一种晶圆解胶机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆解胶机，包括：机架，其内部安装有固定隔板，固定隔板的上方和下方均安装有可调式照射机构，两个可调式照射机构呈对称设置；承托机构，其设置于固定隔板的一侧；平移机构，其安装于固定隔板的边侧，用于对承托机构的平移运动提供动力。本实用新型专利技术利用可调式照射机构和承托机构相配合的设置方式，通过平移机构的带动下，使得晶圆可以进行直线运动，改进现有晶圆解胶中晶圆固定解胶为移动解胶，使晶圆表面受到紫外线照射时接受的能量均匀，然后通过紫外线灯的对称设置，使得两个紫外线灯可以对晶圆的两个面都可以进行同步照射，能够使晶圆上下面接受紫外线均匀照射，实用性更高。实用性更高。实用性更高。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆解胶机


[0001]本技术涉及解胶机领域，特别涉及一种晶圆解胶机。

技术介绍

[0002]现有的晶圆解胶设备一般有两个部分，紫外线灯，氮气充填装置。紫外线灯产生一种紫外光使晶圆表面的黏性胶水分解，氮气充填装置使紫外光分解黏性胶水时更稳定。
[0003]但现有晶圆解胶设备因晶圆是固定照射，所以晶圆表面受到紫外线照射时的能量分布不均匀，解胶效果不稳定，另外在生产中会遇到晶圆两面都有黏胶的情况，现有的单面晶圆解胶设备就无法进行双面照射处理。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种晶圆解胶机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆解胶机，包括：
[0006]机架，其内部安装有固定隔板，所述固定隔板的上方和下方均安装有可调式照射机构，两个所述可调式照射机构呈对称设置；
[0007]承托机构，其设置于固定隔板的一侧；
[0008]平移机构，其安装于固定隔板的边侧，用于对承托机构的平移运动提供动力。
[0009]优选的，所述固定隔板的顶端固定安装有承载架，所述承载架与可调式照射机构的位置相对应，所述固定隔板的中部开设有通槽。
[0010]优选的，所述固定隔板的一侧设置有防护罩，所述防护罩与承托机构连接。
[0011]优选的，所述可调式照射机构包括丝杆直线模组和紫外线灯，所述丝杆直线模组与固定隔板固定安装，所述紫外线灯与丝杆直线模组的输出端传动连接，两个所述紫外线灯呈对称设置。/>[0012]优选的，所述承托机构包括固定架、移动式托盘、连接件和滑块，所述固定架固定安装于固定隔板的顶端，所述移动式托盘滑动设置于固定架的内部，所述连接件固定连接于移动式托盘的正面，所述连接件与固定架滑动穿插连接，所述滑块固定连接于移动式托盘的底端，所述滑块的内侧滑动设置有滑轨，所述滑轨固定安装于固定隔板的顶端。
[0013]优选的，所述平移机构包括伺服电机、同步轮和同步带，所述伺服电机固定安装于固定隔板底部的一侧，两个所述同步轮转动连接于固定隔板的边侧，所述同步带设置于两个同步轮之间，所述同步带与连接件连接。
[0014]优选的，所述机架的一侧设置有升降式密封机构，所述升降式密封机构与防护罩的位置相对应，所述升降式密封机构包括气缸和门板，所述气缸固定安装于机架上，所述门板与机架滑动连接，所述门板的顶部与气缸的输出端传动连接。
[0015]本技术的技术效果和优点：
[0016](1)本技术利用可调式照射机构和承托机构相配合的设置方式，通过平移机
构的带动下，使得晶圆可以进行直线运动，改进现有晶圆解胶中晶圆固定解胶为移动解胶，使晶圆表面受到紫外线照射时接受的能量均匀，然后通过紫外线灯的对称设置，使得两个紫外线灯可以对晶圆的两个面都可以进行同步照射，能够使晶圆上下面接受紫外线均匀照射，实用性更高；
[0017](2)本技术利用气缸和门板相配合的设置方式，通过气缸的伸缩移动，便于对门板的竖直运动进行控制，使得门板的升降运动，便于对防护罩内腔的打开和关闭，实现门板的自动打开，便于对晶圆的放置。
附图说明
[0018]图1为本技术整体结构示意图。
[0019]图2为本技术防护罩处结构示意图。
[0020]图3为本技术可调式照射机构处结构示意图。
[0021]图4为本技术承载架处结构示意图。
[0022]图5为本技术移动式托盘处结构示意图。
[0023]图6为本技术升降式密封机构处结构示意图。
