一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法技术

本发明专利技术涉及光学零件的加工领域。一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，包括如下步骤:步骤一，将旋转主轴与转接法兰通过螺钉相连；步骤二，将固定法兰与转接法兰用螺钉拧紧；固定法兰上开设有用于对接吸附圆孔的沉槽，且固定法兰上开设有用于螺钉穿过的安装孔；步骤三：检测零件自由状态下的面型值；步骤四：使用扭力扳手带动螺钉将零件固定在固定法兰上，检测零件固定后的面型值；步骤五：将带有零件的固定法兰与转接法兰通过螺钉保护连接，对零件进行加工；步骤六：加工完成后带固定法兰检测零件面型，面型优于设定指标取下零件，检测零件自由状态下的面型值。件自由状态下的面型值。件自由状态下的面型值。

【技术实现步骤摘要】
一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法


[0001]本专利技术涉及光学零件的加工
，具体涉及加工方法。

技术介绍

[0002]针对于轻量化的光学零件在加工过程中，往往需要夹具进行固定。
[0003]由于现有的轻量化的光学零件往往也就是薄片状结构，较为容易形变，也可以称为柔性光学零件。
[0004]目前针对于柔性光学零件的固定夹具，存有多种不同的固定结构。比如，专利号为CN201710713137.5的中国专利，主要介绍了超薄板类光学零件使用微孔(1μm)吸附加工的方法，该方法的缺点是要求零件的吸附面平整。该方法对零件特征限制较多，且不适合重量较大的零件。此外，由于该结构，直接负压吸附零件的表面，故负压会对零件的面型产生影响，故对于零件的面型进行测量时，往往需要拆卸下零件，继续检测，较为繁琐。无法实现了夹具上直接进行面型的检测。
[0005]专利号为CN201310608496.6的中国专利，介绍了超薄铝片的加工方法，采用吸附盘(吸附孔1mm)和基准板方法加工，基准板与零件用水剂进行固定。对于柔性易变性零件，容易引起较大的形变，且加工过程中零件容易甩飞。
[0006]综上，目前缺乏一种可以控制柔性零件形变量对其进行面型直测的加工方法。

