一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架制造技术

本专利具体为一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架，包括：传动轴、圆周轨道、行星架、旋转架、外壳体。所述工件转架的外壳体中设置有圆周轨道，且圆周轨道设置成偏心圆结构。所述工件转架由传动轴驱动，传动轴与圆周轨道之间安装有圆柱滚子轴承。传动轴上同轴心固定有行星架，由传动轴带动行星架转动。所述行星架上设置有多个旋转架，旋转架上的载物架之间两两组合，由连接扣进行连接，增加相邻载物架旋转过程中的协调一致性。所述旋转架中，载物架和联轴换向扣一端连接并设置为一整体，且联轴换向扣的另一端连接有滚轮，用于与圆周轨道的凹槽配合。工作过程中由行星架推动旋转架在圆周轨道上转动来实现翻转换面。架在圆周轨道上转动来实现翻转换面。架在圆周轨道上转动来实现翻转换面。

【技术实现步骤摘要】
一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架


[0001]本技术涉及真空离子镀膜领域，具体为一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架。

技术介绍

[0002]常见的真空镀膜工艺中对于有些工件需要双面镀膜，通常需将镀膜转架和工件一起从真空设备中取出，人工将工件取下翻转安装后，再进行第二次镀膜。但由于两次抽真空，操作繁琐，而且还难以保证膜层的洁净度，进而影响工件的镀膜质量。同时人工换面的过程又耗费人力资源，同时增加生产成本。此外在镀膜过程中随着靶材的不断消耗，不同旋转架之间由于翻转的不同步，会造成不同工件上某些位置的膜层厚度差异，减少了产品之间的膜层差异。
[0003]针对上述问题和研究现状，本专利设计了一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架。

技术实现思路

[0004]针对上述难题，本技术设计了一种新型的用于真空翻转镀膜的工件转架，包括：传动轴、圆周轨道、行星架、旋转架、外壳体。
[0005]进一步的是，所述圆周轨道的偏心孔和传动轴之间安放有圆柱滚子轴承。
[0006]进一步的是，所述圆周轨道上设置有轨道凹槽，其轨道凹槽与旋转架上的滚轮配合转动。
[0007]进一步的是，所述载物架内侧上设置有限位槽，侧边设置有密封端盖用于放置固定需要翻转的工件。
[0008]进一步的是，所述真空翻转镀膜的同步工件转架的旋转架有多个，且相邻两旋转架由上部连接扣相连，实现同步转动。
[0009]进一步的是，所述多个旋转架在真空翻转镀膜过程中的镀膜面始终保持平行。
[0010]进一步的是，所述传动轴有外部驱动系统驱动，带动其上的行星架转动，从而驱动行星架上的旋转架在圆周轨道上转动翻转。
[0011]进一步的是，所述用于真空翻转镀膜的同步工件转架，其特征在于：所述外壳体安装在工件转架的下部，用于防止载物架下部的机构在镀膜过程中被污染。
附图说明
[0012]图1是该新型真空翻转镀膜工件转架的三维示意图。图中标记为：1、传动轴；2、圆周轨道；3、行星架；4、旋转架；403、连接扣；403a、安装孔b；404、联轴换向扣；404a、安装孔c；5、外壳体。
[0013]图2该新型真空翻转镀膜工件转架的主要结构三维示意图。图中标记为：101、圆柱滚子轴承；201、偏心孔；202、轨道凹槽；301、安装孔a；302、中心孔；401、载物架；401a侧边端
盖；401b、限位槽；401c、支撑杆；402、连接轴；405、滚轮。
实施方式
[0014]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细说明：
[0015]如图1、2所示，一种用于真空翻转镀膜的工件转架，包括：传动轴、圆周轨道2、行星架3、旋转架4、外壳体。
[0016]所述传动轴1包括圆柱滚子轴承101。
[0017]优选的，圆柱滚子轴承101安放在圆周轨道2的偏心孔和传动轴1之间。
[0018]所述圆周轨道2包括偏心孔201、轨道凹槽202。
[0019]优选的是，所述圆周轨道2的轨道凹槽202与旋转架4上的滚轮405配合转动，且圆周轨道2设置成偏心圆结构。
[0020]所述行星架3包括安装孔a301、中心孔302。
[0021]优选的是，行星架3的中心孔302与传动轴1同轴心固定连接，行星架3上的安装孔a与旋转架4的支撑杆401c配合连接，由传动轴1驱动行星架3和其上的旋转架4在圆周轨道2上转动翻转。
[0022]所述旋转架4包括载物架401、连接轴402、连接扣403、联轴换向扣404。
[0023]优选的是，所述载物架401内侧上设置有限位槽401b，侧边设置有密封端盖401a用于放置固定需要翻转的工件。
[0024]进一步的是，所述多个旋转架4在真空翻转镀膜过程中的镀膜面始终保持平行。
[0025]所述外壳体5安装在工件转架的下部，用于防止载物架401下部的机构在镀膜过程中被污染。
[0026]具体地，本实施例的工作流程是：工人师傅将需要翻转的工件依次放入载物架401的限位槽401b中，盖上密封端盖401a，将工件转架放进真空镀膜室中。传动轴1在外部驱动系统作用下开始转动，同时带动行星架3和行星架3上的旋转架4在圆周轨道2上转动。由于圆周轨道2偏心圆的设计和联轴换向扣404的作用使多个旋转架4在绕圆周轨道2转动的时候会同时缓慢翻转，相邻两个载物架401上的连接扣403使多个旋转架4在翻转的过程中始终保持平行。从而达到在真空度膜过程中，工件自动翻面同步镀膜的功能。
[0027]本技术的有益效果是：通过设计了一种新型的真空翻转同步镀膜的工件转架。在镀双面膜层工件时，在不影响工艺质量要求的前提避免了两次抽真空和中途工人手动换面的问题。同时多个旋转架的同步转动可以减少因靶材消耗对不同工件镀膜厚度不同的影响。节约了生产成本，保证了膜层的洁净度。
[0028]以上仅为本技术之较佳实施例之一，凡在本技术的精神和原则内经修改、改进、等同或等效变换等形成的技术方案，均应当包含在本专利权利要求所限定的范围内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种新型的用于真空翻转镀膜的同步工件转架，其特征在于，包括：传动轴（1）、圆周轨道(2)、行星架(3)、旋转架(4)、外壳体（5）；所述圆周轨道(2)中部设置有偏心孔（201），外部设置有轨道凹槽（202），且圆周轨道(2)设置成偏心圆结构；所述行星架(3)的中心孔（302）与传动轴（1）同轴心固定连接，行星架(3)上的安装孔a与旋转架(4)的支撑杆(401c)配合连接；所述旋转架(4)包括载物架（401）、连接轴(402)、连接扣(403)、联轴换向扣(404)；载物架（401）上部设置有连接轴(402)，相邻两个载物架（401）之间通过连接轴(402)与连接扣(403)上的安装孔b(403a)进行配合连接；载物架（401）下部的支撑杆(401c)和联轴换向扣(404)一端的安装孔c(404a)连接，并设置为一整体，联轴换向扣(404)的另一端安装口c连接有滚轮（405），滚轮（405）与圆周轨道(2)的轨道凹槽（202）配合。2.根据权利要求1所述的用于真空翻转镀膜的同步工件转架，其特征在于：所述圆周轨道(2)的偏心孔（201）和传动轴(1)之间安放有圆柱滚子轴承（101）。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宾宾，鄢强，宋慧瑾，
申请(专利权)人：成都大学，
类型：新型
国别省市：