[0024]图中：1、机架；11、升降式密封机构；111、气缸；112、门板；2、固定隔板；21、承载架；22、防护罩；3、可调式照射机构；31、丝杆直线模组；32、紫外线灯；4、承托机构；41、固定架；42、移动式托盘；43、连接件；44、滑块；5、平移机构；51、伺服电机；52、同步轮；53、同步带。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术提供了如图1
‑
6所示的一种晶圆解胶机，包括：
[0027]机架1，其内部安装有固定隔板2，固定隔板2的上方和下方均安装有可调式照射机构3，固定隔板2的顶端固定安装有承载架21，承载架21与可调式照射机构3的位置相对应，固定隔板2的中部开设有通槽，固定隔板2的一侧设置有防护罩22，防护罩22与承托机构4连接，通过承载架21便于对上方的紫外线灯32进行限位承载，通过防护罩22便于对晶圆放置时的防护；
[0028]两个可调式照射机构3呈对称设置，可调式照射机构3包括丝杆直线模组31和紫外线灯32，丝杆直线模组31与固定隔板2固定安装，紫外线灯32与丝杆直线模组31的输出端传动连接，两个紫外线灯32呈对称设置，通过丝杆直线模组31便于对紫外线灯32的竖直高度进行调节，从而便可调节紫外线灯32与移动式托盘42之间的距离，以便对照射距离进行调节，通过紫外线灯32便于对晶圆的照射解胶；
[0029]承托机构4，其设置于固定隔板2的一侧，承托机构4包括固定架41、移动式托盘42、连接件43和滑块44，固定架41固定安装于固定隔板2的顶端，移动式托盘42滑动设置于固定架41的内部，连接件43固定连接于移动式托盘42的正面，连接件43与固定架41滑动穿插连接，滑块44固定连接于移动式托盘42的底端，滑块44的内侧滑动设置有滑轨，滑轨固定安装
于固定隔板2的顶端，通过固定架41便于对移动式托盘42的一端进行防护，通过移动式托盘42便于对晶圆的承载，使得移动式托盘42可以带动晶圆进行移动解胶，通过滑轨便于对滑块44的直线运动进行限位，使得移动式托盘42的直线运动更加稳定，通过连接件43连接于同步带53与移动式托盘42之间，便于对同步带53的运行可以带动移动式托盘42的直线运动；
[0030]平移机构5，其安装于固定隔板2的边侧，用于对承托机构4的平移运动提供动力，平移机构5包括伺服电机51、同步轮52和同步带53，伺服电机51固定安装于固定隔板2底部的一侧，两个同步轮52转动连接于固定隔板2的边侧，同步带53设置于两个同步轮52之间，同步带53与连接件43连接，伺服电机51的输出端与其中一个同步轮52传动连接，以便为同步带53的运转提供动力，通过两个同步轮52带动同步带53的运行，以便同步带53可以带动连接件43的直线运动；
[0031]机架1的一侧设置有升降式密封机构11，升降式密封机构11与防护罩22的位置相对应，升降式密封机构11包括气缸111和门板112，气缸111固定安装于机架1上，门板本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆解胶机，其特征在于，包括：机架(1)，其内部安装有固定隔板(2)，所述固定隔板(2)的上方和下方均安装有可调式照射机构(3)，两个所述可调式照射机构(3)呈对称设置；承托机构(4)，其设置于固定隔板(2)的一侧；平移机构(5)，其安装于固定隔板(2)的边侧，用于对承托机构(4)的平移运动提供动力。2.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述固定隔板(2)的顶端固定安装有承载架(21)，所述承载架(21)与可调式照射机构(3)的位置相对应，所述固定隔板(2)的中部开设有通槽。3.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述固定隔板(2)的一侧设置有防护罩(22)，所述防护罩(22)与承托机构(4)连接。4.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述可调式照射机构(3)包括丝杆直线模组(31)和紫外线灯(32)，所述丝杆直线模组(31)与固定隔板(2)固定安装，所述紫外线灯(32)与丝杆直线模组(31)的输出端传动连接，两个所述紫外线灯(32)呈对称设置。5.根据权利要求1所述的一种晶圆解胶机，其特征在于，所述承托机构(4)包括固定架(41)、移动式托盘(42)、连接件(43)和滑块(...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴中原，
申请(专利权)人：新胜塬精密机械昆山有限公司，
类型：新型
国别省市：