一种用于高功率磁控溅射的靶材组件制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，包括底座，底座的下表面开设有若干固定孔，底座上表面的中端固定连接有靶材本体，底座内腔底部的右侧固定连接有安装板，安装板右侧的中端固定连接有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端贯穿安装板左侧的中端并固定连接有螺杆，螺杆外表面的右侧螺纹连接有滑块，滑块的上表面固定连接有活动板。本实用新型专利技术通过螺杆、滑块、第二电动伸缩杆、活动板、第一伺服电机、安装板、固定框、吸液轮、电机盒和第二伺服电机的设置，达到了除液的目的，解决了现有用于高功率磁控溅射的靶材组件不具备除液的功能，导致其使用时无法将表面的液体去除，影响实用性的问题。影响实用性的问题。影响实用性的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种用于高功率磁控溅射的靶材组件


[0001]本技术涉及一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，属于半导体制造


技术介绍

[0002]磁控溅射是指受到电场作用的电子在飞向基片过程中与氩原子发生碰撞，使氩原子电离产生出氩正离子和新的电子，新的电子飞向基片，而氩正离子在电场作用下加速飞向作为阴极的靶材，并以高能量轰击靶材表面，使得靶材发生溅射。一般情况下，常规磁控溅射的功率为4kW左右，而随着半导体行业的不断发展，人们对于高功率磁控溅射的需求越来越高。顾名思义，高功率磁控溅射是指在磁控溅射过程中，用非常高的电压所产生的脉冲来撞击靶材表面，从而使得靶材离化率大幅增加，进而提高镀膜致密性，高功率磁控溅射的功率高达25kW。然而，随着高功率磁控溅射的进行，受到强烈撞击的靶材表面温度快速升高，在高功率磁控溅射的末期，靶材的溅射面极易产生裂纹，破坏镀膜的均匀性，污染溅射环境。为此，在靶材组件磁控溅射实践操作过程中，会向背板的背面采用高压冷却水冲击措施，从而提高靶材组件的散热功效，但现有技术中用于高功率磁控溅射的靶材组件不具备除液的功能，导致其使用时无法将表面的液体去除，影响实用性。

