本申请提供一种辅助水泵卸载装置，涉及半导体技术领域。所述辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件和第二吊具组件。所述第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，所述第一连接杆与所述支撑底座固定连接。所述第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，所述吊杆一端与所述第二连接杆固定连接，所述吊杆另一端与所述搬运组件连接。所述第一吊具组件与所述第二吊具组件通过所述第一连接杆与所述第二连接杆连接，所述支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以便通过所述搬运组件对水泵进行卸载作业。对水泵进行卸载作业。对水泵进行卸载作业。
【技术实现步骤摘要】
辅助水泵卸载装置
[0001]本申请涉及半导体
，具体而言，涉及一种辅助水泵卸载装置。
技术介绍
[0002]水泵为众多半导体制作设备(比如，薄膜制作设备)提供真空，用以辅助并提高半导体制作设备在高真空状态下的制冷保障，水泵由水泵主体、钢盲板、冷凝板等组成，且自身重量较大。
[0003]在现有技术中，无论是对水泵进行更换、保养还是维修，都需要将水泵抬出后再进行操作，由于水泵质量较大，且水泵在半导体制作设备中所处的安装环境比较狭窄，以至于在狭窄的操作空间内需要至少四名操作人员将水泵抬出，待维修保养完成后，再将水泵归位。上述的操作方式非常不方便，且对于操作人员而言存在不小的安全隐患。而目前市面上存在的吊具普遍体积偏大、整体不够便携、安装过程麻烦且存在需要电源供给的问题，另外水泵及半导体制作设备所在的环境无法为吊具提供用于固定的墙壁。为此，如何设计一个体积小、无电源、便安装、便携带且可减少参与操作人员的吊具，成为本领域技术人员急需解决的问题。
技术实现思路
[0004]为了至少克服现有技术中的上述不足，本申请的目的在于提供一种辅助水泵卸载装置。
[0005]第一方面，本申请实施例提供一种辅助水泵卸载装置，所述辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件、第二吊具组件。
[0006]所述第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，所述第一连接杆与所述支撑底座固定连接，其中，所述第一连接杆与所述支撑底座相互垂直。
[0007]所述第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，所述吊杆一端与所述第二连接杆固定连接，所述吊杆另一端与所述搬运组件连接，所述搬运组件用于对待装卸的水泵进行搬运，其中，所述吊杆与所述第二连接杆相互垂直。
[0008]所述第一吊具组件与所述第二吊具组件通过所述第一连接杆与所述第二连接杆连接，所述支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以使所述吊杆以及所述搬运组件位于在所述待装卸的水泵的上方，以便通过所述搬运组件对水泵进行卸载作业。
[0009]在一种可能的实现方式中，所述支撑底座包括相互垂直的第一支撑底座与第二支撑底座，所述第一支撑底座的一端与所述第二支撑底座的一端连接固定，所述第一连接杆一端与所述第一支撑底座和所第二支撑底座的连接处固定连接，其中，所述第一连接杆的延伸方向和所述第一支撑底座与所述第二支撑底座形成的支撑面垂直。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述第一支撑底座和所述第二支撑底座为凹槽结构。
[0011]所述第一支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第一锁定结构，所述第二支
撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第二锁定结构，所述第一锁定结构设置在所述第一支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上，所述第二锁定结构设置在所述第二支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上。
[0012]所述辅助水泵卸载装置还包括第一固定件。
[0013]所述第一支撑底座通过所述第一固定件与所述第一锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定，所述第二支撑底座通过所述固定件与所述锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定。
[0014]在一种可能的实现方式中，所述第一连接杆远离所述支撑底座的一端设置有多个第一配合孔，所述第二连接杆远离所述吊杆的一端设置有多个与所述第一配合孔对应的第二配合孔。
[0015]所述辅助水泵卸载装置还包括第二固定件，所述第二固定件通过锁定对位重合的所述第一配合孔与所述第二配合孔将所述第一吊具组件与所述第二吊具组件固定。
[0016]在一种可能的实现方式中，多个所述第一配合孔在所述第一连接杆上沿所述第一连接杆的延伸方向排布，多个所述第二配合孔在所述第二连接杆上沿所述第二连接杆的延伸方向排布。
[0017]在一种可能的实现方式中，所述吊杆包括相对设置的第一侧壁、第二侧壁、以及连接在第一侧壁与所述第二侧壁之间的底壁，所述第一侧壁与所述第二侧壁设置在所述底壁的同一侧。
[0018]所述吊杆在靠近所述搬运组件的一端设置有多个调节孔，多个所述调节孔贯穿所述第一侧壁与所述第二侧壁。
