一种分流排阀制造技术

本发明专利技术提供了一种分流排阀，该分流排阀包括：分流组件与驱动分流组件的驱动组件；分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。通过本发明专利技术，实现了不同类别工业废液的独立排放与收集，并保证了液体收集效率。保证了液体收集效率。保证了液体收集效率。

【技术实现步骤摘要】
一种分流排阀


[0001]本专利技术涉及阀门
，尤其涉及一种分流排阀。

技术介绍

[0002]在半导体制造领域，晶圆的生产制造依赖于高质量标准的制造工艺(例如，化学机械抛光CMP)，进而会产生各种不同的工业废液。根据工业废液所含物质的不同，可将工业废液划分为有机废液与无机废液两大类别，而无论是有机废液还是无机废液均对环境具有较为严重的影响，因此如何实现对工业废液进行收集是亟需解决的技术问题。
[0003]为了避免有机废液与无机废液出现严重的液体混合的情况，需要将有机废液与无机废液单独收集，而为不同类型的工业废液独立配置收集通道与器件存在资源浪费的缺陷。为了减少资源的浪费，现有技术中还采用“一进多出”类阀件予以实现。该类阀件由一个阀体与多个气缸并排放置组成，而多个气缸依赖于同一阀件驱动，对于阀件的要求较高，存在成本较高的问题。同时，“一进多出”类阀件由一个管道组成，一个管道形成一个入口与多个出口，工业废液自入口流入管道内，并分别自不同出口流出管道，也即，不同类型的工业废液于同一管道内流动，因此为了避免不同类型工业废液大量接触所导致的安全问题，在一种工业废液排放并收集之后，需要对管道内部进行清洗，进而存在效率低下的问题。另外，现有技术中的气缸密封是通过气缸下压予以实现，而器件与器件的连接处容易产生缝隙，不仅密封效果不佳，而且对密封处的工艺要求较高。
[0004]有鉴于此，有必要对现有技术中的分流排阀予以改进，以解决上述问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于解决现有技术中由同一阀件驱动多个气缸所存在的成本较高的问题，“一进多出”类阀件在工业废液收集之后需要对管道进行清洗所存在的效率低下的问题，以及气缸下压密封所存在的密封效果不佳的问题。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了一种分流排阀，包括：
[0007]分流组件与驱动所述分流组件的驱动组件；
[0008]所述分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，所述入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，所述分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；
[0009]通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。
[0010]作为本专利技术的进一步改进，所述分液筒内部形成供入液筒部分容置的中空腔体。
[0011]作为本专利技术的进一步改进，所述入液筒包括：容置于中空腔体的引流筒与设置于引流筒顶端且被所述驱动组件所驱动的第一驱动盖；
[0012]所述入液管道连续贯穿第一驱动盖与引流筒。
[0013]作为本专利技术的进一步改进，所述驱动组件包括：设置于分流组件侧部的驱动电机与设置于所述驱动电机顶端以被所述驱动电机所驱动的第二驱动盖；
[0014]所述第一驱动盖边缘处被构造出一圈第一齿轮，所述第二驱动盖边缘处被构造出一端与所述第一齿轮匹配的第二齿轮，由驱动电机驱动第二驱动盖转动以带动第一驱动盖转动。
[0015]作为本专利技术的进一步改进，所述引流筒容置于中空腔体内并与分液筒形成一定间隙。
[0016]作为本专利技术的进一步改进，所述分液筒还包括：凸设于分液筒面向入液筒端面的第三密封圈，所述第三密封圈呈围绕出液管道所形成的第一通道口设置。
[0017]作为本专利技术的进一步改进，所述分液筒面向入液筒的端面且呈围绕出液管道所形成的第一通道口凹设供第三密封圈部分容置的第三密封槽。
[0018]作为本专利技术的进一步改进，所述分液筒侧部开设连通中空腔体的第一孔洞与第二孔洞；
[0019]所述分流组件还包括：设置于分液筒侧部且连通第一孔洞的第一管道。
[0020]作为本专利技术的进一步改进，所述分液组件还包括：设置于第一管道侧部以分别连通第一孔洞与第一管道的第二管道。
[0021]作为本专利技术的进一步改进，所述出液管道被配置为三个，且自入液筒所在中心轴线呈对称设置，所述驱动电机被配置为三位旋转气缸。
