一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，包括靶芯组件，该靶芯组件包括靶芯、靶材和靶芯法兰盘，靶芯安装在靶芯法兰盘内，靶材位于靶芯的末端，还包括固定法兰和弹簧压紧装置，靶芯组件安装在固定法兰内、且靶芯法兰盘压在固定法兰上；弹簧压紧装置至少为对称设置的两个，每个弹簧压紧装置均包括提拉手柄、压紧弹簧和定位柱，定位柱的下端固定在固定法兰上，其上端位于提拉手柄内、且与提拉手柄转动配合，压紧弹簧套设在定位柱上、且其两端分别抵在定位柱和提拉手柄上，提拉手柄的外壁设有向径向延伸的压块，该压块压紧在靶芯法兰盘上；采用本申请上述技术方案，可方便、快速的安装拆卸靶芯，避免因拆卸螺钉而容易丢失的弊端。而容易丢失的弊端。而容易丢失的弊端。

【技术实现步骤摘要】
一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构


[0001]本技术涉及真空镀膜
，具体涉及一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构。

技术介绍

[0002]在真空镀膜设备中，多弧阴极安装于方形或圆形真空炉内，其包括靶芯、靶材和法兰盘，靶材位于靶芯的末端，靶芯通过四颗螺钉安装在法兰盘内。在镀膜过程中，靶材作为消耗材料，会随着生产任务的持续进行被不断消耗，需要定期进行更换。
[0003]现有的多弧阴极靶芯结构在更换靶材时，需要操作人员拆除固定靶心的四颗螺钉，将靶芯整体取出进行更换靶材后，再用螺钉将靶芯锁紧在法兰盘上；在靶芯拆卸过程中容易出现螺钉丢失，或者因人为拧紧螺丝力度不一致而导致出现真空泄露的问题。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的缺陷，本技术的目的是提供一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构。
[0005]本技术所采用的技术方案是：
[0006]一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，包括靶芯组件，该靶芯组件包括靶芯、靶材和靶芯法兰盘，所述靶芯安装在靶芯法兰盘内，所述靶材位于所述靶芯的末端，还包括固定法兰和弹簧压紧装置，所述靶芯组件安装在所述固定法兰内、且所述靶芯法兰盘压在所述固定法兰上；所述弹簧压紧装置至少为对称设置的两个，每个所述弹簧压紧装置均包括提拉手柄、压紧弹簧和定位柱，所述定位柱的下端固定在所述固定法兰上，其上端位于所述提拉手柄内、且与所述提拉手柄转动配合，所述压紧弹簧套设在所述定位柱上、且其两端分别抵在所述定位柱和提拉手柄上，所述提拉手柄的外壁设有向径向延伸的压块，该压块压紧在所述靶芯法兰盘上。
[0007]进一步，还包括移动轨道，该移动轨道竖向安装在所述固定法兰上，所述靶芯法兰盘与所述移动轨道滑动且转动配合。
[0008]进一步，沿所述靶芯法兰盘周向、且靠近边缘的位置设有压紧槽，每个所述弹簧压紧装置的压块压紧在对应的压紧槽内。
[0009]进一步，所述提拉手柄包括手柄部和螺母，沿该手柄部竖向设有安装腔，该安装腔的底部开口，所述螺母连接在所述手柄部的开口端，所述定位柱的上端配合在所述安装腔内，其下端由所述螺母伸出、且与所述固定法兰固定。
[0010]进一步，所述定位柱的上端为T型结构，所述压紧弹簧套设在所述定位柱的上端，其上端抵在所述定位柱的T型头上，下端抵在所述螺母的底部。
[0011]进一步，所述移动轨道为环形轨道，所述靶芯法兰盘通过滚轮滑动且转动配合在所述移动轨道内。
[0012]进一步，还包括连接臂，该连接臂的一端与所述靶芯法兰盘固定连接，另一端通过
转轴与所述滚轮转动连接。
[0013]进一步，所述弹簧压紧装置为四个，四个所述弹簧压紧装置沿所述固定法兰周向间隔设置。
[0014]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本技术具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。在所有附图中，类似的元件或部分一般由类似的附图标记标识。附图中，各元件或部分并不一定按照实际的比例绘制。
[0016]图1为本申请实施例所提供的可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构示意图；
[0017]图2为本申请实施例所提供的可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构的俯视图；
[0018]图3为沿图2的A
‑
A剖视图；
[0019]图4为沿图2的B
‑
B剖视图。
[0020]其中，靶芯1、靶芯法兰盘2、弹簧压紧装置3、压块31、手柄部32、螺母33、定位柱34、压紧弹簧35、移动轨道4、滚轮5、连接臂6、靶材7、固定法兰8。
