一种泄压装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及防爆技术领域，特别涉及一种泄压装置。该泄压装置包括用于与抽气管道连接的第一泄压结构；所述第一泄压结构包括：第一连接管、第一法兰、压盖和防爆阀罩；所述第一连接管的一端与所述抽气管道连接，所述第一连接管的另一端与所述第一法兰的第一开孔处连接，所述第一法兰与所述防爆阀罩密封连接，所述压盖与所述第一法兰朝向所述防爆阀罩的一端密封连接；所述抽气管道内的气压瞬间达到预设值，所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动，所述抽气管道与所述防爆阀罩的内腔连通，以对所述抽气管道泄压。本申请提供的泄压装置，用于改善现有技术中，真空设备中瞬间产生的高压无法快速的消除的问题。快速的消除的问题。快速的消除的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种泄压装置


[0001]本专利技术涉及防爆
，特别涉及一种泄压装置。

技术介绍

[0002]碳化硅炉是一种真空设备，在晶体生长之前需要进行抽真空操作，再通入氮气、氩气等惰性气体以及氢气。其中，惰性气体不参与反应，氢气作为还原气体参与反应，且氢气为一种活泼气体不稳定，在非正常运行条件下，真空设备中有可能发生压力猛然升高情况，此时若无保护机制则对产品生产会有不利影响，且压力过高会对设备产生损害甚至会有爆炸风险，对生产人员生命健康造成威胁。
[0003]但是，现有技术中的真空设备对瞬间产生的高压难以在短时间内进行消除，因此，亟待一种新型的设备，以对真空设备瞬间产生的高压进行消除，降低对生产人员的威胁，且能够保证真空设备的正常运行。