[0019]所述第二连接杆与所诉底壁连接固定；
[0020]所述辅助水泵卸载装置还包括第三固定件，所述搬运组件设置在所述第一侧壁与所述第二侧壁之间，通过所述第三固定件与所述调节孔的配合实现与所述吊杆连接。
[0021]多个所述调节孔用于调整所述搬运组件与所述吊杆的相对位置，多个所述调节孔的排列方向与所述吊杆的延伸方向相同。
[0022]在一种可能的实现方式中，所述第一吊具组件包括第一肋板、第二肋板以及第三肋板。
[0023]所述第一肋板设置在所述第一连接杆与所述第一支撑底座之间，所述第一肋板用于加固所述第一连接杆与所述第一支撑底座的连接。
[0024]所述第二肋板设置在所述第一连接杆与所述第二支撑底座之间，所述第二肋板用于加固所述第一连接杆与所述第二支撑底座之间的连接。
[0025]所述第三肋板设置在所述第一支撑底座与所述第二支撑底座之间，所述第三肋板用于加固所述第一支撑底座与所述第二支撑底座之间的连接。
[0026]在一种可能的实现方式中，所述第二吊具组件还包括加固杆。
[0027]所述加固杆的一端与所述第二连接杆连接，所述加固杆的另一端与所述底壁连接，且设置在第一侧壁与第二侧壁之间，所述加固杆用于加固所述第二连接杆与所述吊杆的连接。
[0028]在一种可能的实现方式中，所述第一连接杆与所述第二连接杆均为空心圆管，所述第一连接杆的空心半径大于所述第二连接杆的外半径。
[0029]在一种可能的实现方式中，所述搬运组件包括环链葫芦。
[0030]基于上述任意一个方面，本申请实施例提供的辅助水泵卸载装置，有益效果在于通过将所述辅助水泵卸载装置设计为两个部分，且各个部分的质量都比较轻；将所述第一吊具与所述第二吊具通过孔轴配合的形式固定在一起；将所述辅助水泵卸载装置与容置水泵的设备进行安装固定；利用省力的环链葫芦通过手摇的方式对水泵卸载或安装，相对于现有技术而言，上述方案使本申请提供的辅助水泵卸载装置携带方便、安装简单、无需提供用于安装的墙壁或地面以及无需电源供给，使针对水泵的相关操作更加高效快捷，且保证了操作人员的安全。
附图说明
[0031]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要调用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本申请的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其它相关的附图。
[0032]图1为本申请提供的辅助水泵卸载装置的结构示意图之一；
[0033]图2为图1中第一吊具组件的结构示意图；
[0034]图3为辅助水泵卸载装置与半导体制造设备的连接位置关系示意图；
[0035]图4为第一连接杆与第二连接杆的连接位置关系示意图；
[0036]图5为环链葫芦与吊本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述辅助水泵卸载装置包括：第一吊具组件和第二吊具组件；所述第一吊具组件包括支撑底座与第一连接杆，所述第一连接杆与所述支撑底座固定连接，其中，所述第一连接杆与所述支撑底座相互垂直；所述第二吊具组件包括第二连接杆、吊杆以及搬运组件，所述吊杆一端与所述第二连接杆固定连接，所述吊杆另一端与所述搬运组件连接，所述搬运组件用于对待装卸的水泵进行搬运，其中，所述吊杆与所述第二连接杆相互垂直；所述第一吊具组件与所述第二吊具组件通过所述第一连接杆与所述第二连接杆连接，所述支撑底座与容置水泵的半导体制作设备的壳体固定连接，以使所述吊杆以及所述搬运组件在所述待装卸的水泵的上方，以便通过所述搬运组件对水泵进行卸载作业。2.根据权利要求1所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述支撑底座包括相互垂直的第一支撑底座与第二支撑底座，所述第一支撑底座的一端与所述第二支撑底座的一端连接固定，所述第一连接杆一端固定连接在所述第一支撑和所第二支撑的连接处，其中，所述第一连接杆的延伸方向和所述第一支撑底座与所述第二支撑底座形成的支撑面垂直。3.根据权利要求2所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第一支撑底座和所述第二支撑底座为凹槽结构；所述第一支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第一锁定结构，所述第二支撑底座远离所述第一连接杆的一端设置有第二锁定结构，所述第一锁定结构设置在所述第一支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上，所述第二锁定结构设置在所述第二支撑底座中凹槽结构的相对两侧侧壁上；所述辅助水泵卸载装置还包括第一固定件；所述第一支撑底座通过所述第一固定件与所述第一锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定，所述第二支撑底座通过所述第一固定件与所述第二锁定结构的配合实现与半导体制作设备的壳体固定。4.根据权利要求3所述的辅助水泵卸载装置，其特征在于，所述第一连接杆远离所述支撑底座的一端设置有多个第一配合孔，所述第二连接杆远离所述吊杆的一端设置有多个与所述第一配合孔对应的第二配合孔；所述辅助水泵卸载装置还包括第二固定件，所述第二固定件通过锁定重合的所述第一配...
【专利技术属性】
技术研发人员：路龙，冯峄，王子彤，任建龙，李跃辉，邱洪帅，唐克，王亮，
申请(专利权)人：吉林麦吉柯半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。