本申请涉及一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，涉及石英坩埚生产设备的技术领域，其包括安装组件和喷料机构，喷料机构与安装组件固定连接，喷料机构包括加料箱、进料管和喷料头，喷料头包括喷头外壳，喷头外壳的侧壁上开设有喷料口，进料管的一端与加料箱的底面固定连接并与加料箱的内部空间连通，另一端与喷头外壳固定连接并与喷头外壳的内部空间连通，喷料头还包括位于喷头外壳内部且能够绕喷头外壳的中心轴旋转的若干叶片和第一驱动件，第一驱动件与喷头外壳固定连接，第一驱动件能够驱动叶片转动。本申请具有能够使制备出的石英坩埚内层的侧壁与圆弧处的厚度均匀的效果。坩埚内层的侧壁与圆弧处的厚度均匀的效果。坩埚内层的侧壁与圆弧处的厚度均匀的效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于制备石英坩埚内层的加料装置
[0001]本申请涉及石英坩埚生产设备的
，尤其是涉及一种用于制备石英坩埚内层的加料装置。
技术介绍
[0002]石英坩埚是制备单晶硅工艺中的重要耗材，一般用来装放高温状态下硅溶液的容器，在制备单晶硅的过程中与高温硅溶液直接接触，石英坩埚的品质对单晶硅的品质有很大影响。
[0003]在保证石英坩埚的品质要求的前提下，为降低生产成本，石英坩埚常常被分为三层来制备，分别为外层、中层和内层，石英坩埚一般在石英坩埚模具中制备完成，石英坩埚模具呈筒状，包含球形的底面、圆柱形的侧壁以及连接底面和侧壁的平滑圆弧，石英坩埚的模具一般安装在能旋转和倾斜的安装座上，且石英坩埚模具能够随安装座旋转和倾斜，将安装座倾斜后，再令安装座旋转，通过在石英坩埚模具的侧壁和圆弧处进行人工加料，将石英砂洒在坩埚模具内壁上，当加料到一定厚度后，再通过成型棒进行压料直至石英砂被压实，完成对石英坩埚侧壁和圆弧的制备后，再将安装座调整为竖直状态，用同样的人工加料的方式制备石英坩埚的底部。
[0004]石英坩埚的三层结构均由以上方式制备完成，且自外层至内层所使用的石英砂的纯度依次升高、颗粒逐渐减小，由于石英坩埚的内层与高温硅溶液直接接触，直接影响了单晶硅成品的品质，故石英坩埚的内层的制备要求较高，除了使用高纯度石英砂外，为保证受热均匀还应保证石英坩埚的厚度均匀。
[0005]针对上述中的相关技术，在人工制备完石英坩埚的外层和中层后，若对石英坩埚内层的侧壁与圆弧处仍采用人工加料的方式，则存在由于人工上料用量不均匀和压实力度不均而造成石英坩埚内层的侧壁与圆弧处厚度不均的情况。
技术实现思路
[0006]本申请的目的是提供一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，能够使制备出的石英坩埚内层的侧壁与圆弧处的厚度均匀。
[0007]本申请提供的一种用于制备石英坩埚内层的加料装置采用如下的技术方案：
[0008]一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，包括安装组件和喷料机构，所述喷料机构与所述安装组件固定连接，所述喷料机构包括加料箱、进料管和喷料头，所述喷料头包括喷头外壳，所述喷头外壳的侧壁上开设有喷料口，所述进料管的一端与所述加料箱的底面固定连接并与所述加料箱的内部空间连通，另一端与所述喷头外壳固定连接并与所述喷头外壳的内部空间连通，所述喷料头还包括位于所述喷头外壳内部且能够绕所述喷头外壳的中心轴旋转的若干叶片和第一驱动件，所述第一驱动件与所述喷头外壳固定连接，所述第一驱动件能够驱动所述叶片转动。
[0009]通过采用上述技术方案，操作者操作安装组件，将喷料头置于石英坩埚模具内部，
再将高纯度石英砂灌入加料箱中，在重力作用下，高纯度石英砂能够通过进料管进入喷头外壳中，落到叶片表面，启动第一驱动件后，叶片绕喷头外壳的中心轴旋转，叶片带动落在其表面的高纯度石英砂旋转，在离心力作用下，高纯度石英砂从喷料口喷出，喷至石英坩埚模具上已经制备完成的石英坩埚的中层的内侧壁以及圆弧内壁上，通过调节第一驱动件的输出转速调节改变高纯度石英砂的喷出速度，进而通过控制喷料时间来控制高纯度石英砂喷出的量以及石英坩埚内层侧壁以及圆弧处的厚度，通过这种方式能保证出砂均匀，制成的石英坩埚内层紧实致密，不需要再用成型棒进行人工压实。
[0010]可选的，所述进料管与所述喷头外壳固定连接的一端位于所述叶片靠近靠近所述叶片的旋转中心一端的上方区域。
[0011]通过采用上述技术方案，能够令高纯度石英砂被充分加速，使喷出的高纯度石英砂能够充分附着于石英坩埚的中层，减少高纯度石英砂的浪费。
[0012]可选的，所述喷料头还包括进风组件，所述进风组件与所述喷头外壳固定连接，所述进风组件能够连通外部空间与所述喷头外壳的内部空间。
[0013]通过采用上述技术方案，所述进风组件能够起到平衡喷头外壳内外气压的作用，从而保证喷料头能够均匀出砂。
[0014]可选的，所述进风组件包括壳体，所述壳体的顶部开设有进风口，所述壳体的侧壁开设有出风口。