技术实现思路

[0004]本专利技术提供了一种泄压装置，用于改善现有技术中，真空设备中瞬间产生的高压无法快速的消除的问题。
[0005]为达到上述目的，本专利技术提供以下技术方案：
[0006]一种泄压装置，包括：用于与抽气管道连接的第一泄压结构；
[0007]所述第一泄压结构包括：第一连接管、第一法兰、压盖和防爆阀罩；
[0008]所述第一连接管的一端与所述抽气管道连接，所述第一连接管的另一端与所述第一法兰的第一开孔处连接，所述第一法兰与所述防爆阀罩密封连接，所述压盖与所述第一法兰朝向所述防爆阀罩的一端密封连接；
[0009]所述抽气管道内的气压瞬间达到预设值，所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动，所述抽气管道与所述防爆阀罩的内腔连通，以对所述抽气管道泄压。
[0010]本申请提供的泄压装置包括第一泄压结构，其中，第一泄压结构包括用于与抽气管道连通的第一连接管，第一连接管远离抽气管道的一端与第一法兰的第一开孔处固定连接，第一法兰还与防爆阀罩固定连接，且第一法兰朝向防爆阀罩的一端连接有压盖，当抽气管道内的气压瞬间达到预设值的时候，压盖会向远离第一法兰的一端移动，进而使压盖与第一法兰之间产生间隙，以使抽气管道内的气体通过第一连接管以及间隙进入到防爆阀罩内，从而可以将抽气管道内的高压高效的释放。此外，抽气管道内的气体进入到防爆阀罩内后，由于，防爆阀罩为密封的空间，可以将气体进行收集，以便于气体的重复利用。
[0011]需要说明的是，待抽气管道内的气压释放完成后，还可以将压盖再次与第一法兰密封连接，以使真空设备中的气体通过抽气管道排出。
[0012]可选地，所述第一泄压结构还包括多个第一连接件和与所述第一连接件一一对应的弹性件；
[0013]所述压盖上设有安装孔，所述弹性件设置于所述安装孔，所述第一连接件穿过所
述弹性件与所述第一法兰连接。
[0014]可选地，所述第一泄压结构还包括第二法兰，所述第二法兰设置于所述第一法兰和所述防爆阀罩之间，且所述第二法兰的第二开孔与所述压盖之间存在间隙，以使所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动时，所述抽气管道通过所述间隙与所述防爆阀罩的内腔连通。
[0015]可选地，所述第一泄压结构还包括第一密封圈，所述第一密封圈设置于所述第一法兰和所述第二法兰之间。
[0016]可选地，所述第一泄压结构还包括第二密封圈，所述第二密封圈设置于所述第一法兰与所述压盖之间。
[0017]可选地，所述第一泄压结构还包括多个第二连接件，多个所述第二连接件穿过所述第一法兰与所述防爆阀罩连接。
[0018]可选地，所述泄压装置还包括第二泄压结构，所述第二泄压结构用于与所述抽气管道连接；
[0019]其中，所述第一泄压结构的泄压速度大于所述第二泄压结构的泄压速度。
[0020]可选地，所述第二泄压结构包括第二连接管和泄压阀，所述第二连接管的一端与所述抽气管道连通，所述第二连接管的另一端与所述泄压阀连通，其中，所述第二连接管的内径小于所述第一连接管的内径。
[0021]可选地，所述第二泄压结构还包括第三连接管，所述第三连接管的一端与所述泄压阀连通，所述第三连接管的另一端与所述防爆阀罩的内腔连通。
[0022]可选地，所述防爆阀罩上设置有废气收集口，所述废气收集口用于与废气收集管连通。
附图说明
[0023]图1为本专利技术实施例提供的泄压装置与抽气管道连接的剖视图；
[0024]图2为本专利技术实施例提供的泄压装置与抽气管道连接的结构示意图。
[0025]图标：1
‑
第一连接管；2
‑
第一法兰；3
‑
压盖；4
‑
防爆阀罩；5
‑
抽气管道；6
‑
第一连接件；7
‑
弹性件；8
‑
第二法兰；9
‑
第一密封圈；10
‑
第二密封圈；11
‑
第二连接件；12
‑
第二连接管；13
‑
泄压阀；14
‑
第三连接管；15
‑
废气收集管。
具体实施方式
[0026]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0027]如图1和图2所示，本实施例提供的一种泄压装置包括：用于与抽气管道5连接的第一泄压结构；
[0028]所述第一泄压结构包括：第一连接管1、第一法兰2、压盖3和防爆阀罩4；
[0029]所述第一连接管1的一端与所述抽气管道5连接，所述第一连接管1的另一端与所述第一法兰2的第一开孔处连接，所述第一法兰2与所述防爆阀罩4密封连接，所述压盖3与
所述第一法兰2朝向所述防爆阀罩4的一端密封连接；
[0030]所述抽气管道5内的气压瞬间达到预设值，所述压盖3向远离所述第一法兰2的一端移动，所述抽气管道5与所述防爆阀罩4的内腔连通，以对所述抽气管道5泄压。
[0031]本申请提供的泄压装置包括第一泄压结构，其中，第一泄压结构包括用于与抽气管道5连通的第一连接管1，第一连接管1远离抽气管道5的一端与第一法兰2的第一开孔处固定连接，第一法兰2还与防爆阀罩4固定连接，且第一法兰2朝向防爆阀罩4的一端连接有压盖3，当抽气管道5内的气压瞬间达到预设值的时候，压盖3会向远离第一法兰2的一端移动，进而使压盖3与第一法兰2之间产生间隙，以使抽气管道5内的气体通过第一连接管1以及间隙进入到防爆阀罩4内，从而可以将抽气管道5内的高压高效的释放。
[0032]此外，待抽气管道5内的气压释放完成后，还可以将压盖3再次与第一法兰2密封连接，以使真空设备中的气体通过抽气管道5排出。
[0033]需要说明的是，预设值可以但不限定为0.12Mpa。
[0034]在一种可能的实施例中，第一泄压结构还可以包括多个第一连接件6和多本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种泄压装置，其特征在于，包括：用于与抽气管道连接的第一泄压结构；所述第一泄压结构包括：第一连接管、第一法兰、压盖和防爆阀罩；所述第一连接管的一端与所述抽气管道连接，所述第一连接管的另一端与所述第一法兰的第一开孔处连接，所述第一法兰与所述防爆阀罩密封连接，所述压盖与所述第一法兰朝向所述防爆阀罩的一端密封连接；所述抽气管道内的气压瞬间达到预设值，所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动，所述抽气管道与所述防爆阀罩的内腔连通，以对所述抽气管道泄压。2.根据权利要求1所述的泄压装置，其特征在于，所述第一泄压结构还包括多个第一连接件和与多个所述第一连接件一一对应的弹性件；所述压盖上设有安装孔，所述弹性件设置于所述安装孔，所述第一连接件穿过所述弹性件与所述第一法兰连接。3.根据权利要求2所述的泄压装置，其特征在于，所述第一泄压结构还包括第二法兰，所述第二法兰设置于所述第一法兰和所述防爆阀罩之间，且所述第二法兰的第二开孔与所述压盖之间存在间隙，以使所述压盖向远离所述第一法兰的一端移动时，所述抽气管道通过所述间隙与所述防爆阀罩的内腔连通。4.根据权利要求3所述的泄压装置，其特征在于，所述第一泄压结构还包括第一密封圈，所述第一密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏树胜，关树军，齐孟宗，靳秋诚，
申请(专利权)人：北京京运通科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：