技术实现思路

[0003]为解决现有技术的不足，本技术的目的在于提供一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，解决了现有技术中用于高功率磁控溅射的靶材组件不具备除液的功能，导致其使用时无法将表面的液体去除，影响实用性的问题。
[0004]为了实现上述目标，本技术采用如下的技术方案：
[0005]一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，包括底座、靶材本体、螺杆、滑块、活动板、第一伺服电机、安装板、固定框和吸液轮；
[0006]靶材本体连接在底座顶面中间位置；
[0007]底座内部中空设置，底座内腔底部的右侧固定连接有安装板，安装板右侧固定连接有第一伺服电机，第一伺服电机的输出端连接有螺杆，螺杆上连接有滑块，滑块的上表面固定连接有活动板，固定框与活动板顶面连接，固定框内腔顶部连接有吸液轮。
[0008]进一步地，前述还包括电机盒和第二伺服电机，电机盒连接在固定框内腔顶部，第二伺服电机连接在电机盒内腔底部，第二伺服电机输出端连接吸液轮。
[0009]进一步地，前述还包括固定架，固定架一端连接电机盒侧边，另一端连接固定框内腔顶部。
[0010]进一步地，前述还包括第二电动伸缩杆，第二电动伸缩杆固定端连接活动板，第二电动伸缩杆伸缩端连接固定框底部。
[0011]进一步地，前述底座的下表面开设有固定孔。
[0012]进一步地，前述底座的右侧开设有散热孔，散热孔的内表面嵌设有防尘网。
[0013]进一步地，前述还包括保护壳和第一电动伸缩杆，第一电动伸缩杆固定端连接底座上表面，第一电动伸缩杆的伸缩端连接保护壳内部顶端。
[0014]进一步地，前述保护壳顶端设有提把，提把的外表面套设有防滑套。
[0015]进一步地，前述底座下表面的左右两侧均固定连接有支撑腿，支撑腿的底端设置有防滑垫。
[0016]本技术所达到的有益效果：
[0017]1、通过吸液轮的设置，对靶材本体表面的液体进行及时去除，提高靶材本体实用性。
[0018]2、通过螺杆、滑块和第二电动伸缩杆的设置，提高吸液轮的作用范围。
[0019]3、通过保护壳的设置对吸液轮进行保护，提高吸液轮表面的清洁度。
附图说明
[0020]图1是本技术主视结构示意图；
[0021]图2是本技术剖视结构示意图；
[0022]图3是图2中A处放大结构示意图；
[0023]图4为本技术俯视结构示意图；
[0024]图5为本技术保护壳侧视状态下剖视结构示意图。
[0025]图中附图标记的含义：1
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底座；2
‑
保护壳；3
‑
提把；4
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靶材本体；5
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支撑腿；6
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第一电动伸缩杆；7
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螺杆；8
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固定孔；9
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滑块；10
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第二电动伸缩杆；11
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活动板；12
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第一伺服电机；13
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散热孔；14
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安装板；15
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固定框；16
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固定架；17
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吸液轮；18
‑
电机盒；19
‑
第二伺服电机。
实施方式
[0026]下面结合附图对本技术作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本技术的技术方案，而不能以此来限制本技术的保护范围。
[0027]本实施例公开了一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，如图1、图2所示，包括底座1，底座1下表面的左右两侧均固定连接有支撑腿5，支撑腿5的底端设置有防滑垫。底座1上表面的中间固定连接有靶材本体4，底座1上表面的两端分别连接有保护壳2，保护壳2上表面的中端固定连接有提把3，提把3的外表面套设有防滑套，通过设置的提把3，可将装置提起。保护壳2内部的左右两侧均固定连接有第一电动伸缩杆6，第一电动伸缩杆6的伸缩端连接保护壳2，第一电动伸缩杆6的固定端连接底座1上表面。通过外置控制器开启第一电动伸缩杆6伸缩，第一电动伸缩杆6带动保护壳2上下滑动，可提高保护壳2的高度。
[0028]结合图2，底座1的下表面开设有若干固定孔8，底座1为中空设置，其内腔底部的右侧固定连接有安装板14 ，安装板14右侧的中端固定连接有第一伺服电机12 ，第一伺服电机12的输出端贯穿安装板14并固定连接有螺杆7，螺杆7外表面的螺纹连接有滑块9，滑块9的上表面固定连接有活动板11，活动板11上表面的左右两侧均固定连接有第二电动伸缩杆10，第二电动伸缩杆10的伸缩端固定连接在固定框15前后两端，如图5所示，固定框15成倒U型，左右两短敞开，固定框15内腔顶部固定连接有电机盒18，电机盒18内腔底部的固定连接有第二伺服电机19，第二伺服电机19的输出端贯穿电机盒18的下表面并固定连接有吸液轮
17。
[0029]电机盒18的左右两侧均固定连接有固定架16，固定架16的顶端固定连接于固定框15内腔的顶部，通过设置的固定架16，可增加电机盒18的稳定性。
[0030]底座1的右侧开设有若干散热孔13，散热孔13的内表面嵌设有防尘网。通过开设的散热孔13，可为第一伺服电机12散热，通过嵌设的防尘网，可避免灰尘通过散热孔13进入底座1内。
[0031]使用时，通过外置控制器开启第二电动伸缩杆10伸缩，第二电动伸缩杆10带动固定框15上下滑动，使得吸液轮17的底部与靶材本体4的上表面齐平，通过外置控制器开启第二伺服电机19工作，第二伺服电机19带动吸液轮17旋转，通过外置控制器开启第一伺服电机12工作，第一伺服电机12带动螺杆7旋转，螺杆7带动滑块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，其特征在于，包括底座（1）、靶材本体（4）、螺杆（7）、滑块（9）、活动板（11）、第一伺服电机（12）、安装板（14）、固定框（15）和吸液轮（17）；所述靶材本体（4）连接在底座（1）顶面中间位置；所述底座（1）内部中空设置，所述底座（1）内腔底部的右侧固定连接有安装板（14），所述安装板（14）右侧固定连接有第一伺服电机（12），所述第一伺服电机（12）的输出端连接有螺杆（7），所述螺杆（7）上连接有滑块（9），所述滑块（9）的上表面固定连接有活动板（11），所述固定框（15）与活动板（11）顶面连接，所述固定框（15）内腔顶部连接有吸液轮（17）。2.根据权利要求1所述的一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，其特征在于，还包括电机盒（18）和第二伺服电机（19），所述电机盒（18）连接在固定框（15）内腔顶部，所述第二伺服电机（19）连接在电机盒（18）内腔底部，所述第二伺服电机（19）输出端连接吸液轮（17）。3.根据权利要求2所述的一种用于高功率磁控溅射的靶材组件，其特征在于，还包括固定架（16），所述固定架（16）一端连接电机盒（18）侧边，另一端连接固定框（1...

【专利技术属性】
技术研发人员：王舒宇，李宪民，张宇行，陈玲玲，
申请(专利权)人：南京欧美达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：