[0015]通过采用上述技术方案，能够使风均布于喷头外壳中，减少进风冲击叶片表面造成出砂不稳定的可能性。
[0016]可选的，在所述壳体顶部的所述进风口处固定密封连接有滤网，所述滤网能够连通外界与所述壳体内部。
[0017]通过采用上述技术方案，滤网能够过滤空气中较大的杂质，以免杂质进入到喷头外壳中对高纯度石英砂造成污染。
[0018]可选的，所述进风组件还包括若干隔板，每个所述隔板均竖直排布于所述壳体内部，每两个所述隔板之间形成进风通道，所述进风通道分别与所述进风口与所述出风口相连通。
[0019]通过采用上述技术方案，能够进一步使喷头外壳内的进风均匀。
[0020]可选的，所述喷料机构还包括固定管，所述固定管一端与所述安装组件固定连接，另一端与所述喷头外壳固定连接。
[0021]通过采用上述技术方案，由于进料管远离固定于安装组件的一端为自由端且安装有内含能够旋转的叶片的喷头外壳，进料管远离安装组件的一端在加料装置启动后存在难以稳定自身位置的问题，固定管的加固作用可以保证进料管远离安装组件的一端以及喷头外壳能够稳定自身位置，提高出砂的稳定性。
[0022]可选的，所述安装组件包括控制柜、导引管和连接管，所述导引管竖直安装在所述控制柜上并与所述控制柜滑动连接，所述导引管能够相对于所述控制柜水平滑动，所述连接管一端与所述导引管滑动连接，另一端与所述进料管固定连接，所述连接管能够相对于所述导引管竖直滑动。
[0023]通过采用上述技术方案，安装组件能够将喷料头移送至石英坩埚模具内部，并在加料装置启动后，以一定的速度上下或水平移动喷料头，使喷料头喷出的石英砂均匀附着
于石英坩埚的侧壁以及圆弧处。
[0024]综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：
[0025]1.通过设置加料箱、进料管与喷料头，并在喷料头内加入能够旋转的叶片，能够将加料箱中的石英砂通过喷料头喷出加料装置；
[0026]2.通过设置进风组件，能够保持喷头外壳内的气压平衡，从而保证喷料头能够均匀出砂；
[0027]3.通过设置能够相对控制柜水平滑动的导引管以及能够相对导引管竖直滑动的连接管，且连接管与进料管固定连接，能够将喷料头按照需求移送至固定位置或按照需求带动喷料头上下或水平移动。
附图说明
[0028]图1是本申请实施例的整体结构示意图；
[0029]图2是本申请实施例的剖视结构示意图；
[0030]图3是本申请实施例中进风组件的剖视结构示意图。
[0031]图中，1、安装组件；11、控制柜；111、第二驱动件；112、滑槽；113、滚轮；12、导引管；121、滑块；1211、第一螺纹孔；122、第三驱动件；123、导引槽；13、连接管；131、连接块；1311、第二螺纹孔；132、出线口；2、喷料机构；21、加料箱；22、进料管；23、喷料头；23本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，其特征在于，包括安装组件（1）和喷料机构（2），所述喷料机构（2）与所述安装组件（1）固定连接，所述喷料机构（2）包括加料箱（21）、进料管（22）和喷料头（23），所述喷料头（23）包括喷头外壳（231），所述喷头外壳（231）的侧壁上开设有喷料口（2311），所述进料管（22）的一端与所述加料箱（21）的底面固定连接并与所述加料箱（21）的内部空间连通，另一端与所述喷头外壳（231）固定连接并与所述喷头外壳（231）的内部空间连通，所述喷料头（23）还包括位于所述喷头外壳（231）内部且能够绕所述喷头外壳（231）的中心轴旋转的若干叶片（233）和第一驱动件（235），所述第一驱动件（235）与所述喷头外壳（231）固定连接，所述第一驱动件（235）能够驱动所述叶片（233）转动。2.根据权利要求1所述的一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，其特征在于，所述进料管（22）与所述喷头外壳（231）固定连接的一端位于所述叶片（233）靠近所述叶片（233）的旋转中心一端的上方区域。3.根据权利要求1所述的一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，其特征在于，所述喷料头（23）还包括进风组件（232），所述进风组件（232）与所述喷头外壳（231）固定连接，所述进风组件（232）能够连通外部空间与所述喷头外壳（231）的内部空间。4.根据权利要求3所述的一种用于制备石英坩埚内层的加料装置，其特征在于，所述进风组件（232）包括壳体（2321），所...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴佩芳，李和栋，徐振华，赵呈旭，
申请(专利权)人：江苏新熠阳高新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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