本发明专利技术公开了一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。该蚀刻液由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成。各组分占蚀刻液总重的百分比分别为：氟化氢吡啶盐：１０－２０％；强酸：３０－７０％；乙二胺四乙酸：０．５－５％；余量为水。该蚀刻液是一种安全、稳定、高效的蚀刻液，能够很好的解决蚀刻过程中产生的难溶性副产物问题，同时也提高了蚀刻速率和蚀刻效果。该蚀刻液适用于ＴＦＴ等玻璃基板的减薄。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种玻璃基板蚀刻液，特别是一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。
技术介绍
在平板显示领域中，包括等离子体显示(PDP)、触摸屏(TP)、液晶显示(LCD)及有机电致发光(OLED)等制备工艺过程中，为了进一步减轻显示器件的重量，生产厂家越来越多的采用将玻璃基板进行减薄的方法。通常使用的减薄方法有两种，一种是物理方法，用抛光粉进行抛光研磨，这种方法减薄时间长，且产品良率低；另一种方法为化学蚀刻法，这种方法减薄时间短，所使用的设备投入小，产品良率高，且减薄液的成分简单，都是一些工业上常用的酸性物质，成本低廉。 目前，用化学方法进行减薄的生产厂家所采用的减薄液，基本都采用氢氟酸为主要成分，还有一些厂家再辅助加入其它强酸。当蚀刻液中含有氢氟酸时，会存在以下问题1)氢氟酸毒性大，容易挥发，尤其是在配置时需要采用较高温度和浓度，不仅生产过程中危险性高，而且会对环境造成巨大污染；2)蚀刻产生的副产物容易吸附在玻璃、设备和管道表面，造成产品表面处理效果差、管道阻塞等问题；3)生产过程中蚀刻速率不稳定，蚀刻液的利用率相对较低，由此还会造成废液处理量大，处理成本也随之增高。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。 本专利技术提供的平板玻璃蚀刻液，是由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成；所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分别为10-20%、30-70%和0. 5-5%，余量为水。 上述蚀刻液中，所述氟化氢吡啶盐的结构式为F _。 所述蚀刻液选自下述蚀刻液l' -26'中的任意一种 由10-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水组成的蚀刻液1'; 由10-15重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水组成的蚀刻液2'; 由15-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和25-54. 5重量份的水组成的蚀刻液3'; 由10-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-40重量份的强酸、0. 5-5重量份的乙二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水组成的蚀刻液4'; 由10-15重量份的氟化氢吡啶盐、30-40重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水组成的蚀刻液5'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、30重量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和59. 5重量份的水组成的蚀刻液6'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、40重 49.5重量份的水组成的蚀刻液7'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、50重 39. 5重量份的水组成的蚀刻液8'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、30重邐 量份的水组成的蚀刻液9'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、50重邐 量份的水组成的蚀刻液10'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、30重邐量份的水组成的蚀刻液ll'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、50重邐 量份的水组成的蚀刻液12'; 由15重量份的氟化氢吡啶盐、30重 54. 5重量份的水组成的蚀刻液13'; 由15重量份的氟化氢吡啶盐、50重 34. 5重量份的水组成的蚀刻液14'; 由15重量份的氟化氢吡啶盐、30重邐 量份的水组成的蚀刻液15'; 由20重量份的氟化氢吡啶盐、30重 29. 5重量份的水组成的蚀刻液16'; 由20重量份的氟化氢吡啶盐、50重 29.5重量份的水组成的蚀刻液17'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、0. 5重量份的乙 二胺四乙酸和59. 5重量份的水组成的蚀刻液18'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、20重量份的磷酸、0. 5重量份的乙 二胺四乙酸和49. 5重量份的水组成的蚀刻液19'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、0. 5重量份的乙 二胺四乙酸和39. 5重量份的水组成的蚀刻液20'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和55重量份的水组成的蚀刻液21'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和35重量份的水组成的蚀刻液22'; 由10重量份的氟化氢吡啶盐、40重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和35重量份的水组成的蚀刻液23'; 由15重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和50重量份的水组成的蚀刻液24'; 由20重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、10重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和45重量份的水组成的蚀刻液25';量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 i份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和58重 i份的硫酸、2重量份的乙二胺四乙酸和38重 i份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和55重 i份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和35重 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 i份的硫酸、5重量份的乙二胺四乙酸和50重 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和 量份的硫酸、0. 5重量份的乙二胺四乙酸和7 由20重量份的氟化氢吡啶盐、20重量份的硫酸、30重量份的磷酸、5重量份的乙二 胺四乙酸和25重量份的水组成的蚀刻液26'。 所述强酸选自硫酸和磷酸中的至少一种；所述强酸为硫酸和磷酸的混合物时，每 100份所述蚀刻液中，硫酸和磷酸的混合物选自下述混合物a_混合物f中的任意一种 由20重量份的硫酸和10重量份的磷酸组成的混合物a 由30重量份的硫酸和20重量份的磷酸组成的混合物b 由40重量份的硫酸和30重量份的磷酸组成的混合物c 由20-30重量份的硫酸和10-20重量份的磷酸组成的混合物d ; 由20-40重量份的硫酸和10-30重量份的磷酸组成的混合物e ; 由30-40重量份的硫酸和20-30重量份的磷酸组成的混合物f 。 本专利技术提供的制备上述平板玻璃蚀刻液的方法，是将氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙 二胺四乙酸在20 3(TC混匀，得到所述平板玻璃蚀刻液； 所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分别为10-20%、30-70 %和0. 5-5%，余量为水。 该方法中，所述氟化氢吡啶盐的结构式为<^^^ f _ 。 所述蚀刻液中各组分的重量份选自下述组分1' _组分26'中的任意一种 组分1' :10-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和25-59. 5重量份的水； 组分2' :10-15重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和34. 5-59. 5重量份的水； 组分3' :15-20重量份的氟化氢吡啶盐、30-50重量份的强酸、0. 5_5重量份的乙 二胺四乙酸和25-54. 5重量份的水； 组分4' :10-本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种平板玻璃蚀刻液，是由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成；所述氟化氢吡啶盐、强酸和乙二胺四乙酸占所述平板玻璃蚀刻液总重的百分比分别为：１０－２０％、３０－７０％和０．５－５％，余量为水。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：冯卫文，
申请(专利权)人：绵阳艾萨斯电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：51[中国|四川]
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