[0022]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0023]于入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，并与分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道，驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道以供不同类别液体进行排放，不同类别液体分别对应一个排放管道，无需对排液管道进行清洗，以保证了不同类别液体的收集效率。
附图说明
[0024]图1为本专利技术所示出的一种分流排阀于一种视角下的立体图；
[0025]图2为本专利技术所示出的一种分流排阀于另一种视角下的立体图；
[0026]图3为分流排阀的纵向剖视图；
[0027]图4为底座与分液筒于一种视角下的立体图；
[0028]图5为入液筒于一种视角下的立体图。
具体实施方式
[0029]下面结合附图所示的各实施方式对本专利技术进行详细说明，但应当说明的是，这些实施方式并非对本专利技术的限制，本领域普通技术人员根据这些实施方式所作的功能、方法、或者结构上的等效变换或替代，均属于本专利技术的保护范围之内。
[0030]需要说明的是，术语“纵向”是指沿入液筒11或者分液筒12或者驱动轴40所在中心轴线所在的方向，也即，图1所示出的轴线C所在的方向。术语“横向”是指垂直于“纵向”所在的方向。
[0031]请参图1至图5所示，本专利技术示出了一种分流排阀100的一种具体实施方式，该分流排阀100用于对同一工艺腔体内不同时段所排放的不同类别液体(例如，有机废液、无机废液以及清洗废液等)进行独立排放，并将其(即，不同类别液体)收集至不同容器中，以避免
出现不同类型液体排放时出现大量混合所导致的不安全情况。示例性地，于入液筒11开设纵向贯穿入液筒11的入液管道13，于分液筒12开设至少两个纵向贯穿分液筒12的出液管道14，由驱动组件20驱动入液筒11绕其(即，入液筒11)所在中心轴线(即，轴线C)转动，以由入液管道13分别与不同出液管道14对接形成供不同类别液体流通的排液管道15，进而通过不同出液管道14实现对不同类别液体的排放。
[0032]具体而言，将分流排阀100与工艺腔体(未示出)实现有效链接配合，以由入液管道13所包含的入液口131与工艺腔体的排液口(未示出)形成对接，并将分流排阀100与分别供不同类别液体容置的不同容器实现有效链接配合，以由出液管道14所包含的第二通道口142与容器的进液口(未示出)形成对接。通过驱动组件20驱动入液筒11绕轴线C转动，以带动入液管道13所包含的出液口132分别与不同出液管道14所包含的第一通道口141形成对接，液体从工艺腔体内自入液口131流入入液管道13内，自出液口132流出入液管道13，并自第一通道口141流入出液管道14，自第二通道口142流出出液管道14，进而流入与第二通道口142对接的容器内，以最终实现对液体的收集。
[0033]需要说明的是，在本申请中，通过驱动组件20驱动入液筒11绕轴本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种分流排阀，其特征在于，包括：分流组件与驱动所述分流组件的驱动组件；所述分流组件包括：自上而下同轴依次设置的入液筒与分液筒，所述入液筒开设纵向贯穿入液筒的入液管道，所述分液筒开设至少两个纵向贯穿分液筒的出液管道；通过驱动组件驱动入液筒绕入液筒所在中心轴线转动，由入液管道分别与不同出液管道对接形成供不同液体流通的排液管道。2.根据权利要求1所述的分流排阀，其特征在于，所述分液筒内部形成供入液筒部分容置的中空腔体。3.根据权利要求2所述的分流排阀，其特征在于，所述入液筒包括：容置于中空腔体的引流筒与设置于引流筒顶端且被所述驱动组件所驱动的第一驱动盖；所述入液管道连续贯穿第一驱动盖与引流筒。4.根据权利要求3所述的分流排阀，其特征在于，所述驱动组件包括：设置于分流组件侧部的驱动电机与设置于所述驱动电机顶端以被所述驱动电机所驱动的第二驱动盖；所述第一驱动盖边缘处被构造出一圈第一齿轮，所述第二驱动盖边缘处被构造出一端与所述第一齿轮匹配的第二齿轮，由驱动电机驱动第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琪，符友银，孙昭亮，
申请(专利权)人：新毅东上海科技有限公司，
类型：发明
国别省市：