 11:05
本发明专利技术公开了一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质,包括:当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源;若是,控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源;若否,依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。当存在蒸镀异常时,先考虑蒸发源的工艺参数是否异常,在工艺参数正常的情况下,再通过单个蒸发源停机的方式来筛出存在蒸镀异常的蒸发源。整个蒸镀异常检测过程自动化,可以及时检测到蒸镀异常情况以及检出存在蒸镀异常的蒸发源,避免因滞后检测带来的成本浪费,也提高了面板生产的良品率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质


[0001]本专利技术涉及OLED蒸镀
,尤其涉及一种蒸镀异常检测方法、装置、电子设备和存储介质。

技术介绍

[0002]OLED蒸镀工艺是利用蒸镀原理封装OLED器件的工艺。在OLED器件蒸镀过程中,在将有机薄膜固定导基板上后,需要在基板上建立电极,以便在OLED器件中进行电流传导。
[0003]在生产OLED面板时,一般通过无机蒸镀(例如Al)成膜来形成阴极,但通常会因为蒸发源异常或寿命耗尽等导致异物不良的问题发生,在有异物不良的位置成膜较薄,电阻较小,则电流会趋于流向电阻小的地方,导致该位置形成较大的漏电流,亮度较高,而其他成膜较厚的位置无电流通过则不发光,进而影响面板的发光均匀性。
[0004]现有技术中,往往是等待产品生产完成后进行面板质量检查,而在蒸镀工艺之后的其他工艺可能还需要6