具体实施方式
[0021]这里，要说明的是，本技术涉及的功能、方法等仅仅是现有技术的常规适应性应用。因此，本技术对于现有技术的改进，实质在于硬件之间的连接关系，而非针对功能、方法本身，也即本技术虽然涉及一点功能、方法，但并不包含对功能、方法本身提出的改进。本技术对于功能、方法的描述，是为了更好的说明本技术，以便更好的理解本技术。
[0022]下面将结合附图对本技术技术方案的实施例进行详细的描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，因此只作为示例，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0023]需要注意的是，除非另有说明，本申请使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域技术人员所理解的通常意义。
[0024]参见图1～图4，本申请一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，包括靶芯组件，该靶芯组件包括靶芯1、靶材7和靶芯法兰盘2，靶芯1安装在靶芯法兰盘2内，靶材7位于靶芯1的末端，还包括固定法兰8和弹簧压紧装置3，靶芯组件安装在固定法兰8内、且靶芯法兰盘2压在固定法兰8上；弹簧压紧装置3至少为对称设置的两个，每个弹簧压紧装置3均包括提拉手柄、压紧弹簧35和定位柱34，定位柱34的下端固定在固定法兰8上，其上端位于提拉手柄内、且与提拉手柄转动配合，压紧弹簧35套设在定位柱34上、且其两端分别抵在定位柱34和提拉手柄上，提拉手柄的外壁设有向径向延伸的压块31，该压块31压紧在靶芯法兰盘2上。
[0025]本申请通过设置固定法兰8和弹簧压紧装置3，弹簧压紧装置3的压紧弹簧35可呈一定的压缩状态压紧在靶芯法兰盘2上，将靶芯组件固定在固定法兰8上；安装时，可将靶芯
组件整体置于固定法兰8内，靶芯法兰盘2的两侧分别由固定法兰8和压块31限制，实现靶芯组件的固定安装；当需要更换靶材7时，转动弹簧压紧装置3的提拉手柄，压块31随提拉手柄转动而脱离固定法兰8，即可将靶芯组件整体拆除，可方便的更换靶材7。
[0026]采用本申请上述技术方案，可方便、快速的安装拆卸靶芯1，避免因拆卸螺钉而容易丢失的弊端，并且两个以上的弹簧压紧装置3呈对称布置，压紧力均匀，保证了多弧装置整体的密封性，防止真空泄露。
[0027]弹簧压紧装置3的提拉手柄包括手柄部32和螺母33，沿该手柄部32竖向设有安装腔，该安装腔的底部开口，所述螺母33连接在所述手柄部32的开口端。所述定位柱34的上端为T型结构，所述定位柱34的上端配合在所述安装腔内，其下端由所述螺母33伸出、且与所述固定法兰8固定，定位柱34与提拉手柄转动配合。所述压紧弹簧35套设在所述定位柱34的上端，其上端抵在所述定位柱34的T型头上，下端抵在所述螺母33的底部。
[0028]沿固定法兰8周向、且靠近内周的位置设有环状定位槽，靶芯法兰盘2的底部设有与定位槽配合的环状定位凸起，该定位凸起配合在定位槽内。沿所述靶芯法兰盘2顶部周向、且靠近边缘的位置设有压紧槽，该压紧槽的数量与弹簧压紧装置3的数量相适配。本实施例中，弹簧压紧装置3为四个，四个所述弹簧压紧装置3沿所述固定法兰8周向间隔设置。压紧槽的数量为对应的四个，四个压紧槽对应四个弹本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，包括靶芯组件，该靶芯组件包括靶芯、靶材和靶芯法兰盘，所述靶芯安装在靶芯法兰盘内，所述靶材位于所述靶芯的末端，其特征在于，还包括固定法兰和弹簧压紧装置，所述靶芯组件安装在所述固定法兰内、且所述靶芯法兰盘压在所述固定法兰上；所述弹簧压紧装置至少为对称设置的两个，每个所述弹簧压紧装置均包括提拉手柄、压紧弹簧和定位柱，所述定位柱的下端固定在所述固定法兰上，其上端位于所述提拉手柄内、且与所述提拉手柄转动配合，所述压紧弹簧套设在所述定位柱上、且其两端分别抵在所述定位柱和提拉手柄上，所述提拉手柄的外壁设有向径向延伸的压块，该压块压紧在所述靶芯法兰盘上。2.根据权利要求1所述的可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，其特征在于，还包括移动轨道，该移动轨道竖向安装在所述固定法兰上，所述靶芯法兰盘与所述移动轨道滑动且转动配合。3.根据权利要求1所述的可实现快速拆卸多弧阴极靶芯的结构，其特征在于，沿所述靶芯法兰盘周向、且靠近边缘的位置设有压紧槽，每个所述弹簧压紧装置的压块压紧在对应的压紧槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：请求不公布姓名，
申请(专利权)人：圣思科技廊坊有限公司，
类型：新型
国别省市：