一种半导体尾气处理燃烧水冷装置制造方法及图纸

技术编号:39189694 阅读:17 留言:0更新日期:2023-10-27 08:36
本发明专利技术公开了一种半导体尾气处理燃烧水冷装置,本发明专利技术包括底座、处理箱、水箱、过滤网和活性炭吸附网,处理箱一表面开设有连接槽,连接槽内安装有连接块,连接块一表面设置有卡槽,处理箱两侧面均安装有安装槽,安装槽内安装有第一弹簧,第一弹簧连接有移动块,移动块连接有卡块,安装槽一表面设置有限位槽,限位槽内安装有拉杆,过滤网与处理箱卡装配合。本发明专利技术通过设置过滤网与排放管卡装配合,拉动拉杆,拉杆通过移动块带动卡块进行滑动,当卡块完全从卡槽内抽出后,然后向一侧拉动过滤网,将插块从插槽内抽出,即完成对过滤网进行拆卸,方便操作,方便过滤网后续的拆卸和更换,且方便对过滤网进行清理,防止堵塞。防止堵塞。防止堵塞。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体尾气处理燃烧水冷装置


[0001]本专利技术属于水冷装置加工领域,特别是涉及一种半导体尾气处理燃烧水冷装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用,如二极管就是采用半导体制作的器件。无论从科技或是经济发展的角度来看,半导体的重要性都是非常巨大的。大部分的电子产品,如计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关联。常见的半导体材料有硅、锗、砷化镓等,硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种。物质存在的形式多种多样,固体、液体、气体、等离子体等等。我们通常把导电性差的材料,如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体。而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体。可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体。与导体和绝缘体相比,半导体材料的发现是最晚的,直到20世纪30年代,当材料的提纯技术改进以后,半导体的存在才真正被学术界认可。
[0003]半导体在加工过程中,经常会产生大量的尾气,而半导体的尾气存在大量的有毒物质,为了保障工作人员的安全性以及环境的清洁性,需要用到尾气处理装置,现有的尾气处理装置大多都具备过滤机构对尾气进行过滤,但是现有的尾气处理装置内部的过滤机构大都是固定安装,不方便后续的拆卸更换和清理,为解决上述问题,现提出一种半导体尾气处理燃烧水冷装置。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种半导体尾气处理燃烧水冷装置,通过设置设置水泵、输水管和若干喷头,水泵通过输水管能够对喷头进行喷水,能够实现对半导体尾气的降温的作用,实现水冷的功能,并且能够使得半导体尾气中的颗粒物进行沉淀;所述过滤网与处理箱卡装配合,设置过滤网与排放管卡装配合,过滤网能够对尾气中的杂质进行过滤,拉动拉杆,拉杆通过移动块带动卡块进行滑动,当卡块完全从卡槽内抽出后,然后向一侧拉动过滤网,将插块从插槽内抽出,即完成对过滤网进行拆卸,方便操作,方便过滤网后续的拆卸和更换,且方便对过滤网进行清理,防止堵塞,解决了半导体在加工过程中,经常会产生大量的尾气,而半导体的尾气存在大量的有毒物质,为了保障工作人员的安全性以及环境的清洁性,需要用到尾气处理装置,现有的尾气处理装置大多都具备过滤机构对尾气进行过滤,但是现有的尾气处理装置内部的过滤机构大都是固定安装,不方便后续的拆卸更换和清理的问题。
[0005]为解决上述技术问题,本专利技术是通过以下技术方案实现的:
[0006]本专利技术为一种半导体尾气处理燃烧水冷装置,包括底座、处理箱、水箱、过滤网和活性炭吸附网,所述处理箱的一表面开设有若干连接槽,所述连接槽内安装有连接块,所述连接块与过滤网固定连接,所述连接块的一表面设置有卡槽,所述处理箱的两侧面均固定
安装有安装槽,所述安装槽内固定安装有第一弹簧,所述第一弹簧的一端固定连接有移动块,所述移动块的一表面固定连接有卡块,所述安装槽的一表面设置有限位槽,所述限位槽内安装有拉杆,所述拉杆的一端与移动块固定连接,所述水箱内固定安装有水泵,所述水泵的底面固定连接有输水管,所述输水管的周侧面固定连接有若干喷头,所述水泵的一侧面固定安装有抽水管,所述水箱的上表面开设有注水口,设置水泵、输水管和若干喷头,水泵通过输水管能够对喷头进行喷水,能够实现对半导体尾气的降温的作用,实现水冷的功能,并且能够使得半导体尾气中的颗粒物进行沉淀;所述过滤网与处理箱卡装配合,设置过滤网与排放管卡装配合,过滤网能够对尾气中的杂质进行过滤,拉动拉杆,拉杆通过移动块带动卡块进行滑动,当卡块完全从卡槽内抽出后,然后向一侧拉动过滤网,将插块从插槽内抽出,即完成对过滤网进行拆卸,方便操作,方便过滤网后续的拆卸和更换,且方便对过滤网进行清理,防止堵塞。