8小时,在产品生产完成时可能已经产出了大批量的不良产品,则会严重影响面板生产良品率与制造成本。

技术实现思路

[0005]本专利技术提供了一种蒸镀异常检测方法,以解决滞后检测蒸镀异常会严重影响面板生产良品率与制造成本的问题。
[0006]第一方面,本专利技术提供了一种蒸镀异常检测方法,应用于蒸镀系统,所述蒸镀系统包括蒸镀设备和检测设备,所述蒸镀设备包括多个蒸发源,所述检测设备上设置有电流检测器,所述蒸镀异常检测方法,包括:
[0007]在所述检测设备接收到经所述蒸镀设备蒸镀加工的面板时,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,具体为:根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常;
[0008]当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源;
[0009]若是,控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源;
[0010]若否,依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。
[0011]第二方面,本专利技术提供了一种蒸镀异常检测装置,包括:
[0012]异常判断第一模块,用于在所述检测设备接收到经所述蒸镀设备蒸镀加工的面板时,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,具体为:根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常;
[0013]蒸发源异常判断模块,用于当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源;若是,执行第一蒸发源确定模块的内容,若否,执行第二蒸发源确定模块的内容;
[0014]第一蒸发源确定模块,用于控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测所述蒸镀
设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源;
[0015]第二蒸发源确定模块,用于依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。
[0016]第三方面,本专利技术提供了一种电子设备,所述电子设备包括:
[0017]至少一个处理器;以及
[0018]与所述至少一个处理器通信连接的存储器;其中,
[0019]所述存储器存储有可被所述至少一个处理器执行的计算机程序,所述计算机程序被所述至少一个处理器执行,以使所述至少一个处理器能够执行本专利技术第一方面所述的蒸镀异常检测方法。
[0020]第四方面,本专利技术提供了一种计算机可读存储介质,所述计算机可读存储介质存储有计算机指令,所述计算机指令用于使处理器执行时实现本专利技术第一方面所述的蒸镀异常检测方法。
[0021]本专利技术实施例提供了一种蒸镀异常检测方法,应用于蒸镀系统,蒸镀系统包括蒸镀设备和检测设备,蒸镀设备包括多个蒸发源,检测设备上设置有电流检测器,蒸镀异常检测方法,包括:在检测设备接收到经蒸镀设备蒸镀加工的面板时,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,具体为:根据电流检测器检测的面板的漏电流数据判断蒸镀设备是否存在蒸镀异常。利用漏电流来判断成膜均匀性,进而可以判断是否存在蒸镀异常。
[0022]当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源;若是,控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源;若否,依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。当存在蒸镀异常时,先考虑蒸发源的工艺参数是否异常,在工艺参数正常的情况下,再通过单个蒸发源停机的方式来筛出存在蒸镀异常的蒸发源。整个蒸镀异常检测过程自动化,无需人工检测,节约了人力资源,并且是在蒸镀工艺后即进行检测,可以及时检测到蒸镀异常情况以及检出存在蒸镀异常的蒸发源,避免因滞后检测带来的成本浪费,也提高了面板生产的良品率。
[0023]应当理解,本部分所描述的内容并非旨在标识本专利技术的实施例的关键或重要特征,也不用于限制本专利技术的范围。本专利技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本专利技术实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]图1是本专利技术实施例一提供的一种蒸镀异常检测方法的流程图;
[0026]图2是本专利技术实施例一提供的一种蒸镀系统结构示意图;
[0027]图3是本专利技术实施例一提供的一种OLED蒸镀异常时的结构示意图;
[0028]图4是本专利技术实施例二提供的一种蒸镀异常检测方法的流程图;
[0029]图5是本专利技术实施例三提供的一种蒸镀异常检测装置的结构示意图;
[0030]图6是本专利技术实施例四提供的电子设备的结构示意图。
具体实施方式
[0031]为了使本
的人员更好地理解本专利技术方案,下面将结合本专利技术实施例中的附图,对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本专利技术保护的范围。
[0032]实施例一
[0033]图1为本专利技术实施例一提供的一种蒸镀异常检测方法的流程图,本实施例可适用于对蒸镀过程中的蒸镀异常进行检测的情况,该方法可以由蒸镀异常检测装置来执行,该蒸镀异常检测装置可以采用硬件和/或软件的形式实现,该蒸镀异常检测装置可配置于电子设备中。
[0034]如图2所示,蒸镀系统包括蒸镀设备10和检测设备20,蒸镀设备10包括多个蒸发源11,检测设备20上设置有电流检测器21。蒸镀设备10的出口可以和检测设备20的进口连接,例如可以传输装置通过连接。在蒸镀、检测过程中,待蒸镀加工的面板从蒸镀设备10的进口进入,移动至蒸发源11上方,启动蒸发源11对面板进行蒸镀,经蒸镀加工后,将面板本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀异常检测方法,其特征在于,应用于蒸镀系统,所述蒸镀系统包括蒸镀设备和检测设备,所述蒸镀设备包括多个蒸发源,所述检测设备上设置有电流检测器,所述蒸镀异常检测方法,包括:在所述检测设备接收到经所述蒸镀设备蒸镀加工的面板时,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,具体为:根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常;当存在蒸镀异常时,判断是否存在工艺参数异常的蒸发源;若是,控制单个工艺参数异常的蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源;若否,依次控制多个蒸发源中的单个蒸发源停机,检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,以确定出存在蒸镀异常的蒸发源。2.如权利要求1所述的蒸镀异常检测方法,其特征在于,所述检测设备上设置有至少2个电流检测器,所述根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常,包括:根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断是否存在漏电流数据异常;当存在漏电流数据异常时,判断检测出漏电流数据异常的所述电流检测器的数量是否为1个;若是,控制检测出漏电流数据异常的所述电流检测器停机;若否,确定所述蒸镀设备存在蒸镀异常。3.如权利要求2所述的蒸镀异常检测方法,其特征在于,所述根据所述电流检测器检测的面板的漏电流数据判断是否存在漏电流数据异常,包括:将所述电流检测器检测的面板的漏电流数据中大于预设的漏电流阈值的漏电流数据作为不良数据;当连续N个漏电流数据中存在M个不良数据时,确定存在漏电流数据异常;其中,N、M为正整数,且M<N。4.如权利要求1所述的蒸镀异常检测方法,其特征在于,在判断是否存在工艺参数异常的蒸发源的步骤之前,还包括:判断在过去的预设时长内是否存在蒸发源更换;若是,对更换后的蒸发源执行延时加热工序;检测所述蒸镀设备是否存在蒸镀异常;若存在蒸镀异常,判断所述延时加热工序的执行次数是否小于预设次数;若是,返回执行对更换后的蒸发源执行延时加热工序的步骤;若否,执行判断是否存在工艺参数异常的蒸发源的步骤。5.如权利要求1所述的蒸镀异常检测方法,其特征在于,所述检测所述蒸镀...

【专利技术属性】
技术研发人员:李育光
申请(专利权)人:乐金显示光电科技中国有限公司
类型:发明
国别省市:

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