一种镜头照明系统技术方案

本发明专利技术公开一种镜头照明系统，所述镜头照明系统包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。本发明专利技术旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。达不到预期的结果的问题。达不到预期的结果的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种镜头照明系统


[0001]本专利技术涉及光电照明
，具体涉及一种镜头照明系统。

技术介绍

[0002]以大规模集成电路为核心的微电子技术的快速发展，对微电子设备和微细加工技术提出了新的要求。光学投影曝光作为应用领域最广、技术更新快和生命力强的微细加工技术，是驱动微电子技术进步的核心。投影光刻机将掩模上的图形，经过投影物镜成像复制在硅片面上。
[0003]现有技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的是提出一种镜头照明系统，旨在解决现有相关技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射镜的角度很难保证光学设计角度，从而投射出来的光斑可能达不到预期的结果的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提出一种镜头照明系统，包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；
[0006]其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。
[0007]可选地，所述反射镜结构还包括壳体，所述壳体内形成有安装空间；
[0008]所述数字微镜结构包括DMD芯片安装板，所述DMD芯片安装板具有一接收面、且其接收面位于所述安装空间内；
[0009]所述调节件包括：
[0010]安装座，所述安装座设置在所述安装空间内、且其相对所述DMD芯片安装板的角度可调节设置，所述安装座朝向所述DMD芯片安装板的一侧为安装面，所述安装面用以供所述第二反射镜安装；以及，
[0011]限位部，所述限位部具有用以限制所述安装座活动的第一状态、以及取消限制的第二状态。
[0012]可选地，所述壳体在对应所述安装座的位置贯穿开设有过孔；
[0013]所述调节件还包括螺栓，所述螺栓的螺杆部分穿设所述过孔、并延伸至所述安装空间内，所述安装座对应螺接在所述螺栓的螺杆部分上；
[0014]其中，所述螺栓的螺杆直径小于所述过孔直径；
[0015]所述限位部包括多个对应所述安装座周侧设置的顶丝，各所述顶丝螺接在所述壳体上、且其一端抵接所述安装座。
[0016]可选地，所述壳体的外侧凹设有连通所述过孔的沉台；
[0017]所述镜头照明系统还包括沿所述沉台的深度方向依次设置的锥形垫圈以及球形垫圈。
[0018]可选地，所述安装空间内还设置有限位件，所述限位件设置在所述安装座背离所述DMD芯片安装板的一侧、且与所述安装座间隔设置。
[0019]可选地，所述壳体上还开设有窗口。
[0020]可选地，所述匀光棒结构包括：
[0021]匀光棒镜筒；
[0022]两个匀光棒安装座，分设在所述匀光棒镜筒的两端、且位于所述匀光棒镜筒内；以及，
[0023]匀光棒，设于所述匀光棒镜筒内，其两端分别连接两个所述匀光棒安装座。
[0024]可选地，一所述匀光棒安装座通过压圈限位至所述匀光棒镜筒内，另一所述匀光棒安装座的周侧接触所述匀光棒镜筒的侧壁设置。
[0025]可选地，所述第一扩束透镜结构包括第一镜筒，所述第一镜筒的至少部分套设在所述匀光棒镜筒的外周、且其内部设置有第一透镜组。
[0026]可选地，所述第二扩束透镜结构包括第二镜筒，所述第二镜筒的至少部分套设在所述匀光棒镜筒的外周、且其内部设置有第二透镜组。
[0027]本专利技术的技术方案中，在装配好所述镜头照明系统后，可对所述反射镜结构进行调节，使得经所述反射镜结构传输的光可正对所述数字微镜结构，具体如下，经所述第二扩束透镜结构传输的光依次经所述第一反射镜和所述第二反射镜反射传输，通过所述调节件调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的反射角度，使得经所述第二反射镜反射的光可正对所述数字微镜结构，从而确保光学设计角度，使得自所述镜头照明系统投射出的光斑达到预期的效果。
附图说明
[0028]为了更清楚地说明本专利技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本专利技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0029]图1为本专利技术提供的镜头照明系统的一实施例的结构示意图；
[0030]图2为本专利技术提供的镜头照明系统的一实施例的另一视角的结构示意图；
[0031]图3为本专利技术提供的镜头照明系统的一实施例的剖视结构示意图；
[0032]图4为本专利技术提供的镜头照明系统的一实施例的光路传播示意图。
[0033]附图标号说明：
[0034][0035][0036]本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0037]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本专利技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本专利技术保护的范围。
[0038]需要说明，若本专利技术实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0039]另外，若本专利技术实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，全文中出现的“和/或”的含义，包括三个并列的方案，以“A和/或B”为例，包括A方案、或B方案、或A和B同时满足的方案。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本专利技术要求的保护范围之内。
[0040]以大规模集成电路为核心的微电子技术的快速发展，对微电子设备和微细加工技术提出了新的要求。光学投影曝光作为应用领域最广、技术更新快和生命力强的微细加工技术，是驱动微电子技术进步的核心。投影光刻机将掩模上的图形，经过投影物镜成像复制在硅片面上。
[0041]现有技术中投影光刻机的反射镜通常为固定设置，对于后期装调反射镜时，反射
镜的角度很难保证光学设计角度，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镜头照明系统，其特征在于，包括沿其光路方向依次设置的第一扩束透镜结构、匀光棒结构、第二扩束透镜结构、反射镜结构以及数字微镜结构；其中，所述反射镜结构包括第一反射镜、第二反射镜和调节件，所述第一反射镜和所述第二反射镜依次设置在所述镜头照明系统的光路上，所述调节件用以调节所述第一反射镜和所述第二反射镜中至少其中之一的安装位置，以使得自所述第二反射镜反射的光传输至所述数字微镜结构。2.如权利要求1所述的镜头照明系统，其特征在于，所述反射镜结构还包括壳体，所述壳体内形成有安装空间；所述数字微镜结构包括DMD芯片安装板，所述DMD芯片安装板具有一接收面、且其接收面位于所述安装空间内；所述调节件包括：安装座，所述安装座设置在所述安装空间内、且其相对所述DMD芯片安装板的角度可调节设置，所述安装座朝向所述DMD芯片安装板的一侧为安装面，所述安装面用以供所述第二反射镜安装；以及，限位部，所述限位部具有用以限制所述安装座活动的第一状态、以及取消限制的第二状态。3.如权利要求2所述的镜头照明系统，其特征在于，所述壳体在对应所述安装座的位置贯穿开设有过孔；所述调节件还包括螺栓，所述螺栓的螺杆部分穿设所述过孔、并延伸至所述安装空间内，所述安装座对应螺接在所述螺栓的螺杆部分上；其中，所述螺栓的螺杆直径小于所述过孔直径；所述限位部包括多个对应所述安装座周侧设置的...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄光蓉，朱红伟，邱盛平，
申请(专利权)人：成都联江科技有限公司，
类型：发明
国别省市：