一种晶圆自动抓取结构制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆转运技术领域，尤其涉及一种晶圆自动抓取结构，包括底板和支板，所述支板设置有两个且一端和底板固定连接，支板远离底板的一端固定连接有顶板，顶板开设有凹槽；输送机构，其固定安装在底板上；移动机构，其安装在顶板上，所述移动机构动力输出端固定连接有推动机构；负压机，与推动机构固定连接；收集箱，其固定安装在一侧支板上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板上安装有控制面板，控制面板用于控制输送机构、移动机构以及推动机构的开闭。本实用新型专利技术提供的晶圆自动抓取结构不仅可以对对晶圆进行抓取，而且可以将晶圆移动到指定位置进行收集，同时提供了缓冲结构，避免抓取时晶圆损坏，操作简单，实用性强。实用性强。实用性强。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆自动抓取结构


[0001]本技术涉及晶圆转运
，尤其涉及一种晶圆自动抓取结构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
[0003]现有的晶圆自动抓取结构虽然能够对晶圆进行抓取，但是还存在一些问题，第一，目前的抓取结构不方便将晶圆抓取到指定位置以进行统一存储，第二，目前的抓取结构未提供缓冲，在抓取时容易造成晶圆损坏，故需要一种晶圆自动抓取结构以解决上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术实施例的目的在于提供一种晶圆自动抓取结构，旨在解决以下问题：现有的晶圆自动抓取结构不方便将晶圆抓取到指定位置且未提供缓冲。
[0005]本技术实施例是这样实现的，一种晶圆自动抓取结构，包括：底板和支板，所述支板设置有两个且一端和底板固定连接，支板远离底板的一端固定连接有顶板，顶板开设有凹槽；输送机构，其固定安装在底板上，用于对晶圆进行输送；移动机构，其安装在顶板上，所述移动机构动力输出端固定连接有推动机构，移动机构用于带动推动机构移动；负压机，与推动机构固定连接，推动机构用于带动负压机上升或下降，负压机用于对晶圆进行吸附；收集箱，其固定安装在一侧支板上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板上安装有控制面板，控制面板用于控制输送机构、移动机构以及推动机构的开闭。
[0006]优选地，所述输送机构包括：固定板，其固定安装在底板上，两侧所述固定板上转动安装有输送辊，输送辊一端固定连接有安装在固定板上的第一动力件；输送带，其设置在输送辊上，输送带可在输送辊的转动下带动晶圆移动。
[0007]优选地，所述移动机构包括：第二动力件，其固定安装在顶板一侧，所述第二动力件输出轴固定连接第一齿轮，第一齿轮输出轴固定连接有第二齿轮；丝杆，其两端和顶板所开设凹槽转动连接且和第二齿轮转轴固定连接，第二齿轮用于带动丝杆转动；螺纹块，其螺纹套设在丝杆上，推动机构和螺纹块固定连接，螺纹块可在丝杆的转动下带动推动机构移动；滑槽，其固定设置在凹槽内，滑槽内滑动设置有安装在螺纹块上的滑轮。
[0008]优选地，所述推动机构包括：支撑箱，与移动机构动力输出端固定连接，所述支撑箱内固定设置有第三动力件，第三动力件输出轴固定连接有主动锥齿轮；螺纹柱，其两端和支撑箱内壁转动连接，螺纹柱一侧固定连接有和主动锥齿轮啮合的从动锥齿轮；限转柱，其两端和支撑箱内壁固定连接，限转柱上套设有和螺纹柱螺纹连接的螺纹板，螺纹板可在螺纹柱的转动下沿着限转柱移动；拉杆，其一端设置在支撑箱内且和螺纹板固定连接，另一端设置在支撑箱外且固定连接有缓冲组件，负压机和缓冲组件固定连接。
[0009]优选地，所述缓冲组件包括：连板，与拉杆固定连接，所述连板上固定设置有套筒，
套筒设置有多个且滑动设置有套杆，负压机和套杆固定连接；缓冲簧，其两端分别和套筒及负压机固定连接，用于对负压机提供缓冲。
[0010]本技术提供的晶圆自动抓取结构不仅可以对对晶圆进行抓取，而且可以将晶圆移动到指定位置进行收集，同时提供了缓冲结构，避免抓取时晶圆损坏，操作简单，实用性强。
附图说明
[0011]图1为晶圆自动抓取结构结构示意图。
[0012]图2为晶圆自动抓取结构结构的推动机构示意图。
[0013]图3为晶圆自动抓取结构结构的缓冲组件示意图。
[0014]附图中：1
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底板，2
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支板，3
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顶板，4
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输送机构，5
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移动机构，6
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推动机构，7
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负压机，8
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收集箱，9
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控制面板，41
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固定板，42
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输送辊，43
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第一动力件，44
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输送带，51