技术实现思路

[0007]针对现有技术存在的问题，本专利技术提供一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，已解决上述至少一个技术问题。
[0008]本专利技术的技术方案是：一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，其特征在于，包括如下步骤:
[0009]步骤一，将旋转主轴与转接法兰通过第一螺钉相连，且所述转接法兰上开设有正对旋转主轴的负压孔的吸附圆孔；
[0010]步骤二，将固定法兰与转接法兰用第二螺钉拧紧，对固定法兰与零件接触的面抛光打磨；
[0011]固定法兰上开设有用于对接吸附圆孔的沉槽，且所述固定法兰上开设有用于第二螺钉穿过的安装孔；
[0012]步骤三：对零件需要加工的表面进行抛光打磨，检测零件自由状态下的面型值；
[0013]步骤四：将固定法兰从转接法兰上拆除，并使用扭力扳手带动第三螺钉将零件固定在固定法兰上，扭力扳手的扭力为1
‑
1.2Nm，检测零件固定后的面型值，保证面型变化RMS优于0.03λ，λ＝632.8nm；
[0014]步骤五：将带有零件的固定法兰与转接法兰通过第二螺钉保护连接，对零件进行加工；
[0015]步骤六：加工完成后带固定法兰检测零件面型，面型优于设定指标取下零件，检测
零件自由状态下的面型值。
[0016]进一步优选的，步骤一中，调整转接法兰与主轴的同轴度1μm以内，动平衡5nm以内。
[0017]进一步优选的，步骤五中，调整固定法兰与旋转主轴的同轴度1μm以内，动平衡5nm以内。
[0018]进一步优选的，所述沉槽的深度为1
‑
2mm，所述沉槽的直径为所述固定法兰的外径的2/3。
[0019]进一步优选的，步骤四中，零件的加工面高出固定法兰表面1mm。
[0020]进一步优选的，所述固定法兰上开设有用于嵌入零件的限位槽；
[0021]步骤四中，所述固定法兰的中央通过螺钉与所述零件的背部可拆卸连接。
[0022]进一步优选的，所述固定法兰上开设有与所述限位槽对接导通的缺口，所述缺口位于所述限位槽的相对侧；
[0023]在步骤四与步骤五之间，在缺口与限位槽连接处的角部置入柔性缓冲层。
[0024]进一步优选的，所述柔性缓冲层为沥青与煤油揉搓而成的条状体。
[0025]进一步优选的，所述沥青与煤油的体积比为10:1；
[0026]进一步优选的，所述固定法兰上开设有与所述沉槽对接导通的台阶孔；
[0027]步骤五中，所述固定法兰通过穿过所述台阶孔的螺钉与所述零件可拆卸连接。
[0028]有益效果：
[0029]1)本专利技术实现了光学零件的固定效果的同时，避免了光学零件固定时的形变，便于面型的检测。
[0030]2)结构简单，组装方便。
[0031]3)可以实现柔性光学零件(比如超薄板类光学零件)的固定。柔性光学零件可以是径厚比大于10的光学零件。径厚比中的厚度是最薄处的厚度。
附图说明
[0032]图1是本专利技术具体实施例1步骤五之后的一种结构示意图；
[0033]图2是本专利技术具体实施例1步骤五之后的一种剖视图；
[0034]图3是本专利技术具体实施例1步骤五之后的另一视角下的剖视图；
[0035]图4是本专利技术具体实施例1固定法兰与柔性光学零件连接处的剖视图；
[0036]图5是本专利技术具体实施例1固定法兰与柔性光学零件连接处的另一视角下的结构示意图；
[0037]图6是本专利技术具体实施例1固定法兰邻近转接法兰侧的结构示意图；
[0038]图7是本专利技术具体实施例1的柔性光学零件的结构示意图；
[0039]图8是本专利技术具体实施例1的转接法兰的结构示意图；
[0040]图9是传统加工方法的面型图；
[0041]图10是本专利技术具体实施例1的面型图。
[0042]图中：1为旋转主轴，2为转接法兰，3为固定法兰，4为零件，5为柔性缓冲层。
具体实施方式
[0043]参见图1至图10，具体实施例1，一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，其特征在于，包括如下步骤:
[0044]步骤一，将旋转主轴1与转接法兰2通过第一螺钉相连，且转接法兰2上开设有正对旋转主轴1的负压孔的吸附圆孔。第一螺钉设置有至少三个，至少三个第一螺钉周向排布在吸附圆孔的外围。
[0045]步骤二，将固定法兰3与转接法兰2用第二螺钉拧紧，对固定法兰3与零件4接触的面抛光打磨；
[0046]固定法兰3上开设有用于对接吸附圆孔的沉槽，且固定法兰3上开设有用于螺钉穿过的安装孔。安装孔位于沉槽的外围。
[0047]步骤三：对零件4需要加工的表面进行抛光打磨，检测零件4自由状态下的面型值；
[0048]步骤四：将固定法兰从转接法兰上拆除，并使用扭力扳手带动第三螺钉将零件4固定在固定法兰3上，扭力扳手的扭力为1
‑
1.2Nm，检测零件4固定后的面型值，保证面型变化RMS优于0.03λ，λ＝632.8nm；
[0049]步骤五：将带有零件4的固定法兰3与转接法兰2通过第二螺钉保护连接，对零件4进行加工。固定法兰上开设有穿过第二螺钉的圆孔。转接法兰上开设有螺纹连接第二螺钉的螺纹孔。圆孔是台阶圆孔。第二螺钉沉头。
[0050]步骤六：加工完成后带固定法兰3检测零件4面型，面型优于设定指标取下零件4，检测零件4自由状态下的面型值。
[0051]步骤一中，调整转接法兰2与主轴的同轴度1μm以内，动平衡5nm以内。
[0052]步骤五中，调整固定法兰3与旋转主轴1的同轴度1μm以内，动平衡5nm以内。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，其特征在于，包括如下步骤:步骤一，将旋转主轴与转接法兰通过第一螺钉相连，且所述转接法兰上开设有正对旋转主轴的负压孔的吸附圆孔；步骤二，将固定法兰与转接法兰用第二螺钉拧紧，对固定法兰与零件接触的面抛光打磨；固定法兰上开设有用于对接吸附圆孔的沉槽，且所述固定法兰上开设有用于第二螺钉穿过的安装孔；步骤三：对零件需要加工的表面进行抛光打磨，检测零件自由状态下的面型值；步骤四：将固定法兰从转接法兰上拆除，并使用扭力扳手带动第三螺钉将零件固定在固定法兰上，扭力扳手的扭力为1
‑
1.2Nm，检测零件固定后的面型值，保证面型变化RMS优于0.03λ，λ＝632.8nm；步骤五：将带有零件的固定法兰与转接法兰通过第二螺钉保护连接，对零件进行加工；步骤六：加工完成后带固定法兰检测零件面型，面型优于设定指标取下零件，检测零件自由状态下的面型值。2.根据权利要求1所述的一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，其特征在于：步骤一中，调整转接法兰与主轴的同轴度1μm以内，动平衡5nm以内。3.根据权利要求1所述的一种可直测面型的柔性光学零件的加工方法，其特征在于：步骤五中，调整固定法兰与旋转主轴的同轴度1μm以内，动平衡5nm以内。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈亚峰，蒋泉权，徐松，孙士权，
申请(专利权)人：上海现代先进超精密制造中心有限公司，
类型：发明
国别省市：