[0007]其中,所述处理箱的另一表面开设有若干插槽,所述插槽内安装有插杆,所述活性炭吸附网内开设有若干第一滑槽,所述第一滑槽内安装有第二弹簧,所述第二弹簧的一端固定连接有滑块,所述活性炭吸附网的两侧面均安装有若干推杆,所述推杆和插杆均与滑块固定连接,所述活性炭吸附网的一表面开设有若干第二滑槽,所述活性炭吸附网与处理箱卡装配合,设置活性炭吸附网与处理箱卡装配合,活性炭吸附网能够对半导体尾气中的有毒物质进行吸附,能够完成对尾气的净化,向内侧推动推动推杆,推杆通过滑块带动第一插杆进行移动,当第一插杆不再与插槽紧密贴合时,拉动活性炭吸附网即可对其进行拆卸,方便维修和更换。
[0008]其中,所述底座的上表面固定安装有安装套,所述安装套内安装有转杆,所述安装套的周侧面安装有螺栓,设置转杆,转杆能够带动处理箱进行多角度转动,能够实现多方位的尾气处理。
[0009]其中,所述转杆的上端固定连接有安装柱,所述安装柱内安装有升降杆,所述升降杆的上端与处理箱固定连接,所述安装柱的一表面开设有开槽,所述开槽内安装有滑杆,所述滑杆的一端与升降杆固定连接,所述滑杆的周侧面安装有螺帽,设置升降杆,拉动滑杆,滑杆能够带动升降杆进行升降,进一步带动处理箱进行升降,方便调节处理箱的高度,实现不同高度位置处的尾气的处理。
[0010]其中,所述移动块与安装槽滑动配合,所述拉杆与限位槽滑动配合,所述连接块与连接槽滑动配合,设置连接块与连接槽滑动配合,连接块插入连接槽内能够完成过滤网的安装,连接块从连接槽内抽出能够完成对过滤网的拆卸。
[0011]其中,所述所述卡块的一端安装在卡槽内,且卡块与卡槽滑动配合,设置卡块与卡槽滑动配合,卡块插入卡槽内即可完成对连接块的固定,卡块从卡槽内抽出方便连接块从连接槽内抽出。
[0012]其中,所述插杆与插槽滑动配合,设置插杆与插槽滑动配合,插杆插入插槽内,即可完成活性炭吸附网安装。
[0013]其中,所述滑块与第一滑槽滑动配合,所述推杆与活性炭吸附网滑动配合,设置推杆与活性炭吸附网滑动配合,方便滑块带动插杆进行移动。
[0014]其中,所述转杆与安装套转动配合,所述螺栓与安装套螺纹配合,设置螺栓与安装套螺纹配合,转杆带动处理箱转动后,拧紧螺栓即可完成对转杆的角度固定。
[0015]其中,所述升降杆与安装柱滑动配合,所述滑杆与开槽滑动配合,所述滑杆与螺帽螺纹配合,设置滑杆与螺帽螺纹配合,在升降杆的高度调节完成后,拧紧螺帽即可完成对升降杆高度的固定。
[0016]本专利技术具有以下有益效果:
[0017]1、本专利技术通过设置水泵、输水管和若干喷头,水泵通过输水管能够对喷头进行喷水,能够实现对半导体尾气的降温的作用,实现水冷的功能,并且能够使得半导体尾气中的颗粒物进行沉淀;通过设置过滤网与排放管卡装配合,过滤网能够对尾气中的杂质进行过滤,拉动拉杆,拉杆通过移动块带动卡块进行滑动,当卡块完全从卡槽内抽出后,然后向一侧拉动过滤网,将插块从插槽内抽出,即完成对过滤网进行拆卸,方便操作,方便过滤网后续的拆卸和更换,且方便对过滤网进行清理,防止堵塞;
[0018]2、本专利技术通过设置活性炭吸附网与处理箱卡本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体尾气处理燃烧水冷装置,包括底座(1)、处理箱(2)、水箱(3)、过滤网(4)和活性炭吸附网(5),其特征在于:所述处理箱(2)的一表面开设有若干连接槽(21),所述连接槽(21)内安装有连接块(22),所述连接块(22)与过滤网(4)固定连接,所述连接块(22)的一表面设置有卡槽(26),所述处理箱(2)的两侧面均固定安装有安装槽(6),所述安装槽(6)内固定安装有第一弹簧(23),所述第一弹簧(23)的一端固定连接有移动块(24),所述移动块(24)的一表面固定连接有卡块(25),所述安装槽(6)的一表面设置有限位槽(27),所述限位槽(27)内安装有拉杆(28),所述拉杆(28)的一端与移动块(24)固定连接,所述水箱(3)内固定安装有水泵(17),所述水泵(17)的底面固定连接有输水管(18),所述输水管(18)的周侧面固定连接有若干喷头(20),所述水泵(17)的一侧面固定安装有抽水管(19),所述水箱(3)的上表面开设有注水口(8),所述过滤网(4)与处理箱(2)卡装配合。2.根据权利要求1所述的一种半导体尾气处理燃烧水冷装置,其特征在于,所述处理箱(2)的另一表面开设有若干插槽(29),所述插槽(29)内安装有插杆(34),所述活性炭吸附网(5)内开设有若干第一滑槽(30),所述第一滑槽(30)内安装有第二弹簧(31),所述第二弹簧(31)的一端固定连接有滑块(32),所述活性炭吸附网(5)的两侧面均安装有若干推杆(7),所述推杆(7)和插杆(34)均与滑块(32)固定连接,所述活性炭吸附网(5)的一表面开设有若干第二滑槽(33),所述活性炭吸附网(5)与处理箱(2)卡装配合。3.根据权利要求1所述的一种半导体尾气处理燃烧水冷装置,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:田波雨赵峰
申请(专利权)人:气安仕先进制造科技无锡有限公司
类型:发明
国别省市:

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