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第二动力件，52
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第一齿轮，53
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第二齿轮，54
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丝杆，55
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螺纹块，56
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滑槽，57
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滑轮，61
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支撑箱，62
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第三动力件，63
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主动锥齿轮，64
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螺纹柱，65
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从动锥齿轮，66
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限转柱，67
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螺纹板，68
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拉杆，69
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缓冲组件，691
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连板，692
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套筒，693
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套杆，694
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缓冲簧。
具体实施方式
[0015]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不限定本技术。
[0016]以下结合具体实施例对本技术的具体实现进行详细描述。
[0017]请参阅图1，本技术实施例提供的一种晶圆自动抓取结构，所述晶圆自动抓取结构包括：
[0018]底板1和支板2，所述支板2设置有两个且一端和底板1固定连接，支板2远离底板1的一端固定连接有顶板3，顶板3开设有凹槽；输送机构4，其固定安装在底板1上，用于对晶圆进行输送；移动机构5，其安装在顶板3上，所述移动机构5动力输出端固定连接有推动机构6，移动机构5用于带动推动机构6移动；负压机7，与推动机构6固定连接，推动机构6用于带动负压机7上升或下降，负压机7用于对晶圆进行吸附；收集箱8，其固定安装在一侧支板2上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板2上安装有控制面板9，控制面板9用于控制输送机构4、移动机构5以及推动机构6的开闭。
[0019]在使用该晶圆自动抓取结构时，晶圆可在输送机构4上进行输送，可通过控制面板9开启移动机构5，通过移动机构5带动推动机构6以及负压机7移动到晶圆将要移动的轨迹上，当晶圆快要经过负压机7时，通过控制面板9开启推动机构6，推动机构6即可带动负压机7接触到晶圆，开启负压机7，负压机7即可对晶圆进行吸附，吸附后，反向开启推动机构6，推动机构6即可带动晶圆向上移动，反向开启移动机构5，移动机构5即可带动负压机7移动到收集箱8的上侧，随后通过负压机7将晶圆放到收集箱8内进行收集即可。
[0020]如图1所示，作为本技术的一种优选实施例，所述输送机构4包括：固定板41，其固定安装在底板1上，两侧所述固定板41上转动安装有输送辊42，输送辊42一端固定连接有安装在固定板41上的第一动力件43；输送带44，其设置在输送辊42上，输送带44可在输送
辊42的转动下带动晶圆移动。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆自动抓取结构，包括底板和支板，其特征在于，所述支板设置有两个且一端和底板固定连接，支板远离底板的一端固定连接有顶板，顶板开设有凹槽；输送机构，其固定安装在底板上，用于对晶圆进行输送；移动机构，其安装在顶板上，所述移动机构动力输出端固定连接有推动机构，移动机构用于带动推动机构移动；负压机，与推动机构固定连接，推动机构用于带动负压机上升或下降，负压机用于对晶圆进行吸附；收集箱，其固定安装在一侧支板上，用于对晶圆进行存储，所述另一侧支板上安装有控制面板，控制面板用于控制输送机构、移动机构以及推动机构的开闭。2.根据权利要求1所述的晶圆自动抓取结构，其特征在于，所述输送机构包括：固定板，其固定安装在底板上，两侧所述固定板上转动安装有输送辊，输送辊一端固定连接有安装在固定板上的第一动力件；输送带，其设置在输送辊上，输送带可在输送辊的转动下带动晶圆移动。3.根据权利要求1所述的晶圆自动抓取结构，其特征在于，所述移动机构包括：第二动力件，其固定安装在顶板一侧，所述第二动力件输出轴固定连接第一齿轮，第一齿轮输出轴固定连接有第二齿轮；丝杆，其两端和顶板所开设凹...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭名君，
申请(专利权)人：芯湛半导体设备上海有限公司，
类型：新型
国别省市：